При нанесении покрытий методом PVD используются различные газы, в первую очередь инертные газы, такие как аргон, и реактивные газы, такие как азот, кислород и метан. Эти газы необходимы для формирования тонких пленок с определенными физическими, структурными и трибологическими свойствами.
Газ аргон в процессе напыления:
Аргон является наиболее часто используемым газом в процессе напыления - метода нанесения покрытий методом PVD. Этот благородный газ выбирают из-за его атомного веса, который достаточен для вытеснения атомов из материала мишени, не вступая с ним в химическую реакцию. Процесс напыления включает в себя обстрел ионами материала мишени в плазменной среде, где аргон выступает в качестве среды, способствующей переносу материала с мишени на подложку.Реактивные газы в PVD-покрытии:
Помимо инертных газов, в вакуумную камеру во время осаждения металла вводятся реактивные газы. К таким газам относятся азот, кислород и метан. Использование этих газов позволяет создавать различные композиции покрытий, такие как оксиды, нитриды и карбиды металлов. Например, когда ионы металла реагируют с азотом или кислородом на стадии переноса, они образуют нитриды или оксиды, соответственно, которые известны своей твердостью и износостойкостью.
Роль газов в нанесении покрытий методом PVD:
