Детали осаждения тонкой пленки

Электронно-лучевой тигель

Name: Электронно-лучевой тигель
Brand: Kintek Solution
SKU: KES01
Rating: 4.8 (13 reviews)

Артикул : KES01

Цена может варьироваться в зависимости от спецификации и настройки

Материал: Тантал/молибден/вольфрам
Спецификация: 4КК/7КК/15КК/25КК/40КК

Доставка:

Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.

Описание
Отзывы
Загрузки

Запросить индивидуальное коммерческое предложение 👋

Получите цену сейчас! Оставить сообщение Быстрое получение цены Via Онлайн чат

Приложение

Электронная пушка производит мощный пучок электронов, направленный на тигель. Электроны нагревают материал в тигле до тех пор, пока он не превратится в атомы или молекулярные кластеры. Затем это облако может быть нанесено на поверхность, чтобы сформировать тонкую пленку. При испарении пучком электронной пушки тигель подобен сосуду, который удерживает и нагревает материал, подлежащий осаждению. Он изготовлен из специального материала, способного выдерживать высокие температуры, не плавясь. Они помогают сосредоточить тепло на материале, который испаряется.

В основном он используется для следующих целей:

Осаждение тонкой пленки: широко используется в технологиях осаждения тонкой пленки, таких как электронно-лучевое испарение, производство тонких пленок электронных устройств, оптическое покрытие и модификация поверхности материалов.
Полупроводниковая промышленность: нанесение тонких металлических пленок в качестве межсоединений, омических контактов и диффузионных барьеров.
Оптика и оптоэлектроника: Оптические покрытия, просветляющие покрытия и зеркала для различных оптических устройств.

Детали и детали

Электронно-лучевой тигель; Молибденовый/вольфрамовый тигель — Молибденовый/вольфрамовый тигель

Технические характеристики

продукт	Молибденовый/вольфрамовый тигель	Тигель из нитрида бора/тигель из токопроводящего нитрида бора	Графитовый тигель/графитовый тигель с покрытием	Тигли с пиролитическим графитовым покрытием	никелевый тигель	Титановый тигель	медный тигель	Глиноземный тигель
Спецификация	4КК/7КК/15КК/25КК/40КК	4КК/7КК/15КК/25КК/40КК	4КК/7КК/15КК/25КК/40КК	4CC / 7CC	4CC	4CC	4CC / 2CC / 40CC	4CC

Тигли, которые мы показываем, доступны в различных размерах, а нестандартные размеры доступны по запросу.

Преимущество

Более высокая скорость испарения.
Улучшить термостабильность; равномерный нагрев.
Уменьшить тепло, передаваемое тиглю; хорошие показатели теплоизоляции.
Обеспечивает быструю смену материала, чтобы свести к минимуму время простоя камеры.
совместимость с вакуумом; мембрана высокой чистоты.
универсальность; поддерживает несколько материалов.
Сводит к минимуму повреждение и техническое обслуживание тигля.
Эти преимущества делают тигель с электронной пушкой важным инструментом в процессе осаждения тонких пленок, обеспечивая точный контроль, высокую скорость осаждения и высокое качество тонкой пленки для различных отраслей промышленности и областей исследований.

FAQ

Что такое источники термического испарения?

Источники термического испарения - это устройства, используемые в системах термического испарения для нанесения тонких пленок на подложки. Они работают за счет нагрева материала (испарителя) до высоких температур, в результате чего он испаряется, а затем конденсируется на подложке, образуя тонкую пленку.

Что такое физическое осаждение из паровой фазы (PVD)?

Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) — это метод осаждения тонких пленок путем испарения твердого материала в вакууме и последующего осаждения его на подложку. Покрытия PVD отличаются высокой прочностью, устойчивостью к царапинам и коррозии, что делает их идеальными для различных применений, от солнечных элементов до полупроводников. PVD также создает тонкие пленки, способные выдерживать высокие температуры. Однако PVD может быть дорогостоящим, и стоимость варьируется в зависимости от используемого метода. Например, испарение является дешевым методом PVD, а ионно-лучевое распыление довольно дорого. С другой стороны, магнетронное распыление более дорогое, но более масштабируемое.

