Продукты Тепловое оборудование Печь CVD и PECVD Универсальная трубчатая печь CVD, изготовленная по индивидуальному заказу CVD-машина
Категории
Категории

Ярлык

Общайтесь с нами для быстрого и прямого общения.

Немедленный ответ в рабочие дни (в течение 8 часов в праздничные дни)

Универсальная трубчатая печь CVD, изготовленная по индивидуальному заказу CVD-машина

Печь CVD и PECVD

Универсальная трубчатая печь CVD, изготовленная по индивидуальному заказу CVD-машина

Артикул : KT-CTF16

Цена может варьироваться в зависимости от спецификации и настройки


Макс. температура
1600 ℃
Постоянная рабочая температура
1550 ℃
Диаметр трубы печи
60 мм
Зона нагрева
3х300 мм
Степень нагрева
0-10 ℃/мин
ISO & CE icon

Доставка:

Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.

Приложения

KT-CTF16 Универсальная печь CVD, изготовленная заказчиком, может быть изготовлена в соответствии с индивидуальными требованиями заказчика, что позволяет реализовать эксклюзивное оборудование исследователя.

Пользовательские функции, такие как раздвижная камера печи, раздвижная / вращающаяся / наклоняемая / встряхивающая реакционная труба печи, вертикальная реакционная камера с псевдоожиженным слоем, подача газификации жидкости, непрерывная подача и разгрузка с вакуумным уплотнением, сбор токсичных выбросов, пилотное производство CVD и так далее.

Функции

  • Независимые зоны нагрева, способные создавать более продолжительное поле постоянной температуры, а также контролируемый температурный градиент
  • Программируемый ПИД-регулятор температуры, отличная точность управления и поддержка дистанционного управления и централизованного управления
  • Высокоточное управление массовым расходомером MFC, предварительное смешивание исходных газов и стабильная скорость подачи газа
  • Вакуумный фланец из нержавеющей стали с различными адаптирующими портами для различных установок вакуумных насосных станций, хорошее уплотнение и высокий уровень вакуума
  • KT-CTF16 Pro использует один 7-дюймовый сенсорный TFT-контроллер, более удобную настройку программы и анализ данных истории.

Доступны системы CVD с различной температурой и настройками

Раздельная печь CVD с газификатором и датчиком избыточного давления
Раздельная печь CVD с газификатором и датчиком избыточного давления
Вертикальная печь CVD для псевдоожиженного слоя
Вертикальная печь CVD для псевдоожиженного слоя
Печь CVD 1600C с направляющей держателя образца
Печь CVD 1600 ℃ с направляющей держателя образца
Печь RTP CVD для быстрой термической обработки с выдвижной реакционной трубой
Печь RTP CVD для быстрой термической обработки с выдвижной реакционной трубой
Мини-печь CVD с монитором выбросов и системой обжига
Мини-печь CVD с монитором выбросов и системой обжига

Технические характеристики

Модель печи КТ-КТФ16-60
Макс. температура 1600 ℃
Постоянная рабочая температура 1550 ℃
Материал трубы печи Трубка Al2O3 высокой чистоты
Диаметр трубы печи 60мм
Зона нагрева 3x300мм
Материал камеры Поликристаллическое волокно из оксида алюминия
Нагревательный элемент Карбид кремния
Степень нагрева 0-10℃/мин
Тепловая пара S тип
Регулятор температуры Цифровой ПИД-регулятор/ПИД-регулятор с сенсорным экраном
Точность контроля температуры ±1℃
Блок точного управления газом
Расходомер массовый расходомер МФЦ
Газовые каналы 3 канала
Скорость потока MFC1: 0-5SCCM O2
МФЦ2: 0-20СКМЧ4
MFC3: 0-100SCCM H2
MFC4: 0-500 SCCM N2
Линейность ±0,5% полной шкалы
Повторяемость ±0,2% полной шкалы
Трубопровод и клапан Нержавеющая сталь
Максимальное рабочее давление 0,45 МПа
Контроллер расходомера Контроллер с цифровой ручкой/контроллер с сенсорным экраном
Стандартный вакуумный блок (опционально)
Вакуумный насос Ротационно-пластинчатый вакуумный насос
Производительность насоса 4 л/с
Вакуумный всасывающий патрубок КФ25
Вакуумметр Силиконовый вакуумметр Пирани/Сопротивление
Номинальное вакуумметрическое давление 10Па
Блок высокого вакуума (опционально)
Вакуумный насос Ротационно-лопастной насос+молекулярный насос
Производительность насоса 4л/с+110л/с
Вакуумный всасывающий патрубок КФ25
Вакуумметр Составной вакуумметр
Номинальное вакуумметрическое давление 6x10-5Па
Вышеуказанные спецификации и настройки могут быть настроены

Стандартный пакет

Нет. Описание Количество
1 печь 1
2 Кварцевая трубка 1
3 Вакуумный фланец 2
4 Трубчатый термоблок 2
5 Крючок для термоблока трубки 1
6 Термостойкая перчатка 1
7 Точный контроль газа 1
8 Вакуумная установка 1
9 Руководство по эксплуатации 1

