Печь CVD и PECVD
Система оборудования для химического осаждения из газовой фазы CVD, скользящая трубчатая печь PECVD с жидкостным газификатором, установка PECVD
Артикул : KT-PE12
Цена может варьироваться в зависимости от спецификации и настройки
- Макс. температура
- 1200 ℃
- Постоянная рабочая температура
- 1100 ℃
- Диаметр трубы печи
- 60 мм
- Длина зоны нагрева
- 1x450 мм
- Скорость нагрева
- 0-20 ℃/мин
- Расстояние скольжения
- 600мм
Доставка:
Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Почему выбирают нас
Простой процесс заказа, качественные продукты и специализированная поддержка для успеха вашего бизнеса.
Введение
Скользящая трубчатая печь PECVD с жидкостным газификатором — это универсальная и высокопроизводительная система, разработанная для широкого спектра применений по осаждению тонких пленок. Она оснащена ВЧ-источником плазмы мощностью 500 Вт, выдвижной печью, точным контролем потока газа и вакуумной станцией. Система обладает такими преимуществами, как автоматическое согласование плазмы, высокоскоростной нагрев и охлаждение, программируемый температурный контроль и удобный интерфейс. Она широко используется в исследовательских и производственных средах для осаждения тонких пленок в различных отраслях промышленности, включая электронику, полупроводники и оптику.
Применение
Скользящая трубчатая печь PECVD с жидкостным газификатором находит применение в следующих областях:
- Химическое осаждение из газовой фазы (CVD)
- Плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD)
- Осаждение тонких пленок
- Изготовление солнечных элементов
- Обработка полупроводников
- Нанотехнологии
- Материаловедение
- Исследования и разработки
Доступны системы CVD с различными температурами и конфигурациями
Принцип работы
Скользящая трубчатая печь PECVD с жидкостным газификатором использует низкотемпературную плазму для создания тлеющего разряда на катоде (поддоне для образцов) технологической камеры. Тлеющий разряд (или другой источник тепла) повышает температуру образца до заданного уровня. Затем вводятся контролируемые объемы технологического газа, которые вступают в химические и плазменные реакции с образованием твердой пленки на поверхности образца.
Особенности
Скользящая трубчатая печь PECVD с жидкостным газификатором предлагает пользователям многочисленные преимущества:
- Улучшенная генерация энергии для пластин солнечных элементов: Инновационная структура графитовой лодочки значительно повышает выходную мощность солнечных элементов.
- Устранение цветовых различий в трубчатых ячейках PECVD: Данное оборудование эффективно решает проблему вариации цвета в трубчатых ячейках PECVD.
- Широкий диапазон выходной мощности (5-500 Вт): Источник ВЧ-плазмы с автоматическим согласованием обеспечивает универсальный диапазон выходной мощности, гарантируя оптимальную производительность для различных применений.
- Высокоскоростной нагрев и охлаждение: Система скольжения камеры печи обеспечивает быстрый нагрев и охлаждение, сокращая время обработки. Вспомогательная принудительная циркуляция воздуха дополнительно ускоряет скорость охлаждения.
- Автоматизированное скользящее движение: Опциональная функция скольжения позволяет работать в автоматическом режиме, повышая эффективность и сокращая ручное вмешательство.
- Точный контроль температуры: Программируемый ПИД-контроль температуры обеспечивает точное регулирование температуры, поддерживая дистанционное и централизованное управление для дополнительного удобства.
- Высокоточное управление массовым расходомером MFC: Массовый расходомер MFC точно контролирует исходные газы, обеспечивая стабильную и последовательную подачу газа.
- Универсальная вакуумная станция: Вакуумный фланец из нержавеющей стали с несколькими портами адаптации позволяет использовать различные конфигурации вакуумных насосных станций, обеспечивая высокую степень вакуума.
