Печь CVD и PECVD
Плазменное осаждение с расширенным испарением PECVD машина покрытия
Артикул : KT-PED
Цена может варьироваться в зависимости от specs and customizations
- Температура нагрева держателя образца
- ≤800℃
- Каналы продувки газом
- 4 канала
- Размер вакуумной камеры
- Φ500 мм × 550 мм
Доставка:
Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь On-time Dispatch Guarantee.
Запросить индивидуальное коммерческое предложение 👋
Получите цену сейчас! Leave a Message Быстрое получение цены Via WhatsappВведение
Химическое осаждение из паровой плазмы (PECVD) - это вакуумный процесс осаждения тонких пленок, в котором в качестве прекурсоров для создания покрытия используются пары или газы. PECVD - это разновидность химического осаждения из паровой фазы (CVD), в которой для активации исходного газа или пара используется плазма, а не тепло. Поскольку высоких температур можно избежать, диапазон возможных подложек расширяется до материалов с низкой температурой плавления - в некоторых случаях даже пластиков. Кроме того, расширяется и спектр материалов, на которые можно наносить покрытия. PECVD используется для осаждения широкого спектра материалов, включая диэлектрики, полупроводники, металлы и изоляторы. Покрытия, полученные методом PECVD, используются в самых разных областях, включая солнечные батареи, плоские дисплеи и микроэлектронику.
Области применения
Установки для нанесения покрытий методом плазменного химического осаждения из паровой фазы (PECVD) предлагают универсальное решение для различных отраслей промышленности и сфер применения:
- Светодиодное освещение:** Осаждение высококачественных диэлектрических и полупроводниковых пленок для светоизлучающих диодов (LED).
- Силовые полупроводники:** Формирование изолирующих слоев, оксидов затвора и других критических компонентов в силовых полупроводниковых приборах.
- MEMS:** Изготовление тонких пленок для микроэлектромеханических систем (MEMS), таких как датчики и приводы.
- Оптические покрытия:** Осаждение антиотражающих покрытий, оптических фильтров и других оптических компонентов.
- Тонкопленочные солнечные элементы:** Производство тонких пленок аморфного и микрокристаллического кремния для устройств солнечных элементов.
- Модификация поверхности:** Улучшение свойств поверхности, таких как коррозионная стойкость, износостойкость и биосовместимость.
- Нанотехнологии:** Синтез наноматериалов, включая наночастицы, нанопроволоки и тонкие пленки.
Характеристики
Установка для нанесения покрытий методом плазменного химического осаждения из паровой фазы (PECVD) обладает многочисленными преимуществами, которые повышают производительность и обеспечивают исключительные результаты:
- Низкотемпературное осаждение: Позволяет формировать высококачественные пленки при температурах значительно ниже, чем традиционные методы CVD, что делает его пригодным для работы с деликатными подложками.
- Высокая скорость осаждения: Максимальная эффективность за счет быстрого осаждения пленок, сокращения времени производства и повышения производительности.
- Однородные и устойчивые к растрескиванию пленки: Обеспечивает стабильные свойства пленки и минимизирует риск растрескивания, что приводит к созданию надежных и долговечных покрытий.
- Отличная адгезия к подложкам: Обеспечивает прочное сцепление между пленкой и основой, гарантируя долговечность и предотвращая расслоение.
- Универсальные возможности нанесения покрытий: Позволяет осаждать широкий спектр материалов, включая SiO2, SiNx и SiOxNy, для удовлетворения различных требований к применению.
- Индивидуальная настройка для сложных геометрий: Подходит для подложек сложной формы, обеспечивая равномерное покрытие и оптимальную производительность.
- Низкая стоимость обслуживания и простая установка: Минимизирует время простоя и упрощает настройку, повышая производительность и экономическую эффективность.