Дополнительная настройка

  • Обнаружение и мониторинг трубных газов, таких как H2, O2 и т. д.
  • Независимый мониторинг и запись температуры печи
  • Коммуникационный порт RS 485 для удаленного управления ПК и экспорта данных
  • Вставьте регулятор расхода подачи газов, такой как массовый расходомер и поплавковый расходомер.
  • Регулятор температуры с сенсорным экраном и универсальными удобными для оператора функциями
  • Высоковакуумные насосные станции, такие как лопастной вакуумный насос, молекулярный насос, диффузионный насос

Предупреждения

Безопасность оператора – первостепенная задача! Пожалуйста, используйте оборудование с осторожностью. Работа с легковоспламеняющимися, взрывоопасными или токсичными газами очень опасна, операторы должны принять все необходимые меры предосторожности перед запуском оборудования. Работа с избыточным давлением внутри реакторов или камер опасна, оператор должен строго соблюдать технику безопасности. Следует также соблюдать особую осторожность при работе с материалами, реагирующими с воздухом, особенно в условиях вакуума. Утечка может привести к попаданию воздуха в аппарат и вызвать бурную реакцию.

Создан для вас

KinTek предоставляет специализированные услуги и оборудование для клиентов по всему миру, наша специализированная командная работа и богатый опыт инженеров способны выполнить индивидуальные требования к аппаратному и программному оборудованию, а также помочь нашим клиентам создать эксклюзивное и индивидуальное оборудование и решение!

Не могли бы вы поделиться своими идеями с нами, наши инженеры готовы для вас прямо сейчас!

FAQ

Что такое печь CVD?

Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) — это технология, в которой используются различные источники энергии, такие как нагрев, возбуждение плазмы или световое излучение, для химической реакции газообразных или парообразных химических веществ на газовой фазе или на границе газ-твердое тело с образованием твердых отложений в реакторе с помощью химическая реакция. Проще говоря, два или более газообразных сырья вводятся в реакционную камеру, а затем они реагируют друг с другом с образованием нового материала и его осаждением на поверхности подложки.

Печь CVD представляет собой комбинированную систему печей с высокотемпературной трубчатой печью, блоком управления газами и вакуумным блоком, она широко используется для экспериментов и производства композитных материалов, процессов микроэлектроники, полупроводниковой оптоэлектроники, использования солнечной энергии, оптоволоконной связи, сверхпроводников. технология, поле защитного покрытия.

Что такое трубчатая печь?

Лабораторная трубчатая печь представляет собой одну из классических высокотемпературных трубчатых печей с внешним нагревом, также называемую нагревательной печью с горячими стенками.

В соответствии с различной рабочей температурой, материал труб печи обычно может представлять собой прозрачные кварцевые трубы, керамические трубы из глинозема высокой чистоты и трубы из высокопрочного металлического сплава.

Для различных целей тепловых исследований трубчатая печь может быть спроектирована с несколькими зонами нагрева, чтобы обеспечить гибкий контроль градиента температуры в трубчатой рабочей камере; Трубка печи может работать в рабочей среде с контролируемой атмосферой или в рабочей среде с высоким вакуумом.

Что такое CVD (химическое осаждение из паровой фазы) и каковы его основные преимущества?

CVD, или химическое осаждение из паровой фазы, - это процесс, при котором материалы осаждаются на подложку из паровой фазы. К основным преимуществам процесса относятся возможность нанесения покрытий на поверхности с ограниченным доступом, широкий спектр материалов для покрытий (металлы, сплавы и керамика), очень низкий уровень пористости, высокая чистота и экономичность производства при больших партиях.

Как работает печь CVD?

Печь CVD состоит из блока высокотемпературной трубчатой печи, блока точного управления источником реагирующего газа, вакуумной насосной станции и соответствующих сборочных частей.

Вакуумный насос предназначен для удаления воздуха из реакционной трубы и обеспечения отсутствия нежелательных газов внутри реакционной трубы, после чего трубчатая печь нагреет реакционную трубу до заданной температуры, после чего блок точного управления источником реакционного газа может вводить различные газы с заданным соотношением в трубку печи для химической реакции, химическое осаждение из паровой фазы будет образовываться в печи CVD.

Что такое метод PECVD?

PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением) — это процесс, используемый в производстве полупроводников для нанесения тонких пленок на микроэлектронные устройства, фотогальванические элементы и панели дисплеев. В PECVD прекурсор вводится в реакционную камеру в газообразном состоянии, и с помощью плазменных реакционноспособных сред прекурсор диссоциирует при гораздо более низких температурах, чем при CVD. Системы PECVD обеспечивают превосходную однородность пленки, низкотемпературную обработку и высокую производительность. Они используются в самых разных областях и будут играть все более важную роль в полупроводниковой промышленности, поскольку спрос на передовые электронные устройства продолжает расти.

Как работает трубчатая печь?

Нагревательные элементы трубчатой печи расположены вокруг цилиндрической полости, печь может нагревать образцы в цилиндрической полости только за счет непрямого теплового излучения, поскольку труба печи может предотвратить контакт материала образца с нагревательными элементами печи и изоляционными материалами, поэтому трубчатая печь создает чистое изолированное пространство. термокамеры и снизить риск загрязнения материала образца печью.

Какие методы используются для нанесения тонких пленок?

Двумя основными методами, используемыми для нанесения тонких пленок, являются химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и физическое осаждение из паровой фазы (PVD). CVD включает введение газов-реагентов в камеру, где они реагируют на поверхности пластины с образованием твердой пленки. PVD не включает химических реакций; вместо этого внутри камеры создаются пары составляющих материалов, которые затем конденсируются на поверхности пластины, образуя твердую пленку. Общие типы PVD включают осаждение испарением и осаждение распылением. Существует три типа методов напыления: термическое испарение, электронно-лучевое испарение и индуктивный нагрев.