- Удобный интерфейс: Контроллер с 7-дюймовым TFT-сенсорным экраном CTF Pro упрощает настройку программ и позволяет легко анализировать исторические данные.
Преимущества
- Источник ВЧ-плазмы с автоматическим согласованием, широкий диапазон выходной мощности 5-500 Вт, стабильный выход
- Система скольжения камеры печи для высокоскоростного нагрева и кратковременного охлаждения, доступны вспомогательное быстрое охлаждение и автоматическое скольжение
- Программируемый ПИД-контроль температуры, отличная точность управления, поддержка дистанционного и централизованного управления
- Высокоточное управление массовым расходомером MFC, предварительное смешивание исходных газов и стабильная скорость подачи газа
- Вакуумный фланец из нержавеющей стали с различными портами адаптации для соответствия различным установкам вакуумных насосных станций, хорошая герметичность и высокая степень вакуума
- CTF Pro использует один 7-дюймовый контроллер с сенсорным TFT-экраном, более удобную настройку программ и анализ исторических данных
Преимущества безопасности
- Трубчатая печь Kindle Tech оснащена защитой от перегрузки по току и функцией сигнализации о перегреве, печь автоматически отключит питание
- Встроенная функция обнаружения термопары: печь прекратит нагрев и включит сигнализацию при обнаружении поломки или неисправности
- PE Pro поддерживает функцию перезапуска при сбое питания: печь возобновит программу нагрева при подаче питания после сбоя
Технические характеристики
| Модель печи | KT-PE12-60 |
| Макс. температура | 1200℃ |
| Постоянная рабочая температура | 1100℃ |
| Материал трубки печи | Кварц высокой чистоты |
| Диаметр трубки печи | 60 мм |
| Длина зоны нагрева | 1x450 мм |
| Материал камеры | Японское глиноземное волокно |
| Нагревательный элемент | Проволочная катушка Cr2Al2Mo2 |
| Скорость нагрева | 0-20℃/мин |
| Термопара | Встроенная, тип K |
| Контроллер температуры | Цифровой ПИД-контроллер / ПИД-контроллер с сенсорным экраном |
| Точность контроля температуры | ±1℃ |
| Расстояние скольжения | 600 мм |
| Блок ВЧ-плазмы | |
| Выходная мощность | 5 - 500 Вт регулируемая со стабильностью ± 1% |
| ВЧ-частота | 13,56 МГц ±0,005% стабильность |
| Отраженная мощность | 350 Вт макс. |
| Согласование | Автоматическое |
| Шум | <50 дБ |
| Охлаждение | Воздушное охлаждение. |
| Блок точного контроля газа | |
| Расходомер | Массовый расходомер MFC |
| Газовые каналы | 4 канала |
| Скорость потока | MFC1: 0-5 SCCM O2 MFC2: 0-20 SCCM CH4 MFC3: 0-100 SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| Линейность | ±0,5% F.S. |
| Повторяемость | ±0,2% F.S. |
| Трубопровод и клапан | Нержавеющая сталь |
| Максимальное рабочее давление | 0,45 МПа |
| Контроллер расходомера | Цифровой ручной контроллер / Контроллер с сенсорным экраном |
| Стандартный вакуумный блок (опционально) | |
| Вакуумный насос | Роторно-пластинчатый вакуумный насос |
| Скорость потока насоса | 4 л/с |
| Вакуумный всасывающий порт | KF25 |
| Вакуумметр | Вакуумметр Пирани / Резистивный кремниевый вакуумметр |
| Номинальное вакуумное давление | 10 Па |
| Высоковакуумный блок (опционально) | |
| Вакуумный насос | Роторно-пластинчатый насос + Молекулярный насос |
| Скорость потока насоса | 4 л/с + 110 л/с |
| Вакуумный всасывающий порт | KF25 |
| Вакуумметр | Комбинированный вакуумметр |
| Номинальное вакуумное давление | 6x10-4 Па |
| Вышеуказанные спецификации и настройки могут быть изменены по запросу | |
Стандартный комплект
| № | Описание | Количество |
| 1 | Печь | 1 |
| 2 | Кварцевая трубка | 1 |
| 3 | Вакуумный фланец | 2 |
| 4 | Термоблок трубки | 2 |
| 5 | Крюк для термоблока трубки | 1 |
| 6 | Термостойкая перчатка | 1 |
| 7 | Источник ВЧ-плазмы | 1 |
| 8 | Точный контроль газа | 1 |
| 9 | Вакуумный блок | 1 |
| 10 | Руководство по эксплуатации | 1 |
Дополнительные настройки
- Детектирование и мониторинг газов внутри трубки, таких как H2, O2 и т. д.