Технические характеристики
| Держатель образцов | Размер | 1-6 дюймов |
| Скорость вращения | 0-20 об/мин регулируемый | |
| Температура нагрева | ≤800℃ | |
| Точность управления | ±0,5℃ ПИД-регулятор SHIMADEN | |
| Газовая продувка | Расходомер | КОНТРОЛЛЕР МАССОВОГО РАСХОДОМЕРА (MFC) |
| Каналы | 4 канала | |
| Способ охлаждения | Охлаждение циркулирующей водой | |
| Вакуумная камера | Размер камеры | Φ500mm X 550mm |
| Порт наблюдения | Порт полного обзора с перегородкой | |
| Материал камеры | 316 Нержавеющая сталь | |
| Тип двери | Дверь открытого типа спереди | |
| Материал крышки | 304 Нержавеющая сталь | |
| Порт вакуумного насоса | Фланец CF200 | |
| Порт впуска газа | Разъем φ6 VCR | |
| Мощность плазмы | Мощность источника | Питание постоянного тока или радиочастотное питание |
| Режим соединения | Индуктивная связь или емкостная пластина | |
| Выходная мощность | 500 ВТ-1000 ВТ | |
| Мощность биаса | 500v | |
| Вакуумный насос | Предварительный насос | 15L/S Лопастной вакуумный насос |
| Порт турбонасоса | CF150/CF200 620Л/С-1600Л/С | |
| Порт сброса давления | KF25 | |
| Скорость насоса | Лопастной насос: 15 л/с, турбонасос: 1200 л/с, 1600 л/с | |
| Степень вакуума | ≤5×10-5Па | |
| Датчик вакуума | Ионизационный/сопротивление вакуумметр/пленочный манометр | |
| Система | Электропитание | AC 220V /380 50Hz |
| Номинальная мощность | 5 кВт | |
| Размеры | 900 мм X 820 мм X870 мм | |
| Вес | 200 кг |
Принцип работы
Плазменное химическое осаждение из паровой фазы (PECVD) использует плазму для стимулирования химических реакций во время осаждения, что позволяет формировать высококачественные твердые пленки при низких температурах. Используя высокоэнергетическую плазму, установки PECVD увеличивают скорость реакции и снижают ее температуру. Эта технология широко используется в светодиодном освещении, силовых полупроводниках и МЭМС. Она позволяет осаждать пленки SiO2, SiNx, SiOxNy и других носителей, а также осуществлять высокоскоростное осаждение толстых пленок SiO на композитные подложки. PECVD обеспечивает превосходное качество формирования пленки, минимизирует количество точечных отверстий и уменьшает растрескивание, что делает его пригодным для производства тонкопленочных солнечных элементов из аморфного и микрокристаллического кремния.
Преимущество
- Возможность осаждения различных материалов: PECVD позволяет осаждать широкий спектр материалов, включая алмазоподобный углерод, соединения кремния и оксиды металлов, что дает возможность создавать пленки с индивидуальными свойствами.
- Низкотемпературный режим работы: PECVD работает при низких температурах (обычно 300-450°C), что делает его подходящим для термочувствительных подложек.
- Высококачественные тонкие пленки: PECVD позволяет получать тонкие пленки с исключительной однородностью, контролем толщины и устойчивостью к растрескиванию.
- Отличная адгезия: Пленки, осажденные методом PECVD, обладают сильной адгезией к подложке, обеспечивая долговечность и надежность.
- Конформное покрытие: PECVD позволяет наносить покрытия сложной геометрии, обеспечивая равномерное покрытие и защиту.
- Высокая скорость осаждения: PECVD обеспечивает высокую скорость осаждения, повышая производительность и сокращая время производства.
- Неприхотливость в обслуживании: Системы PECVD разработаны с учетом низких затрат на обслуживание, что сводит к минимуму время простоя и максимально увеличивает время безотказной работы.
- Простая установка: Оборудование PECVD относительно легко устанавливается и интегрируется в существующие производственные линии.
- Жесткая конструкция: Системы PECVD имеют прочную конструкцию, обеспечивающую стабильность и долговечность работы.
- Увеличенный срок службы: Системы PECVD рассчитаны на длительный срок службы, обеспечивая экономически эффективное решение для долгосрочных потребностей в осаждении тонких пленок.
Предупреждения
Безопасность оператора – первостепенная задача! Пожалуйста, используйте оборудование с осторожностью. Работа с легковоспламеняющимися, взрывоопасными или токсичными газами очень опасна, операторы должны принять все необходимые меры предосторожности перед запуском оборудования. Работа с избыточным давлением внутри реакторов или камер опасна, оператор должен строго соблюдать технику безопасности. Следует также соблюдать особую осторожность при работе с материалами, реагирующими с воздухом, особенно в условиях вакуума. Утечка может привести к попаданию воздуха в аппарат и вызвать бурную реакцию.