Каковы некоторые распространенные области применения материалов CVD?

Материалы CVD используются в различных областях, таких как режущие инструменты, акустические системы, инструменты для правки, фильеры для волочения проволоки, терморегулирование, электроника, оптика, сенсоры, квантовые технологии и многое другое. Они ценятся за превосходную теплопроводность, долговечность и работоспособность в различных условиях.

Что такое МпкВД?

MPCVD расшифровывается как Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition и представляет собой процесс осаждения тонких пленок на поверхность. Он использует вакуумную камеру, микроволновый генератор и систему подачи газа для создания плазмы, состоящей из реагирующих химических веществ и необходимых катализаторов. MPCVD широко используется в сети ANFF для осаждения слоев алмаза с использованием метана и водорода для выращивания нового алмаза на подложке с алмазными затравками. Это многообещающая технология производства недорогих высококачественных крупных алмазов, которая широко используется в полупроводниковой и алмазообрабатывающей промышленности.

Что такое RF PECVD?

RF PECVD означает радиочастотное плазменное химическое осаждение из паровой фазы, которое представляет собой метод, используемый для приготовления поликристаллических пленок на подложке с использованием плазмы тлеющего разряда для воздействия на процесс во время химического осаждения из паровой фазы при низком давлении. Метод RF PECVD хорошо зарекомендовал себя для стандартной технологии кремниевых интегральных схем, где в качестве подложек обычно используются плоские пластины. Преимущество этого метода заключается в возможности дешевого изготовления пленки и высокой эффективности осаждения. Материалы также могут быть нанесены в виде пленок с переменным показателем преломления или в виде стопки нанопленок, каждая из которых имеет разные свойства.

Какой газ используется в процессе CVD?

В процессе CVD можно использовать огромные источники газа, общие химические реакции CVD включают пиролиз, фотолиз, восстановление, окисление, окислительно-восстановительный процесс, поэтому газы, участвующие в этих химических реакциях, могут использоваться в процессе CVD.

В качестве примера возьмем выращивание CVD-графена. Газы, используемые в процессе CVD, будут CH4, H2, O2 и N2.

Для чего используется PECVD?

PECVD (плазменное химическое осаждение из паровой фазы) широко используется в полупроводниковой промышленности для изготовления интегральных схем, а также в фотоэлектрической, трибологической, оптической и биомедицинской областях. Он используется для осаждения тонких пленок для микроэлектронных устройств, фотогальванических элементов и панелей дисплея. PECVD может производить уникальные соединения и пленки, которые невозможно создать только с помощью обычных методов CVD, а также пленки, демонстрирующие высокую стойкость к растворителям и коррозии, а также химическую и термическую стабильность. Он также используется для производства гомогенных органических и неорганических полимеров на больших поверхностях и алмазоподобного углерода (DLC) для трибологических применений.

Каково применение трубчатой печи?

Трубчатая печь в основном используется в металлургии, производстве стекла, термообработке, литиевых анодных и катодных материалах, новой энергетике, абразивных материалах и других отраслях промышленности и является профессиональным оборудованием для измерения материалов при определенных температурных условиях.

Трубчатая печь отличается простой конструкцией, простотой эксплуатации, простотой управления и непрерывным производством.

Трубчатая печь также широко применяется в системах CVD (химическое осаждение из паровой фазы) и плазменных системах CVD.

Что такое оборудование для нанесения тонких пленок?

Оборудование для нанесения тонких пленок относится к инструментам и методам, используемым для создания и нанесения тонкопленочных покрытий на материал подложки. Эти покрытия могут быть изготовлены из различных материалов и иметь различные характеристики, которые могут улучшить или изменить характеристики подложки. Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) — популярный метод, при котором твердый материал испаряется в вакууме, а затем наносится на подложку. Другие методы включают испарение и распыление. Оборудование для нанесения тонких пленок используется, в частности, в производстве оптоэлектронных устройств, медицинских имплантатов и прецизионной оптики.

Какие типы материалов CVD доступны?

Существует несколько типов CVD-материалов, включая CVD-алмазные покрытия, CVD-алмазные купола, CVD-алмаз для правки инструментов, CVD-алмазные заготовки для волочения проволоки, CVD-алмазные заготовки для режущих инструментов, CVD-алмаз, легированный бором, CVD-алмаз для терморегулирования и другие. Каждый тип предназначен для конкретных применений.

Что такое машина Mpcvd?

Установка MPCVD (микроволновое плазменно-химическое осаждение из паровой фазы) представляет собой лабораторное оборудование, используемое для выращивания высококачественных алмазных пленок. Он использует углеродсодержащий газ и микроволновую плазму для создания плазменного шара над алмазной подложкой, который нагревает ее до определенной температуры. Плазменный шар не соприкасается со стенкой полости, что делает процесс роста алмаза свободным от примесей и повышает качество алмаза. Система MPVD состоит из вакуумной камеры, микроволнового генератора и системы подачи газа, которая регулирует подачу газа в камеру.

PACVD - это PECVD?