- Независимый мониторинг и запись температуры печи
- Коммуникационный порт RS 485 для дистанционного управления с ПК и экспорта данных
- Контроль скорости подачи инертных газов, например, массовый расходомер и поплавковый расходомер
- Контроллер температуры с сенсорным экраном и универсальными удобными для оператора функциями
- Установки высоковакуумных насосных станций, такие как пластинчатый вакуумный насос, молекулярный насос, диффузионный насос
Предупреждения
Безопасность оператора – первостепенная задача! Пожалуйста, используйте оборудование с осторожностью. Работа с легковоспламеняющимися, взрывоопасными или токсичными газами очень опасна, операторы должны принять все необходимые меры предосторожности перед запуском оборудования. Работа с избыточным давлением внутри реакторов или камер опасна, оператор должен строго соблюдать технику безопасности. Следует также соблюдать особую осторожность при работе с материалами, реагирующими с воздухом, особенно в условиях вакуума. Утечка может привести к попаданию воздуха в аппарат и вызвать бурную реакцию.
Создан для вас
KinTek предоставляет специализированные услуги и оборудование для клиентов по всему миру, наша специализированная командная работа и богатый опыт инженеров способны выполнить индивидуальные требования к аппаратному и программному оборудованию, а также помочь нашим клиентам создать эксклюзивное и индивидуальное оборудование и решение!
Не могли бы вы поделиться своими идеями с нами, наши инженеры готовы для вас прямо сейчас!
Нам доверяют лидеры отрасли
FAQ
Что такое метод PECVD?
Что такое МпкВД?
Для чего используется PECVD?
Что такое машина Mpcvd?
Каковы преимущества PECVD?
Каковы преимущества Mpcvd?
В чем разница между ALD и PECVD?
Алмазы CVD настоящие или поддельные?
В чем разница между PECVD и напылением?
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Наклонная вращающаяся трубчатая печь PECVD для плазмохимического осаждения из газовой фазы
Представляем нашу наклонную вращающуюся печь PECVD для точного осаждения тонких пленок. Оцените автоматическое согласование источника, ПИД-программируемый температурный контроль и высокоточное управление массовым расходом с помощью MFC. Встроенные функции безопасности для вашего спокойствия.
Наклонная трубчатая печь с плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD)
Модернизируйте процесс нанесения покрытий с помощью оборудования PECVD. Идеально подходит для светодиодов, силовой электроники, МЭМС и других применений. Наносит высококачественные твердые пленки при низких температурах.
Раздельная камерная трубчатая печь для химического осаждения из паровой фазы с вакуумной станцией
Эффективная разделительная камерная печь для химического осаждения из паровой фазы с вакуумной станцией для интуитивного контроля образцов и быстрого охлаждения. Максимальная температура до 1200℃ с точным управлением массовым расходомером MFC.
Машина для трубчатой печи CVD с несколькими зонами нагрева, оборудование для системы камеры химического осаждения из паровой фазы
Многозонная печь CVD KT-CTF14 - точный контроль температуры и потока газа для передовых применений. Максимальная температура до 1200℃, 4-канальный расходомер MFC и сенсорный контроллер TFT 7 дюймов.