Сравнение термического испарения и электронно-лучевого испарения.

Электронно-лучевое испарение имеет много преимуществ перед термическим испарением. Он способен плавить материалы при очень высоких температурах, даже вольфрам, графит...; легко контролировать скорость испарения в сочетании с кварцевым датчиком в качестве сигнала обратной связи для регулировки тока электронного луча для испарения большего количества материала без нарушения вакуума. Поэтому электронно-лучевое испарение используется в области обработки тонких пленок, включая полупроводники, оптику, солнечные батареи, стекло и архитектурное стекло, для придания им желаемых проводящих, отражающих, пропускающих и электронных свойств.

Каковы преимущества использования керамических тиглей?

Керамические тигли имеют ряд преимуществ перед другими типами тиглей. Во-первых, они обладают отличной термостойкостью, что позволяет им выдерживать высокие температуры, не растрескиваясь и не коробясь. Керамические тигли также химически инертны, то есть не вступают в реакцию с большинством веществ, что делает их пригодными для широкого спектра применений. Они также непористые, что гарантирует отсутствие загрязнения или поглощения материалов во время процессов нагрева или плавления. Керамические тигли очень прочны и долговечны, что делает их надежным выбором для многократного использования. Кроме того, керамические тигли могут изготавливаться различных форм и размеров для удовлетворения различных экспериментальных или промышленных требований.

Как изготавливаются тигли из графита высокой чистоты?

Тигли из графита высокой чистоты обычно производятся с помощью процесса, называемого изостатическим прессованием. В этом методе порошок графита помещается в резиновую форму, а затем подвергается высокому давлению со всех сторон. Это давление уплотняет частицы графита, придавая им плотную и однородную форму тигля. Затем тигель нагревают до высокой температуры для удаления примесей и повышения его чистоты.

Каковы основные типы источников термического испарения?

К основным типам источников термического испарения относятся резистивные источники испарения, электронно-лучевые источники испарения и вспышечные источники испарения. Каждый тип использует различные методы нагрева испарителя, такие как резистивный нагрев, электронно-лучевой нагрев или прямой контакт с горячей поверхностью.

Что такое магнетронное распыление?

Магнетронное напыление — это метод нанесения покрытия на основе плазмы, используемый для получения очень плотных пленок с превосходной адгезией, что делает его универсальным методом создания покрытий на материалах с высокой температурой плавления, которые не могут испаряться. Этот метод создает магнитно-удерживаемую плазму вблизи поверхности мишени, где положительно заряженные энергичные ионы сталкиваются с отрицательно заряженным материалом мишени, вызывая выброс или «распыление» атомов. Эти выброшенные атомы затем осаждаются на подложку или пластину для создания желаемого покрытия.

Какие методы используются для нанесения тонких пленок?

Двумя основными методами, используемыми для нанесения тонких пленок, являются химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и физическое осаждение из паровой фазы (PVD). CVD включает введение газов-реагентов в камеру, где они реагируют на поверхности пластины с образованием твердой пленки. PVD не включает химических реакций; вместо этого внутри камеры создаются пары составляющих материалов, которые затем конденсируются на поверхности пластины, образуя твердую пленку. Общие типы PVD включают осаждение испарением и осаждение распылением. Существует три типа методов напыления: термическое испарение, электронно-лучевое испарение и индуктивный нагрев.

Что такое мишень для распыления?

Мишень для распыления — это материал, используемый в процессе напыления, при котором материал мишени разбивается на мельчайшие частицы, образующие аэрозоль и покрывающие подложку, например кремниевую пластину. Мишени для распыления обычно представляют собой металлические элементы или сплавы, хотя доступны некоторые керамические мишени. Они бывают разных размеров и форм, при этом некоторые производители создают сегментированные мишени для более крупного распылительного оборудования. Мишени для распыления имеют широкий спектр применений в таких областях, как микроэлектроника, тонкопленочные солнечные элементы, оптоэлектроника и декоративные покрытия, благодаря их способности наносить тонкие пленки с высокой точностью и однородностью.

Каковы наиболее распространенные применения керамических тиглей?