Создан для вас
KinTek предоставляет специализированные услуги и оборудование для клиентов по всему миру, наша специализированная командная работа и богатый опыт инженеров способны выполнить индивидуальные требования к аппаратному и программному оборудованию, а также помочь нашим клиентам создать эксклюзивное и индивидуальное оборудование и решение!
Не могли бы вы поделиться своими идеями с нами, наши инженеры готовы для вас прямо сейчас!
FAQ
Что такое печь CVD?
Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) — это технология, в которой используются различные источники энергии, такие как нагрев, возбуждение плазмы или световое излучение, для химической реакции газообразных или парообразных химических веществ на газовой фазе или на границе газ-твердое тело с образованием твердых отложений в реакторе с помощью химическая реакция. Проще говоря, два или более газообразных сырья вводятся в реакционную камеру, а затем они реагируют друг с другом с образованием нового материала и его осаждением на поверхности подложки.
Печь CVD представляет собой комбинированную систему печей с высокотемпературной трубчатой печью, блоком управления газами и вакуумным блоком, она широко используется для экспериментов и производства композитных материалов, процессов микроэлектроники, полупроводниковой оптоэлектроники, использования солнечной энергии, оптоволоконной связи, сверхпроводников. технология, поле защитного покрытия.
Как работает печь CVD?
Печь CVD состоит из блока высокотемпературной трубчатой печи, блока точного управления источником реагирующего газа, вакуумной насосной станции и соответствующих сборочных частей.
Вакуумный насос предназначен для удаления воздуха из реакционной трубы и обеспечения отсутствия нежелательных газов внутри реакционной трубы, после чего трубчатая печь нагреет реакционную трубу до заданной температуры, после чего блок точного управления источником реакционного газа может вводить различные газы с заданным соотношением в трубку печи для химической реакции, химическое осаждение из паровой фазы будет образовываться в печи CVD.
Что такое метод PECVD?
Какие методы используются для нанесения тонких пленок?
Какой газ используется в процессе CVD?
В процессе CVD можно использовать огромные источники газа, общие химические реакции CVD включают пиролиз, фотолиз, восстановление, окисление, окислительно-восстановительный процесс, поэтому газы, участвующие в этих химических реакциях, могут использоваться в процессе CVD.
В качестве примера возьмем выращивание CVD-графена. Газы, используемые в процессе CVD, будут CH4, H2, O2 и N2.
Каков основной принцип ССЗ?
Для чего используется PECVD?
PACVD - это PECVD?
Что такое оборудование для нанесения тонких пленок?
В чем преимущество системы CVD?
- При необходимости может быть изготовлен широкий ассортимент пленок: металлическая пленка, неметаллическая пленка и пленка из многокомпонентного сплава. В то же время он позволяет получать качественные кристаллы, которые трудно получить другими методами, такими как GaN, BP и др.
- Скорость формирования пленки высокая, обычно несколько микрон в минуту или даже сотни микрон в минуту. Возможно одновременное нанесение большого количества однородных по составу покрытий, что несравнимо с другими методами получения пленок, такими как жидкофазная эпитаксия (ЖФЭ) и молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ).
- Рабочие условия выполняются при нормальном давлении или низком вакууме, поэтому покрытие имеет хорошую дифракцию, а детали сложной формы могут быть равномерно покрыты, что намного превосходит PVD.
- Благодаря взаимной диффузии реакционного газа, продукта реакции и подложки можно получить покрытие с хорошей адгезионной прочностью, что имеет решающее значение для получения пленок с упрочнением поверхности, таких как износостойкие и антикоррозионные пленки.
- Некоторые пленки растут при температуре намного ниже температуры плавления материала пленки. В условиях низкотемпературного роста реакционный газ и стенки реактора, а также содержащиеся в них примеси практически не вступают в реакцию, поэтому можно получить пленку высокой чистоты и хорошей кристалличности.
- Химическое осаждение из паровой фазы позволяет получить гладкую поверхность осаждения. Это связано с тем, что по сравнению с LPE химическое осаждение из паровой фазы (CVD) выполняется при высоком насыщении, с высокой скоростью зародышеобразования, высокой плотностью зародышеобразования и однородным распределением по всей плоскости, что приводит к макроскопически гладкой поверхности. В то же время при химическом осаждении из газовой фазы средний свободный пробег молекул (атомов) намного больше, чем при ЖФЭ, поэтому пространственное распределение молекул является более равномерным, что способствует формированию гладкой поверхности осаждения.