Да, PACVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением) — это еще один термин для PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением). В этом процессе используется энергичная плазма, сформированная в электрическом поле, для активации реакции CVD при более низких температурах, чем при термическом CVD, что делает его идеальным для подложек или осаждаемых пленок с низким тепловым балансом. Варьируя плазму, можно дополнительно контролировать свойства осаждаемой пленки. Большинство процессов PECVD проводятся при низком давлении для стабилизации плазмы разряда.

Каков основной принцип ССЗ?

Основной принцип химического осаждения из паровой фазы (CVD) заключается в воздействии на подложку одного или нескольких летучих прекурсоров, которые вступают в реакцию или разлагаются на ее поверхности, образуя тонкопленочный осадок. Этот процесс можно использовать для различных применений, таких как создание рисунка на пленках, изоляционных материалах и проводящих металлических слоях. CVD — универсальный процесс, с помощью которого можно синтезировать покрытия, порошки, волокна, нанотрубки и монолитные компоненты. Он также способен производить большинство металлов и металлических сплавов и их соединений, полупроводников и неметаллических систем. Осаждение твердого вещества на нагретой поверхности в результате химической реакции в паровой фазе характеризует процесс CVD.

В чем преимущество системы CVD?

  • При необходимости может быть изготовлен широкий ассортимент пленок: металлическая пленка, неметаллическая пленка и пленка из многокомпонентного сплава. В то же время он позволяет получать качественные кристаллы, которые трудно получить другими методами, такими как GaN, BP и др.
  • Скорость формирования пленки высокая, обычно несколько микрон в минуту или даже сотни микрон в минуту. Возможно одновременное нанесение большого количества однородных по составу покрытий, что несравнимо с другими методами получения пленок, такими как жидкофазная эпитаксия (ЖФЭ) и молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ).
  • Рабочие условия выполняются при нормальном давлении или низком вакууме, поэтому покрытие имеет хорошую дифракцию, а детали сложной формы могут быть равномерно покрыты, что намного превосходит PVD.
  • Благодаря взаимной диффузии реакционного газа, продукта реакции и подложки можно получить покрытие с хорошей адгезионной прочностью, что имеет решающее значение для получения пленок с упрочнением поверхности, таких как износостойкие и антикоррозионные пленки.
  • Некоторые пленки растут при температуре намного ниже температуры плавления материала пленки. В условиях низкотемпературного роста реакционный газ и стенки реактора, а также содержащиеся в них примеси практически не вступают в реакцию, поэтому можно получить пленку высокой чистоты и хорошей кристалличности.
  • Химическое осаждение из паровой фазы позволяет получить гладкую поверхность осаждения. Это связано с тем, что по сравнению с LPE химическое осаждение из паровой фазы (CVD) выполняется при высоком насыщении, с высокой скоростью зародышеобразования, высокой плотностью зародышеобразования и однородным распределением по всей плоскости, что приводит к макроскопически гладкой поверхности. В то же время при химическом осаждении из газовой фазы средний свободный пробег молекул (атомов) намного больше, чем при ЖФЭ, поэтому пространственное распределение молекул является более равномерным, что способствует формированию гладкой поверхности осаждения.
  • Низкие радиационные повреждения, что является необходимым условием для изготовления металлооксидных полупроводников (МОП) и других устройств.

Каковы преимущества PECVD?

Основными преимуществами PECVD являются его способность работать при более низких температурах осаждения, обеспечивая лучшее соответствие и ступенчатое покрытие на неровных поверхностях, более жесткий контроль процесса тонкопленочного осаждения и высокие скорости осаждения. PECVD позволяет успешно применять его в ситуациях, когда обычные температуры CVD могут потенциально повредить устройство или подложку, на которую наносится покрытие. Работая при более низкой температуре, PECVD создает меньшее напряжение между слоями тонкой пленки, обеспечивая высокоэффективные электрические характеристики и соединение в соответствии с очень высокими стандартами.

Сколько различных типов трубчатых печей?

Трубчатая печь может плавно работать с различными механическими функциями, поэтому существует множество различных вариантов трубчатых печей для различных экспериментальных целей, типичные печные печи приведены ниже:

  • Горизонтальная трубчатая печь
  • Вертикальная трубчатая печь
  • Раздельная трубчатая печь
  • Вращающаяся трубчатая печь
  • Наклонная трубчатая печь
  • Раздвижная трубчатая печь
  • Трубчатая печь быстрого нагрева и охлаждения
  • Трубчатая печь с непрерывной подачей и разгрузкой

Что такое технология тонкопленочного осаждения?

Технология нанесения тонких пленок представляет собой процесс нанесения очень тонкой пленки материала толщиной от нескольких нанометров до 100 микрометров на поверхность подложки или на ранее нанесенные покрытия. Эта технология используется в производстве современной электроники, в том числе полупроводников, оптических устройств, солнечных батарей, компакт-дисков и дисководов. Двумя широкими категориями тонкопленочного осаждения являются химическое осаждение, когда химическое изменение приводит к химическому осаждению покрытия, и физическое осаждение из паровой фазы, когда материал высвобождается из источника и осаждается на подложку с использованием механических, электромеханических или термодинамических процессов.

Как CVD-алмаз повышает производительность режущих инструментов?

CVD-алмаз улучшает режущие инструменты, обеспечивая превосходную износостойкость, низкое трение и высокую теплопроводность. Это делает их идеальными для обработки цветных материалов, керамики и композитов, обеспечивая более длительный срок службы инструмента и лучшую производительность.