Керамические тигли имеют широкий спектр применения в различных отраслях промышленности. Они обычно используются в лабораториях для нагрева, плавления или прокаливания веществ во время экспериментов или подготовки проб. Керамические тигли также широко используются в процессах литья металлов и производства сплавов, поскольку они выдерживают высокие температуры, необходимые для плавления металлов. Они используются в производстве керамики, стекла и полупроводников, где решающее значение имеют точный контроль температуры и химическая стойкость. Кроме того, керамические тигли находят применение в фармацевтической и химической промышленности, а также в исследованиях и разработках, где они используются для анализа и испытаний материалов в экстремальных температурных условиях.

Каковы общие применения тиглей из графита высокой чистоты?

Тигли из графита высокой чистоты имеют широкий спектр применения в таких отраслях, как металлургия, литейное производство и лаборатории. Они обычно используются для плавки и литья цветных металлов, включая алюминий, медь и драгоценные металлы. Тигли из графита высокой чистоты применяют также при производстве сплавов и жаропрочной керамики. Они необходимы в таких процессах, как химический анализ, спектроскопия и подготовка проб в лабораториях. Кроме того, эти тигли находят применение в полупроводниковой промышленности для плавления и выращивания кремния и других полупроводниковых материалов.

Как работают источники термического испарения?

Источники термического испарения работают путем пропускания электрического тока через резистивный материал, который нагревается до высоких температур. Это тепло передается испарителю, заставляя его плавиться и испаряться. Затем пар проходит через вакуумную камеру и конденсируется на подложке, образуя тонкую пленку.

Почему магнетронное распыление?

Магнетронное напыление предпочтительнее из-за его способности достигать высокой точности толщины пленки и плотности покрытий, превосходя методы испарения. Этот метод особенно подходит для создания металлических или изоляционных покрытий с особыми оптическими или электрическими свойствами. Кроме того, системы магнетронного распыления могут быть оснащены несколькими источниками магнетронов.

Что такое оборудование для нанесения тонких пленок?

Оборудование для нанесения тонких пленок относится к инструментам и методам, используемым для создания и нанесения тонкопленочных покрытий на материал подложки. Эти покрытия могут быть изготовлены из различных материалов и иметь различные характеристики, которые могут улучшить или изменить характеристики подложки. Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) — популярный метод, при котором твердый материал испаряется в вакууме, а затем наносится на подложку. Другие методы включают испарение и распыление. Оборудование для нанесения тонких пленок используется, в частности, в производстве оптоэлектронных устройств, медицинских имплантатов и прецизионной оптики.

Как изготавливаются мишени для распыления?

Мишени для распыления изготавливаются с использованием различных производственных процессов в зависимости от свойств материала мишени и области его применения. К ним относятся вакуумная плавка и прокатка, горячее прессование, специальный процесс спекания под прессом, вакуумное горячее прессование и методы ковки. Большинство материалов мишеней для распыления могут быть изготовлены в широком диапазоне форм и размеров, причем наиболее распространенными являются круглые или прямоугольные формы. Мишени обычно изготавливают из металлических элементов или сплавов, но можно использовать и керамические мишени. Также доступны составные мишени для распыления, изготовленные из различных соединений, включая оксиды, нитриды, бориды, сульфиды, селениды, теллуриды, карбиды, кристаллические и композитные смеси.

Какие материалы обычно используются для изготовления испарительных тиглей?

Испарительные тигли обычно изготавливаются из таких материалов, как вольфрам, тантал, молибден, графит или керамические соединения. Эти материалы имеют высокие температуры плавления и хорошую теплопроводность, что делает их пригодными для высокотемпературных условий, необходимых во время испарения. Выбор материала тигля зависит от таких факторов, как материал испарителя, желаемые свойства пленки и параметры процесса.

Как мне выбрать правильный керамический тигель для моего применения?

При выборе керамического тигля для конкретного применения следует учитывать несколько факторов. Во-первых, следует определить температурный диапазон, необходимый для применения, поскольку разные типы керамики имеют разные максимальные температурные пределы. Важно выбрать тигель, который выдержит ожидаемую температуру без деформации и повреждений. Во-вторых, следует учитывать размер и вместимость тигля, чтобы в нем можно было разместить необходимое количество материала. Форма и конструкция тигля также должны соответствовать экспериментальной установке или промышленному процессу. Кроме того, следует оценить химическую совместимость тигля с используемыми веществами, чтобы гарантировать отсутствие побочных реакций или загрязнения. Консультации с поставщиками или экспертами в этой области могут помочь в выборе наиболее подходящего керамического тигля для конкретных применений.