- Низкие радиационные повреждения, что является необходимым условием для изготовления металлооксидных полупроводников (МОП) и других устройств.
Какие существуют типы метода CVD?
Каковы преимущества PECVD?
Что такое технология тонкопленочного осаждения?
Что означает PECVD?
PECVD — это технология, использующая плазму для активации реакционного газа, стимулирования химической реакции на поверхности подложки или в приповерхностном пространстве и создания твердой пленки. Основной принцип технологии плазмохимического осаждения из паровой фазы заключается в том, что под действием ВЧ или постоянного электрического поля исходный газ ионизируется с образованием плазмы, низкотемпературная плазма используется в качестве источника энергии, соответствующее количество реакционного газа вводится, а плазменный разряд используется для активации реакционного газа и осуществления химического осаждения из паровой фазы.
По способу получения плазмы ее можно разделить на ВЧ-плазму, плазму постоянного тока и микроволновую плазму CVD и т. д.
В чем разница между ALD и PECVD?
В чем разница между ССЗ и PECVD?
Отличие PECVD от традиционной технологии CVD заключается в том, что плазма содержит большое количество высокоэнергетических электронов, которые могут обеспечить энергию активации, необходимую в процессе химического осаждения из паровой фазы, тем самым изменяя режим энергоснабжения реакционной системы. Поскольку температура электронов в плазме достигает 10000 К, столкновение между электронами и молекулами газа может способствовать разрыву химических связей и рекомбинации молекул реакционного газа с образованием более активных химических групп, в то время как вся реакционная система поддерживает более низкую температуру.
Таким образом, по сравнению с процессом CVD, PECVD может выполнять тот же процесс химического осаждения из паровой фазы при более низкой температуре.
В чем разница между PECVD и напылением?
4.9
out of
5
I'm impressed by how quickly my PECVD coating machine arrived. It was delivered within a week of ordering, which was much faster than I expected.
4.7
out of
5
The PECVD coating machine is an excellent value for the price. It's well-made and produces high-quality coatings.
4.8
out of
5
I've been using the PECVD coating machine for a few months now, and I'm very happy with its performance. The coatings are durable and have improved the performance of my products.
4.9
out of
5
The PECVD coating machine is a game-changer for my business. It's helped me to increase my production capacity and improve the quality of my products.
4.7
out of
5
I'm very impressed with the technological advancements of the PECVD coating machine. It's a cutting-edge piece of equipment that has helped me to stay ahead of the competition.
4.8
out of
5
The PECVD coating machine is easy to use and maintain. I've had no problems with it since I purchased it.
4.9
out of
5
I highly recommend the PECVD coating machine to anyone who needs a high-quality, durable coating for their products.
4.7
out of
5
The PECVD coating machine is a great investment for any business. It's helped me to save money and improve the quality of my products.
4.8
out of
5
I'm very satisfied with the PECVD coating machine. It's a reliable and efficient piece of equipment that has helped me to improve my production process.
4.9
out of
5
The PECVD coating machine is a must-have for any business that wants to improve the quality of its products. It's a versatile and easy-to-use machine that can be used for a variety of applications.
4.7
out of
5
I'm very happy with the PECVD coating machine. It's a well-made and durable machine that has helped me to improve the performance of my products.
4.8
out of
5
The PECVD coating machine is a great value for the price. It's a high-quality machine that has helped me to improve the efficiency of my production process.
4.9
out of
5
I'm very impressed with the PECVD coating machine. It's a versatile and easy-to-use machine that has helped me to improve the quality of my products.
4.7
out of
5
The PECVD coating machine is a great investment for any business. It's a reliable and efficient machine that has helped me to save money and improve the quality of my products.
4.8
out of
5
I'm very happy with the PECVD coating machine. It's a well-made and durable machine that has helped me to improve the performance of my products.
4.9
out of
5
The PECVD coating machine is a must-have for any business that wants to improve the quality of its products. It's a versatile and easy-to-use machine that can be used for a variety of applications.
4.7
out of
5
I'm very happy with the PECVD coating machine. It's a well-made and durable machine that has helped me to improve the performance of my products.
4.8
out of
5
The PECVD coating machine is a great investment for any business. It's a reliable and efficient machine that has helped me to save money and improve the quality of my products.