Каковы преимущества Mpcvd?

MPCVD имеет несколько преимуществ по сравнению с другими методами производства алмазов, таких как более высокая чистота, меньшее потребление энергии и возможность производить более крупные алмазы.

Какие существуют типы метода CVD?

Различные типы методов CVD включают CVD при атмосферном давлении (APCVD), CVD при низком давлении (LPCVD), CVD в сверхвысоком вакууме, CVD с использованием аэрозолей, CVD с прямым впрыском жидкости, CVD с горячей стенкой, CVD с холодной стенкой, CVD с микроволновой плазмой, плазмо- улучшенное CVD (PECVD), удаленное CVD с усилением плазмы, низкоэнергетическое CVD с усилением плазмы, CVD атомного слоя, CVD горения и CVD горячей нити. Эти методы различаются механизмом запуска химических реакций и условиями проведения.

Что означает PECVD?

PECVD — это технология, использующая плазму для активации реакционного газа, стимулирования химической реакции на поверхности подложки или в приповерхностном пространстве и создания твердой пленки. Основной принцип технологии плазмохимического осаждения из паровой фазы заключается в том, что под действием ВЧ или постоянного электрического поля исходный газ ионизируется с образованием плазмы, низкотемпературная плазма используется в качестве источника энергии, соответствующее количество реакционного газа вводится, а плазменный разряд используется для активации реакционного газа и осуществления химического осаждения из паровой фазы.

По способу получения плазмы ее можно разделить на ВЧ-плазму, плазму постоянного тока и микроволновую плазму CVD и т. д.

В чем разница между ALD и PECVD?

ALD — это процесс осаждения тонких пленок, который обеспечивает атомарное разрешение по толщине слоя, превосходную однородность поверхностей с высоким соотношением сторон и слоев без точечных отверстий. Это достигается непрерывным образованием атомарных слоев в самоограничивающейся реакции. PECVD, с другой стороны, включает смешивание исходного материала с одним или несколькими летучими прекурсорами с использованием плазмы для химического взаимодействия и разрушения исходного материала. В процессах используется тепло с более высоким давлением, что приводит к более воспроизводимой пленке, где толщина пленки может регулироваться по времени/мощности. Эти пленки более стехиометричны, плотнее и позволяют выращивать изоляционные пленки более высокого качества.

Почему алмазные купола CVD подходят для высокопроизводительных акустических систем?

Купола из алмаза CVD подходят для высокопроизводительных акустических систем благодаря исключительному качеству звука, долговечности и способности работать с мощностью. Изготовленные по технологии DC Arc Plasma Jet, они обеспечивают превосходные акустические характеристики для аудиосистем высокого класса.

Алмазы CVD настоящие или поддельные?

Алмазы CVD — это настоящие бриллианты, а не подделка. Их выращивают в лаборатории с помощью процесса, называемого химическим осаждением из паровой фазы (CVD). В отличие от природных алмазов, которые добывают из-под земли, алмазы CVD создаются с использованием передовых технологий в лабораториях. Эти алмазы на 100% состоят из углерода и представляют собой чистейшую форму алмазов, известную как алмазы типа IIa. Они обладают теми же оптическими, тепловыми, физическими и химическими свойствами, что и природные алмазы. Единственное отличие состоит в том, что алмазы CVD создаются в лаборатории, а не добываются из земли.

В чем разница между ССЗ и PECVD?

Отличие PECVD от традиционной технологии CVD заключается в том, что плазма содержит большое количество высокоэнергетических электронов, которые могут обеспечить энергию активации, необходимую в процессе химического осаждения из паровой фазы, тем самым изменяя режим энергоснабжения реакционной системы. Поскольку температура электронов в плазме достигает 10000 К, столкновение между электронами и молекулами газа может способствовать разрыву химических связей и рекомбинации молекул реакционного газа с образованием более активных химических групп, в то время как вся реакционная система поддерживает более низкую температуру.

Таким образом, по сравнению с процессом CVD, PECVD может выполнять тот же процесс химического осаждения из паровой фазы при более низкой температуре.

В чем разница между PECVD и напылением?

PECVD и напыление являются методами физического осаждения из паровой фазы, используемыми для осаждения тонких пленок. PECVD — это диффузионный газовый процесс, который позволяет получать тонкие пленки очень высокого качества, а напыление — это осаждение в пределах прямой видимости. PECVD обеспечивает лучшее покрытие на неровных поверхностях, таких как траншеи, стены, и обеспечивает высокое соответствие, а также позволяет создавать уникальные составы и пленки. С другой стороны, напыление подходит для нанесения тонких слоев из нескольких материалов и идеально подходит для создания многослойных и многоступенчатых систем покрытий. PECVD в основном используется в полупроводниковой промышленности, трибологии, оптике и биомедицине, в то время как напыление в основном используется для диэлектрических материалов и трибологических приложений.

Как CVD-алмаз улучшает терморегулирование в электронных устройствах?

CVD-алмаз улучшает терморегулирование в электронных устройствах, предлагая высококачественный алмаз с теплопроводностью до 2000 Вт/мК. Это делает его идеальным для использования в теплораспределителях, лазерных диодах и системах GaN on Diamond (GOD), эффективно рассеивающих тепло и повышающих производительность устройств.
Посмотреть больше часто задаваемых вопросов по этому продукту

4.9

out of

5

KT-CTF16 is a great furnace, it offers high-quality CVD processing with precise temperature control and customizable setups. The customer service is also top-notch, highly recommended!