Какие факторы следует учитывать при выборе тиглей из графита высокой чистоты?

При выборе тиглей из графита высокой чистоты следует учитывать несколько факторов. Во-первых, размер и емкость тигля должны соответствовать предполагаемому применению и количеству материала, подлежащего плавке или переработке. Следует оценить теплопроводность тигля, стойкость к термическому удару и химическую совместимость, чтобы убедиться, что они соответствуют конкретным технологическим требованиям. Важно выбирать тигли, изготовленные из высококачественного графитового материала с высокой степенью чистоты, чтобы свести к минимуму загрязнение и обеспечить отличную производительность. Также следует учитывать дизайн и конструкцию тигля, например, наличие ручек или сливных носиков для удобства обращения. Кроме того, желательно проконсультироваться с производителями или экспертами в этой области, чтобы обеспечить выбор наиболее подходящих графитовых тиглей высокой чистоты для конкретных применений.

В чем преимущества использования источников термического испарения?

К преимуществам источников термического испарения относятся высокая скорость осаждения, хорошая направленность, отличная однородность и совместимость с различными материалами. Кроме того, они относительно просты и доступны по цене, что делает их пригодными для широкого спектра приложений в области осаждения тонких пленок.

Какие материалы используются для нанесения тонких пленок?

Для осаждения тонких пленок в качестве материалов обычно используются металлы, оксиды и соединения, каждый из которых имеет свои уникальные преимущества и недостатки. Металлы предпочтительнее из-за их долговечности и простоты нанесения, но они относительно дороги. Оксиды очень прочны, могут выдерживать высокие температуры и могут осаждаться при низких температурах, но могут быть хрупкими и сложными в работе. Соединения обладают прочностью и долговечностью, их можно наносить при низких температурах и придавать им особые свойства.

Выбор материала для тонкопленочного покрытия зависит от требований применения. Металлы идеально подходят для тепло- и электропроводности, а оксиды эффективны для защиты. Соединения могут быть адаптированы для удовлетворения конкретных потребностей. В конечном счете, лучший материал для конкретного проекта будет зависеть от конкретных потребностей приложения.

Что такое технология тонкопленочного осаждения?

Технология нанесения тонких пленок представляет собой процесс нанесения очень тонкой пленки материала толщиной от нескольких нанометров до 100 микрометров на поверхность подложки или на ранее нанесенные покрытия. Эта технология используется в производстве современной электроники, в том числе полупроводников, оптических устройств, солнечных батарей, компакт-дисков и дисководов. Двумя широкими категориями тонкопленочного осаждения являются химическое осаждение, когда химическое изменение приводит к химическому осаждению покрытия, и физическое осаждение из паровой фазы, когда материал высвобождается из источника и осаждается на подложку с использованием механических, электромеханических или термодинамических процессов.

Для чего используется мишень для распыления?

Мишени для распыления используются в процессе, называемом распылением, для осаждения тонких пленок материала на подложку с использованием ионов для бомбардировки мишени. Эти мишени имеют широкий спектр применения в различных областях, включая микроэлектронику, тонкопленочные солнечные элементы, оптоэлектронику и декоративные покрытия. Они позволяют наносить тонкие пленки материалов на различные подложки с высокой точностью и однородностью, что делает их идеальным инструментом для производства прецизионных изделий. Мишени для распыления бывают разных форм и размеров и могут быть адаптированы для удовлетворения конкретных требований приложения.

Каковы преимущества использования испарительных тиглей?

Испарительные тигли дают ряд преимуществ в процессах осаждения тонких пленок. Они обеспечивают контролируемую среду для испарения материалов, позволяя точно контролировать толщину и однородность пленки. Тигли выдерживают высокие температуры и обеспечивают эффективную теплопередачу, обеспечивая постоянную скорость испарения. Они доступны в различных размерах и формах для использования с различными системами испарения и конфигурациями подложек. Испарительные тигли также позволяют наносить широкий спектр материалов, включая металлы, полупроводники и керамику. Их можно легко загружать и разгружать, что позволяет быстро менять материалы или корректировать технологический процесс. В целом, испарительные тигли являются важным инструментом в методах осаждения тонких пленок, обеспечивая универсальность, надежность и воспроизводимость.