Печь для трубчатого химического осаждения из паровой фазы, изготовленная на заказ, универсальная система оборудования для химического осаждения из паровой фазы
Получите эксклюзивную печь для химического осаждения из паровой фазы KT-CTF16, изготовленную на заказ. Настраиваемые функции скольжения, вращения и наклона для точных реакций. Закажите сейчас!
Вертикальная лабораторная трубчатая печь
Улучшите свои эксперименты с помощью нашей вертикальной трубчатой печи. Универсальная конструкция позволяет работать в различных средах и применять различные методы термообработки. Закажите сейчас для получения точных результатов!
Раздельная трубчатая печь 1200℃ с кварцевой трубой, лабораторная трубчатая печь
Раздельная трубчатая печь KT-TF12: высокочистая изоляция, встроенные спирали нагревательного провода и макс. 1200C. Широко используется для новых материалов и осаждения из газовой фазы.
Лабораторная трубчатая печь с несколькими зонами
Обеспечьте точное и эффективное термическое тестирование с помощью нашей трубчатой печи с несколькими зонами. Независимые зоны нагрева и датчики температуры позволяют создавать контролируемые поля нагрева с высоким температурным градиентом. Закажите сейчас для продвинутого термического анализа!
Печь с контролируемой атмосферой 1200℃ Азотная инертная атмосферная печь
Ознакомьтесь с нашей печью с контролируемой атмосферой KT-12A Pro — высокая точность, усиленная вакуумная камера, универсальный интеллектуальный сенсорный контроллер и отличная равномерность температуры до 1200C. Идеально подходит как для лабораторного, так и для промышленного применения.
Печь с контролируемой атмосферой 1700℃ Печь с инертной атмосферой азота
Печь с контролируемой атмосферой KT-17A: нагрев до 1700℃, технология вакуумной герметизации, ПИД-регулирование температуры и универсальный сенсорный TFT-контроллер для лабораторного и промышленного использования.
Вакуумная ротационная трубчатая печь непрерывного действия
Оцените эффективность обработки материалов с нашей вакуумной ротационной трубчатой печью. Идеально подходит для экспериментов или промышленного производства, оснащена дополнительными функциями для контролируемой подачи и оптимизации результатов. Закажите сейчас.
Разъемная многозонная вращающаяся трубчатая печь
Многозонная вращающаяся печь для высокоточного температурного контроля с 2-8 независимыми зонами нагрева. Идеально подходит для электродных материалов литий-ионных аккумуляторов и высокотемпературных реакций. Может работать под вакуумом и в контролируемой атмосфере.
Лабораторная высокотемпературная вакуумная трубчатая печь
Трубчатая печь высокого давления KT-PTF: Компактная разъемная трубчатая печь с высокой стойкостью к положительному давлению. Рабочая температура до 1100°C и давление до 15 МПа. Также работает в контролируемой атмосфере или высоком вакууме.
Печь с контролируемой атмосферой азота и водорода
Печь с водородной атмосферой KT-AH — индукционная газовая печь для спекания/отжига со встроенными функциями безопасности, двухкорпусной конструкцией и энергосберегающей эффективностью. Идеально подходит для лабораторного и промышленного использования.
Лабораторная вакуумная наклонная вращающаяся трубчатая печь
Откройте для себя универсальность лабораторной вращающейся печи: идеально подходит для прокаливания, сушки, спекания и высокотемпературных реакций. Регулируемые функции вращения и наклона для оптимального нагрева. Подходит для работы в вакууме и контролируемой атмосфере. Узнайте больше прямо сейчас!
Лабораторная печь с кварцевой трубой для быстрой термической обработки (RTP)
Получите молниеносный нагрев с нашей трубчатой печью для быстрой термической обработки RTP. Разработана для точного, высокоскоростного нагрева и охлаждения с удобной раздвижной направляющей и сенсорным экраном TFT. Закажите сейчас для идеальной термической обработки!