Burton Fischer

4.8

out of

5

The furnace is very versatile and can be used for a variety of applications. The temperature control is accurate and the overall performance is excellent. I highly recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.

Mikaela Reyes

4.7

out of

5

The furnace has been a great addition to our lab. It's easy to use and maintain, and the results have been excellent. We've been able to produce high-quality materials with ease.

Aiden Patel

4.9

out of

5

The KT-CTF16 is a fantastic furnace. It's easy to use and the temperature control is very precise. We've been able to produce high-quality materials with ease. I would highly recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.

Isabella Garcia

4.8

out of

5

This furnace is an excellent choice for anyone who needs a versatile and reliable CVD system. It's easy to use and maintain, and the results have been consistent and of high quality. I highly recommend this furnace.

Liam Brown

4.7

out of

5

The KT-CTF16 is a great furnace for a variety of applications. It's easy to use and maintain, and the results have been excellent. We've been able to produce high-quality materials with ease.

Amelia White

4.9

out of

5

This furnace is a great investment. It's well-made and has a lot of features that make it easy to use. The customer service is also excellent. I would definitely recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.

Oliver Jones

4.8

out of

5

The furnace arrived quickly and was easy to set up. It's been working great so far and I'm very happy with it. The customer service has also been excellent.

Ava Johnson

4.7

out of

5

This furnace is a great value for the price. It's well-made and has a lot of features that make it easy to use. The customer service is also excellent. I would definitely recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.

Lucas Green

4.9

out of

5

The KT-CTF16 is a great furnace. It's easy to use and the temperature control is very precise. We've been able to produce high-quality materials with ease. I would highly recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.

Harper Davis

4.8

out of

5

This furnace is an excellent choice for anyone who needs a versatile and reliable CVD system. It's easy to use and maintain, and the results have been consistent and of high quality. I highly recommend this furnace.

Jackson Miller

4.7

out of

5

The KT-CTF16 is a great furnace for a variety of applications. It's easy to use and maintain, and the results have been excellent. We've been able to produce high-quality materials with ease.

Abigail Smith

4.9

out of

5

This furnace is a great investment. It's well-made and has a lot of features that make it easy to use. The customer service is also excellent. I would definitely recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.

Alexander Wilson

4.8

out of

5

The furnace arrived quickly and was easy to set up. It's been working great so far and I'm very happy with it. The customer service has also been excellent.

Sophia Rodriguez

4.7

out of

5

This furnace is a great value for the price. It's well-made and has a lot of features that make it easy to use. The customer service is also excellent. I would definitely recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.

Benjamin Walker

4.9

out of

5

The KT-CTF16 is a great furnace. It's easy to use and the temperature control is very precise. We've been able to produce high-quality materials with ease. I would highly recommend this furnace to anyone who needs a reliable and versatile CVD system.

Chloe Turner

PDF - Универсальная трубчатая печь CVD, изготовленная по индивидуальному заказу CVD-машина

Скачать

Каталог Печь Cvd И Pecvd

Скачать

Каталог Хвд Печь

Скачать

Каталог Пвд Машина

Скачать

Каталог Трубчатая Печь

Скачать

Каталог Оборудование Для Нанесения Тонких Пленок

Скачать

Каталог Материалы Cvd

Скачать

Каталог Машина Mpcvd

Скачать

Каталог Паквд

Скачать

Каталог Cvd-Машина

Скачать

Каталог Рф Пэвд

Скачать

ЗАПРОС ЦИТАТЫ

Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!

Связанные товары

Мульти зоны нагрева CVD трубчатая печь CVD машина

Мульти зоны нагрева CVD трубчатая печь CVD машина

Печь KT-CTF14 с несколькими зонами нагрева CVD - точный контроль температуры и потока газа для передовых приложений. Максимальная температура до 1200℃, 4-канальный массовый расходомер MFC и 7-дюймовый TFT-контроллер с сенсорным экраном.

Трубчатая печь CVD с разделенной камерой и вакуумной станцией CVD машины

Трубчатая печь CVD с разделенной камерой и вакуумной станцией CVD машины

Эффективная двухкамерная CVD-печь с вакуумной станцией для интуитивной проверки образцов и быстрого охлаждения. Максимальная температура до 1200℃ с точным управлением с помощью массового расходомера MFC.

Наклонная ротационная машина для трубчатой печи с плазменным осаждением (PECVD)

Наклонная ротационная машина для трубчатой печи с плазменным осаждением (PECVD)

Представляем нашу наклонную вращающуюся печь PECVD для точного осаждения тонких пленок. Наслаждайтесь автоматическим согласованием источника, программируемым ПИД-регулятором температуры и высокоточным управлением массовым расходомером MFC. Встроенные функции безопасности для вашего спокойствия.

Вертикальная трубчатая печь

Вертикальная трубчатая печь

Повысьте уровень своих экспериментов с помощью нашей вертикальной трубчатой печи. Универсальная конструкция позволяет работать в различных условиях и при различных видах термообработки. Закажите сейчас, чтобы получить точные результаты!