4.9
out of
5
I'm very impressed with the PECVD coating machine. It's a versatile and easy-to-use machine that has helped me to improve the quality of my products.
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Наклонная ротационная машина для трубчатой печи с плазменным осаждением (PECVD)
Представляем нашу наклонную вращающуюся печь PECVD для точного осаждения тонких пленок. Наслаждайтесь автоматическим согласованием источника, программируемым ПИД-регулятором температуры и высокоточным управлением массовым расходомером MFC. Встроенные функции безопасности для вашего спокойствия.
Радиочастотная система PECVD Радиочастотное осаждение из паровой фазы с усилением плазмы
RF-PECVD - это аббревиатура от "Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition". С его помощью на германиевые и кремниевые подложки наносится пленка DLC (алмазоподобного углерода). Он используется в инфракрасном диапазоне длин волн 3-12um.
Скользящая трубчатая печь PECVD с жидким газификатором PECVD машина
Система KT-PE12 Slide PECVD: широкий диапазон мощностей, программируемый контроль температуры, быстрый нагрев/охлаждение с помощью скользящей системы, контроль массового расхода MFC и вакуумный насос.
Электронно-лучевое напыление покрытия бескислородного медного тигля
При использовании методов электронно-лучевого испарения использование тиглей из бескислородной меди сводит к минимуму риск загрязнения кислородом в процессе испарения.
Цилиндрический резонатор MPCVD алмазной установки для выращивания алмазов в лаборатории
Узнайте о машине MPCVD с цилиндрическим резонатором - методе микроволнового плазмохимического осаждения из паровой фазы, который используется для выращивания алмазных камней и пленок в ювелирной и полупроводниковой промышленности. Узнайте о его экономически эффективных преимуществах по сравнению с традиционными методами HPHT.
Колокольный резонатор MPCVD Машина для лаборатории и выращивания алмазов
Получите высококачественные алмазные пленки с помощью нашей машины MPCVD с резонатором Bell-jar Resonator, предназначенной для лабораторного выращивания и выращивания алмазов. Узнайте, как микроволновое плазменно-химическое осаждение из паровой фазы работает для выращивания алмазов с использованием углекислого газа и плазмы.
CVD-алмаз для терморегулирования
CVD-алмаз для управления температурным режимом: высококачественный алмаз с теплопроводностью до 2000 Вт/мК, идеально подходящий для теплоотводов, лазерных диодов и приложений GaN на алмазе (GOD).
Набор керамических испарительных лодочек
Его можно использовать для осаждения из паровой фазы различных металлов и сплавов. Большинство металлов можно полностью испарить без потерь. Испарительные корзины многоразовые.
Полусферическая нижняя вольфрамовая/молибденовая испарительная лодка
Используется для золочения, серебряного покрытия, платины, палладия, подходит для небольшого количества тонкопленочных материалов. Уменьшите отходы пленочных материалов и уменьшите тепловыделение.
Алмаз, легированный CVD бором: универсальный материал, обеспечивающий индивидуальную электропроводность, оптическую прозрачность и исключительные тепловые свойства для применения в электронике, оптике, сенсорных и квантовых технологиях.
915MHz MPCVD Diamond Machine и его многокристальный эффективный рост, максимальная площадь может достигать 8 дюймов, максимальная эффективная площадь роста монокристалла может достигать 5 дюймов. Это оборудование в основном используется для производства поликристаллических алмазных пленок большого размера, роста длинных монокристаллов алмазов, низкотемпературного роста высококачественного графена и других материалов, для роста которых требуется энергия, предоставляемая микроволновой плазмой.
Испарительная лодочка из алюминированной керамики
Сосуд для нанесения тонких пленок; имеет керамический корпус с алюминиевым покрытием для повышения термической эффективности и химической стойкости. что делает его пригодным для различных приложений.
Универсальная трубчатая печь CVD, изготовленная по индивидуальному заказу CVD-машина
Получите свою эксклюзивную печь CVD с универсальной печью KT-CTF16, изготовленной по индивидуальному заказу. Настраиваемые функции скольжения, вращения и наклона для точной реакции. Заказать сейчас!