Горизонтальная высокотемпературная графитизационная печь с графитовым нагревом
Горизонтальная графитизационная печь: Этот тип печи разработан с горизонтальным расположением нагревательных элементов, что обеспечивает равномерный нагрев образца. Он хорошо подходит для графитизации крупных или громоздких образцов, требующих точного контроля температуры и равномерности.
Вакуумная печь для термообработки с футеровкой из керамического волокна
Вакуумная печь с футеровкой из поликристаллического керамического волокна для отличной теплоизоляции и равномерного температурного поля. Выбирайте максимальную рабочую температуру 1200℃ или 1700℃ с высокой производительностью вакуума и точным контролем температуры.
Печь непрерывного графитирования в вакууме с графитом
Высокотемпературная печь графитирования — это профессиональное оборудование для обработки углеродных материалов методом графитирования. Это ключевое оборудование для производства высококачественных графитовых изделий. Она обладает высокой температурой, высокой эффективностью и равномерным нагревом. Подходит для различных высокотемпературных обработок и графитирования. Широко используется в металлургии, электронике, аэрокосмической промышленности и других отраслях.
Печь для индукционной плавки вакуумной дугой
Откройте для себя мощь вакуумной дуговой печи для плавки активных и тугоплавких металлов. Высокая скорость, замечательный эффект дегазации и отсутствие загрязнений. Узнайте больше сейчас!
Связанные статьи
Преимущества химического осаждения из паровой фазы
Рассматриваются преимущества химического осаждения из паровой фазы, включая скорость формирования пленки, прочность адгезии и низкий уровень радиационного повреждения.
Преимущества, ограничения и управление процессом технологии химического осаждения из паровой фазы (CVD)
Рассматриваются преимущества, ограничения и управление процессом при использовании технологии CVD для нанесения покрытий на поверхность.
Сравнение химического осаждения из паровой фазы и физического осаждения из паровой фазы
Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) VS физическое осаждение из паровой фазы (PVD)
Полное руководство по обслуживанию оборудования PECVD
Надлежащее техническое обслуживание оборудования PECVD имеет решающее значение для обеспечения его оптимальной производительности, долговечности и безопасности.
Печь PECVD Маломощное и низкотемпературное решение для мягких материалов
Печи PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением) стали популярным решением для осаждения тонких пленок на поверхности мягких материалов.
Углубленное изучение покрытий химического осаждения из паровой фазы (CVD)
Всестороннее исследование технологии CVD, ее принципов, характеристик, классификации, новых достижений и применения в различных областях.
Всеобъемлющий обзор 12 типов технологий химического осаждения из паровой фазы (CVD)
Изучите различные методы CVD, от плазменного усиления до сверхвысокого вакуума, и их применение в полупроводниковой промышленности и материаловедении.
Почему PECVD необходима для производства микроэлектронных устройств
PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением) — это популярный метод осаждения тонких пленок, используемый в производстве устройств микроэлектроники.
Понимание метода PECVD
PECVD — это процесс химического осаждения из паровой фазы с усилением плазмы, который широко используется при производстве тонких пленок для различных применений.
Подробные процессы и параметры PECVD для осаждения TiN и Si3N4
Углубленное изучение процессов PECVD для TiN и Si3N4, включая настройку оборудования, этапы работы и ключевые параметры процесса.
Роль плазмы в покрытиях PECVD
PECVD (химическое осаждение из газовой фазы с плазменным усилением) представляет собой тип процесса осаждения тонких пленок, который широко используется для создания покрытий на различных подложках. В этом процессе плазма используется для осаждения тонких пленок из различных материалов на подложку.
Понимание PECVD: руководство по химическому осаждению из паровой фазы с плазменным усилением
PECVD — полезный метод для создания тонкопленочных покрытий, поскольку он позволяет наносить самые разные материалы, включая оксиды, нитриды и карбиды.