Небольшая вакуумная печь для спекания вольфрамовой проволоки

Небольшая вакуумная печь для спекания вольфрамовой проволоки

Небольшая вакуумная печь для спекания вольфрамовой проволоки представляет собой компактную экспериментальную вакуумную печь, специально разработанную для университетов и научно-исследовательских институтов. Печь оснащена корпусом, сваренным на станке с ЧПУ, и вакуумными трубами, обеспечивающими герметичную работу. Быстроразъемные электрические соединения облегчают перемещение и отладку, а стандартный электрический шкаф управления безопасен и удобен в эксплуатации.

Многозонная трубчатая печь

Многозонная трубчатая печь

Испытайте точные и эффективные тепловые испытания с нашей многозонной трубчатой печью. Независимые зоны нагрева и датчики температуры позволяют управлять высокотемпературными градиентными полями нагрева. Закажите прямо сейчас для расширенного термического анализа!

Скользящая трубчатая печь PECVD с жидким газификатором PECVD машина

Скользящая трубчатая печь PECVD с жидким газификатором PECVD машина

Система KT-PE12 Slide PECVD: широкий диапазон мощностей, программируемый контроль температуры, быстрый нагрев/охлаждение с помощью скользящей системы, контроль массового расхода MFC и вакуумный насос.

Печь для графитизации пленки с высокой теплопроводностью

Печь для графитизации пленки с высокой теплопроводностью

Печь для графитизации пленки с высокой теплопроводностью имеет равномерную температуру, низкое энергопотребление и может работать непрерывно.

Вакуумная герметичная ротационная трубчатая печь непрерывного действия

Вакуумная герметичная ротационная трубчатая печь непрерывного действия

Испытайте эффективную обработку материалов с помощью нашей ротационной трубчатой печи с вакуумным уплотнением. Идеально подходит для экспериментов или промышленного производства, оснащена дополнительными функциями для контролируемой подачи и оптимизации результатов. Заказать сейчас.

Вакуумная печь с футеровкой из керамического волокна

Вакуумная печь с футеровкой из керамического волокна

Вакуумная печь с изоляционной облицовкой из поликристаллического керамического волокна для отличной теплоизоляции и равномерного температурного поля. Максимальная рабочая температура 1200℃ или 1700℃ с высокой производительностью вакуума и точным контролем температуры.

1400℃ Трубчатая печь с алюминиевой трубкой

1400℃ Трубчатая печь с алюминиевой трубкой

Ищете трубчатую печь для высокотемпературных применений? Наша трубчатая печь 1400℃ с алюминиевой трубкой идеально подходит для научных исследований и промышленного использования.

лабораторная вакуумная наклонно-вращательная трубчатая печь

лабораторная вакуумная наклонно-вращательная трубчатая печь

Откройте для себя универсальность лабораторной вращающейся печи: идеально подходит для прокаливания, сушки, спекания и высокотемпературных реакций. Регулируемые функции поворота и наклона для оптимального нагрева. Подходит для вакуума и контролируемой атмосферы. Узнайте больше прямо сейчас!

1700℃ Трубчатая печь с алюминиевой трубкой

1700℃ Трубчатая печь с алюминиевой трубкой

Ищете высокотемпературную трубчатую печь? Обратите внимание на нашу трубчатую печь 1700℃ с алюминиевой трубкой. Идеально подходит для исследований и промышленных применений при температуре до 1700C.

1800℃ Муфельная печь

1800℃ Муфельная печь

Муфельная печь KT-18 с японским поликристаллическим волокном Al2O3 и кремний-молибденовым нагревательным элементом, температура до 1900℃, ПИД-регулирование температуры и 7" интеллектуальный сенсорный экран. Компактный дизайн, низкие теплопотери и высокая энергоэффективность. Система защитной блокировки и универсальные функции.

Вакуумная трубчатая печь горячего прессования

Вакуумная трубчатая печь горячего прессования

Уменьшите давление формования и сократите время спекания с помощью вакуумной трубчатой печи для горячего прессования высокоплотных и мелкозернистых материалов. Идеально подходит для тугоплавких металлов.

1400℃ Печь с контролируемой атмосферой

1400℃ Печь с контролируемой атмосферой

Добейтесь точной термообработки с помощью печи с контролируемой атмосферой KT-14A. Вакуумная герметичная печь с интеллектуальным контроллером идеально подходит для лабораторного и промышленного использования при температуре до 1400℃.

Печь непрерывной графитации

Печь непрерывной графитации

Печь высокотемпературной графитации — профессиональное оборудование для графитационной обработки углеродных материалов. Это ключевое оборудование для производства высококачественной графитовой продукции. Он имеет высокую температуру, высокую эффективность и равномерный нагрев. Подходит для различных высокотемпературных обработок и графитации. Он широко используется в металлургии, электронной, аэрокосмической и т. д. промышленности.

1200℃ Печь с раздельными трубками с кварцевой трубкой

1200℃ Печь с раздельными трубками с кварцевой трубкой

Печь с разъемной трубкой KT-TF12: высокочистая изоляция, встроенные витки нагревательного провода, макс. 1200C. Широко используется для производства новых материалов и химического осаждения из паровой фазы.

2200 ℃ Вольфрамовая вакуумная печь

2200 ℃ Вольфрамовая вакуумная печь

Испытайте непревзойденную печь для тугоплавких металлов с нашей вакуумной печью из вольфрама. Способен достигать 2200 ℃, идеально подходит для спекания современной керамики и тугоплавких металлов. Закажите прямо сейчас, чтобы получить качественный результат.

