Методы Фэс: Руководство По Испарению И Распылению
Изучите основные методы физического осаждения из паровой фазы (ФЭС): испарение (термическое, электронно-лучевое, дуговое) и распыление (магнетронное, ионно-лучевое). Узнайте, какой метод лучше всего подходит для вашего применения.