Мишень для распыления палладия (Pd) высокой чистоты / порошок / проволока / блок / гранула
Ищете недорогие палладиевые материалы для своей лаборатории? Мы предлагаем индивидуальные решения различной чистоты, формы и размера — от мишеней для распыления до нанометровых порошков и порошков для 3D-печати. Просмотрите наш ассортимент прямо сейчас!
Мишень для распыления ванадия высокой чистоты (V) / порошок / проволока / блок / гранула
Ищете высококачественные материалы на основе ванадия (V) для своей лаборатории? Мы предлагаем широкий спектр настраиваемых опций в соответствии с вашими уникальными потребностями, включая мишени для распыления, порошки и многое другое. Свяжитесь с нами сегодня для конкурентоспособных цен.
Алмазное покрытие CVD: превосходная теплопроводность, качество кристаллов и адгезия для режущих инструментов, трения и акустических применений.
Алмазные оптические окна: исключительная широкополосная инфракрасная прозрачность, отличная теплопроводность и низкое рассеяние в инфракрасном диапазоне, для окон с мощными ИК-лазерами и микроволновыми окнами.
Обновите свои электрохимические эксперименты с помощью нашего платинового дискового электрода. Высокое качество и надежность для точных результатов.
Полка для очистки проводящей стеклянной подложки из ПТФЭ
Полка для очистки проводящей стеклянной подложки из ПТФЭ используется в качестве носителя квадратной кремниевой пластины солнечного элемента, чтобы обеспечить эффективное и беззагрязняющее обращение в процессе очистки.
Вытяжная матрица с наноалмазным покрытием Оборудование HFCVD
Фильера для нанесения наноалмазного композитного покрытия использует цементированный карбид (WC-Co) в качестве подложки, а для нанесения обычного алмаза и наноалмазного композитного покрытия на поверхность внутреннего отверстия пресс-формы используется метод химической паровой фазы (сокращенно CVD-метод).
Связанные статьи
Химическое осаждение из паровой фазы с расширенной плазмой (PECVD): Исчерпывающее руководство
Узнайте все, что вам нужно знать о плазменном химическом осаждении из паровой фазы (PECVD) - технологии осаждения тонких пленок, используемой в полупроводниковой промышленности. Изучите ее принципы, области применения и преимущества.
Понимание PECVD: руководство по химическому осаждению из паровой фазы с плазменным усилением
PECVD — полезный метод для создания тонкопленочных покрытий, поскольку он позволяет наносить самые разные материалы, включая оксиды, нитриды и карбиды.
Роль плазмы в покрытиях PECVD
PECVD (химическое осаждение из газовой фазы с плазменным усилением) представляет собой тип процесса осаждения тонких пленок, который широко используется для создания покрытий на различных подложках. В этом процессе плазма используется для осаждения тонких пленок из различных материалов на подложку.
Введение в химическое осаждение из паровой фазы (CVD)
Химическое осаждение из паровой фазы, или CVD, представляет собой процесс нанесения покрытия, который включает использование газообразных реагентов для получения тонких пленок и покрытий высокого качества.
Преимущества и недостатки химического осаждения из паровой фазы (CVD)
Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) - это универсальный метод осаждения тонких пленок, широко используемый в различных отраслях промышленности. Изучите ее преимущества, недостатки и потенциальные новые применения.
Сравнение производительности PECVD и HPCVD при нанесении покрытий
Хотя и PECVD, и HFCVD используются для нанесения покрытий, они различаются методами осаждения, характеристиками и пригодностью для конкретных применений.
CVD-машины для нанесения тонких пленок
Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) — широко используемый метод осаждения тонких пленок на различные подложки.
Почему PECVD необходима для производства микроэлектронных устройств
PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением) — это популярный метод осаждения тонких пленок, используемый в производстве устройств микроэлектроники.
Пошаговое руководство по процессу PECVD
PECVD — это тип процесса химического осаждения из паровой фазы, в котором используется плазма для усиления химических реакций между газофазными прекурсорами и подложкой.
Полное руководство по обслуживанию оборудования PECVD
Надлежащее техническое обслуживание оборудования PECVD имеет решающее значение для обеспечения его оптимальной производительности, долговечности и безопасности.
Сравнение химического осаждения из паровой фазы и физического осаждения из паровой фазы
Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) VS физическое осаждение из паровой фазы (PVD)
Процесс изготовления CVD-алмаза на машине MPCVD
Алмазные станки CVD приобрели большое значение в различных отраслях промышленности и научных исследованиях.