1200℃ Печь с контролируемой атмосферой

1200℃ Печь с контролируемой атмосферой

Откройте для себя нашу печь с управляемой атмосферой KT-12A Pro - высокоточная вакуумная камера для тяжелых условий эксплуатации, универсальный интеллектуальный контроллер с сенсорным экраном и превосходная равномерность температуры до 1200C. Идеально подходит как для лабораторного, так и для промышленного применения.

1700℃ Муфельная печь

1700℃ Муфельная печь

Получите превосходный контроль тепла с нашей муфельной печью 1700℃. Оснащена интеллектуальным температурным микропроцессором, сенсорным TFT-контроллером и передовыми изоляционными материалами для точного нагрева до 1700C. Закажите сейчас!

Экспериментальная печь для графитации IGBT

Экспериментальная печь для графитации IGBT

Экспериментальная печь графитации IGBT — специальное решение для университетов и исследовательских институтов, отличающееся высокой эффективностью нагрева, удобством использования и точным контролем температуры.

1200℃ Муфельная печь

1200℃ Муфельная печь

Обновите свою лабораторию с помощью нашей муфельной печи 1200℃. Достигайте быстрого и точного нагрева с помощью японских глиноземных волокон и молибденовых катушек. Контроллер с сенсорным TFT-экраном облегчает программирование и анализ данных. Закажите сейчас!

Связанные статьи

Преимущества использования трубчатой печи CVD для нанесения покрытия

Преимущества использования трубчатой печи CVD для нанесения покрытия

Покрытия CVD имеют ряд преимуществ по сравнению с другими методами нанесения покрытий, таких как высокая чистота, плотность и однородность, что делает их идеальными для многих применений в различных отраслях промышленности.

Узнать больше
Печь CVD для выращивания углеродных нанотрубок

Печь CVD для выращивания углеродных нанотрубок

Технология печи химического осаждения из паровой фазы (CVD) является широко используемым методом выращивания углеродных нанотрубок.

Узнать больше
Знакомство с лабораторными вакуумными трубчатыми печами

Знакомство с лабораторными вакуумными трубчатыми печами

Вакуумная трубчатая печь представляет собой тип печи, в которой используется вакуум для изоляции технологической атмосферы от внешней атмосферы.

Узнать больше
Введение в химическое осаждение из паровой фазы (CVD)

Введение в химическое осаждение из паровой фазы (CVD)

Химическое осаждение из паровой фазы, или CVD, представляет собой процесс нанесения покрытия, который включает использование газообразных реагентов для получения тонких пленок и покрытий высокого качества.

Узнать больше
Преимущества и недостатки химического осаждения из паровой фазы (CVD)

Преимущества и недостатки химического осаждения из паровой фазы (CVD)

Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) - это универсальный метод осаждения тонких пленок, широко используемый в различных отраслях промышленности. Изучите ее преимущества, недостатки и потенциальные новые применения.

Узнать больше
Изучение функций и преимуществ ротационных трубчатых печей

Изучение функций и преимуществ ротационных трубчатых печей

Узнайте, как работают ротационные трубчатые печи и почему они используются в передовой обработке материалов. Узнайте об основных принципах работы ротационных печей и их настраиваемых функциях. Изучите преимущества ротационных трубчатых печей перед другими типами печей.

Узнать больше
Печь PECVD Маломощное и низкотемпературное решение для мягких материалов

Печь PECVD Маломощное и низкотемпературное решение для мягких материалов

Печи PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением) стали популярным решением для осаждения тонких пленок на поверхности мягких материалов.

Узнать больше
CVD-машины для нанесения тонких пленок

CVD-машины для нанесения тонких пленок

Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) — широко используемый метод осаждения тонких пленок на различные подложки.

Узнать больше
Универсальность трубчатых печей: руководство по их применению и преимуществам

Универсальность трубчатых печей: руководство по их применению и преимуществам

Лабораторная трубчатая печь — это специализированное нагревательное устройство, используемое в научных и промышленных лабораториях для различных целей.

Узнать больше
Изучение основных характеристик трубчатых нагревательных печей

Изучение основных характеристик трубчатых нагревательных печей

Трубчатая нагревательная печь — это специализированный тип промышленной печи, который используется в различных отраслях промышленности для нагрева веществ за счет сжигания топлива.

Узнать больше
Исследование вращающихся трубчатых печей: Исчерпывающее руководство

Исследование вращающихся трубчатых печей: Исчерпывающее руководство

Узнайте об устройстве ротационных трубчатых печей, их различных областях применения и ключевых преимуществах. Изучите принцип работы этих печей, их пригодность для различных процессов и факторы, которые следует учитывать при выборе. Узнайте, почему ротационные трубчатые печи предпочитают использовать в передовых технологиях обработки материалов.

Узнать больше
Химическое осаждение из паровой фазы с расширенной плазмой (PECVD): Исчерпывающее руководство

Химическое осаждение из паровой фазы с расширенной плазмой (PECVD): Исчерпывающее руководство

Узнайте все, что вам нужно знать о плазменном химическом осаждении из паровой фазы (PECVD) - технологии осаждения тонких пленок, используемой в полупроводниковой промышленности. Изучите ее принципы, области применения и преимущества.

Узнать больше