Как следует обращаться с керамическими тиглями и обслуживать их?

Правильное обращение и техническое обслуживание керамических тиглей необходимы для обеспечения их долговечности и производительности. При обращении с керамическими тиглями важно не ронять их и не подвергать резким перепадам температуры, так как это может вызвать термический удар и привести к растрескиванию или поломке. Для работы с горячими тиглями рекомендуется использовать соответствующие инструменты, такие как щипцы или перчатки. После использования керамическим тиглям следует дать постепенно остыть перед очисткой. Очистку можно производить с использованием теплой воды и мягкого моющего средства, а затем тщательно прополоскать и высушить. Важно избегать использования агрессивных химикатов или абразивных материалов, которые могут повредить керамическую поверхность. Следует проводить регулярный осмотр на предмет каких-либо признаков износа, трещин или изменения цвета, а поврежденные тигли следует заменять, чтобы обеспечить безопасность и точность в экспериментах или промышленных процессах.

Для каких целей используются источники термического испарения?

Источники термического испарения используются в различных областях, таких как производство оптических покрытий, полупроводниковых устройств и различных типов тонких пленок. Они особенно полезны в тех отраслях, где требуется точный контроль над осаждением материалов на подложки.

Каковы методы достижения оптимального осаждения тонкой пленки?

Для получения тонких пленок с желаемыми свойствами необходимы высококачественные мишени для распыления и материалы для испарения. На качество этих материалов могут влиять различные факторы, такие как чистота, размер зерна и состояние поверхности.

Чистота мишеней для распыления или материалов для испарения играет решающую роль, поскольку примеси могут вызывать дефекты в полученной тонкой пленке. Размер зерна также влияет на качество тонкой пленки, при этом более крупные зерна приводят к ухудшению свойств пленки. Кроме того, состояние поверхности имеет решающее значение, так как шероховатая поверхность может привести к дефектам пленки.

Для достижения высочайшего качества мишеней для распыления и материалов для испарения крайне важно выбирать материалы, которые обладают высокой чистотой, малым размером зерна и гладкой поверхностью.

Использование тонкопленочного осаждения

Тонкие пленки на основе оксида цинка

Тонкие пленки ZnO находят применение в нескольких отраслях, таких как термическая, оптическая, магнитная и электрическая, но в основном они используются в покрытиях и полупроводниковых устройствах.

Тонкопленочные резисторы

Тонкопленочные резисторы имеют решающее значение для современных технологий и используются в радиоприемниках, печатных платах, компьютерах, радиочастотных устройствах, мониторах, беспроводных маршрутизаторах, модулях Bluetooth и приемниках сотовых телефонов.

Магнитные тонкие пленки

Тонкие магнитные пленки используются в электронике, хранении данных, радиочастотной идентификации, микроволновых устройствах, дисплеях, печатных платах и оптоэлектронике в качестве ключевых компонентов.

Оптические тонкие пленки

Оптические покрытия и оптоэлектроника являются стандартными областями применения тонких оптических пленок. Молекулярно-лучевая эпитаксия может производить оптоэлектронные тонкопленочные устройства (полупроводники), в которых эпитаксиальные пленки наносятся на подложку по одному атому за раз.

Полимерные тонкие пленки

Тонкие полимерные пленки используются в микросхемах памяти, солнечных элементах и электронных устройствах. Методы химического осаждения (CVD) обеспечивают точный контроль полимерных пленочных покрытий, включая соответствие и толщину покрытия.

Тонкопленочные батареи

Тонкопленочные батареи питают электронные устройства, такие как имплантируемые медицинские устройства, а литий-ионные батареи значительно продвинулись вперед благодаря использованию тонких пленок.

Тонкопленочные покрытия

Тонкопленочные покрытия улучшают химические и механические характеристики целевых материалов в различных отраслях промышленности и технологических областях. Некоторыми распространенными примерами являются антибликовые покрытия, анти-ультрафиолетовое или анти-инфракрасное покрытие, покрытие против царапин и поляризация линзы.

Тонкопленочные солнечные элементы

Тонкопленочные солнечные элементы необходимы для солнечной энергетики, позволяя производить относительно дешевую и чистую электроэнергию. Фотоэлектрические системы и тепловая энергия являются двумя основными применимыми технологиями.

Что такое распыляющие мишени для электроники?

Мишени для распыления в электронике представляют собой тонкие диски или листы материалов, таких как алюминий, медь и титан, которые используются для нанесения тонких пленок на кремниевые пластины для создания электронных устройств, таких как транзисторы, диоды и интегральные схемы. Эти мишени используются в процессе, называемом распылением, при котором атомы материала мишени физически выбрасываются с поверхности и осаждаются на подложку путем бомбардировки мишени ионами. Напыляемые мишени для электроники имеют важное значение в производстве микроэлектроники и обычно требуют высокой точности и однородности для обеспечения качества устройств.

Как следует обращаться с испарительными тиглями и обслуживать их?

С испарительными тиглями следует обращаться и обслуживать их с осторожностью, чтобы обеспечить их долговечность и производительность. Тигли следует тщательно очищать перед каждым использованием, чтобы удалить остатки материала от предыдущих отложений. Избегайте использования абразивных материалов, которые могут повредить поверхность тигля. Во время загрузки и разгрузки обращайтесь с тиглями чистыми перчатками или специальными инструментами, чтобы предотвратить загрязнение. Когда тигли не используются, храните их в сухом и чистом помещении во избежание коррозии или разрушения. Регулярная проверка тиглей на наличие трещин, дефектов или признаков износа важна для предотвращения неожиданных сбоев в процессе выпаривания. Следуйте рекомендациям производителя в отношении любых конкретных процедур технического обслуживания, таких как отжиг или обработка поверхности, чтобы продлить срок службы тигля.

Факторы и параметры, влияющие на осаждение тонких пленок

Скорость осаждения:

Скорость производства пленки, обычно измеряемая по толщине, деленной на время, имеет решающее значение для выбора технологии, подходящей для конкретного применения. Умеренные скорости осаждения достаточны для тонких пленок, в то время как для толстых необходимы высокие скорости осаждения. Важно найти баланс между скоростью и точным контролем толщины пленки.

Единообразие:

Однородность пленки по подложке известна как однородность, которая обычно относится к толщине пленки, но также может относиться к другим свойствам, таким как показатель преломления. Важно иметь хорошее представление о приложении, чтобы избежать недостаточного или чрезмерного определения единообразия.

Возможность заполнения:

Способность заполнения или ступенчатое покрытие относится к тому, насколько хорошо процесс осаждения охватывает топографию подложки. Используемый метод осаждения (например, CVD, PVD, IBD или ALD) оказывает значительное влияние на покрытие и заполнение ступеней.

Характеристики фильма:

Характеристики пленки зависят от требований приложения, которые можно разделить на фотонные, оптические, электронные, механические или химические. Большинство фильмов должны соответствовать требованиям более чем в одной категории.

Температура процесса:

На характеристики пленки существенно влияет температура процесса, которая может быть ограничена областью применения.

Повреждать:

Каждая технология осаждения может повредить материал, на который наносится осаждение, при этом более мелкие элементы более подвержены повреждению процесса. Загрязнение, УФ-излучение и ионная бомбардировка входят в число потенциальных источников повреждений. Крайне важно понимать ограничения материалов и инструментов.

Каково время жизни мишени для распыления?

Срок службы мишени для распыления зависит от таких факторов, как состав материала, чистота и конкретное применение, для которого она используется. Как правило, мишени могут длиться от нескольких сотен до нескольких тысяч часов распыления, но это может сильно варьироваться в зависимости от конкретных условий каждого запуска. Надлежащее обращение и техническое обслуживание также могут продлить срок службы мишени. Кроме того, использование вращающихся мишеней для распыления может увеличить время работы и снизить вероятность появления дефектов, что делает их более экономичным вариантом для крупносерийных процессов.