Продукты Тепловое оборудование ПДКВД Реактор установки для цилиндрического резонатора МПХВД для химического осаждения из паровой фазы в микроволновой плазме и выращивания лабораторных алмазов
Категории
Категории
Реактор установки для цилиндрического резонатора МПХВД для химического осаждения из паровой фазы в микроволновой плазме и выращивания лабораторных алмазов

ПДКВД

Реактор установки для цилиндрического резонатора МПХВД для химического осаждения из паровой фазы в микроволновой плазме и выращивания лабораторных алмазов

Артикул : KTWB315

Цена может варьироваться в зависимости от спецификации и настройки


Мощность микроволн
Частота микроволн 2450±15 МГц
Выходная мощность
1~10 кВт с непрерывной регулировкой
Микроволновое излучение
≤2 МВт/см²
Интерфейс волновода
WR340, 430 со стандартным фланцем FD-340, 430
Держатель образца
Диаметр стола образца ≥72 мм, эффективная площадь использования ≥66 мм
ISO & CE icon

Доставка:

Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.

Цена

Почему выбирают нас

Надежный партнер

Простой процесс заказа, качественные продукты и специализированная поддержка для успеха вашего бизнеса.

Простой процесс Гарантия качества Специализированная поддержка

MPCVD означает химическое осаждение из паровой фазы в микроволновой плазме. Это метод выращивания высококачественных алмазных пленок в лаборатории с использованием газообразного углерода и микроволновой плазмы.

MPCVD KinTek

Система MPCVD

Система MPCVD (химическое осаждение из паровой фазы в микроволновой плазме) — это процесс, используемый для нанесения тонких пленок на поверхность подложки. Система состоит из вакуумной камеры, где происходит процесс осаждения, микроволнового генератора и системы подачи газа. Микроволновый генератор используется для создания плазмы внутри вакуумной камеры, которая используется для разложения и осаждения газовых частиц на подложке.

Микроволновый генератор обычно представляет собой магнетрон или клистрон, генерирующий микроволны в диапазоне 2,45 ГГц. Микроволны подаются в вакуумную камеру через квартовое окно.

Система подачи газа состоит из массовых расходомеров (MFC), которые контролируют поток газа в вакуумную камеру. MFC калибруются в стандартных кубических сантиметрах в минуту (sccm).

Температура подложки контролируется положением плазмы и измеряется термопарой. Плазма используется для нагрева подложки, а температура контролируется термопарой, чтобы гарантировать, что подложка находится при желаемой температуре во время процесса осаждения.

Применения

MPCVD — это перспективная технология для производства недорогих, высококачественных крупных алмазов.

Уникальные свойства алмаза, включая его твердость, жесткость, высокую теплопроводность, низкое тепловое расширение, радиационную стойкость и химическую инертность, делают его ценным материалом.

Несмотря на большой потенциал, высокая стоимость, ограниченный размер и трудность контроля примесей природных и синтетических алмазов, полученных при высоком давлении и высокой температуре, ограничивали их применение.

MPCVD является основным оборудованием, используемым для выращивания алмазных драгоценных камней и пленок.

Рост алмазной пленки может быть монокристаллическим или поликристаллическим, и он широко используется в полупроводниковой промышленности для крупногабаритных алмазных подложек, а также в промышленности алмазных режущих или сверлильных инструментов.

По сравнению с методом HPHT для выращенных в лаборатории алмазов, метод микроволнового CVD имеет преимущества для выращивания крупных алмазов при более низкой стоимости, что делает его идеальным решением для применения в полупроводниковых алмазах, выращивании оптических алмазов и для удовлетворения потребностей крупного рынка ювелирных алмазов.

Машины MPCVD KINTECH
Алмазные машины MPCVD KINTECH
Новая модель алмазной машины MPCVD KINTECH
Новая модель алмазной машины MPCVD KINTECH
Новая модель алмазной машины MPCVD KINTECH
Новая модель алмазной машины MPCVD KINTECH
Необработанные алмазы, выращенные с помощью MPCVD KINTECH
Необработанные алмазы, выращенные с помощью MPCVD KINTECH
В машине MPCVD KinTek растут алмазы
В машине MPCVD KinTek растут алмазы
В машине MPCVD KinTek растут алмазы
В машине MPCVD KinTek растут алмазы
В машине MPCVD KinTek растут алмазы
В машине MPCVD KinTek растут алмазы
В машине MPCVD KinTek растут алмазы
В машине MPCVD KinTek растут алмазы
В машине MPCVD KinTek растут алмазы
В машине MPCVD KinTek растут алмазы
Необработанный алмаз, выращенный машиной MPCVD KINTECH
Необработанный алмаз, выращенный машиной MPCVD KINTECH
Необработанный алмаз, выращенный машиной MPCVD KINTECH
Необработанный алмаз, выращенный машиной MPCVD KINTECH
Необработанный алмаз, выращенный машиной MPCVD KINTECH
Необработанный алмаз, выращенный машиной MPCVD KINTECH
Алмазы, выращенные методом MPCVD, после полировки
Алмазы, выращенные методом MPCVD, после полировки
Поликристаллический материал от KinTek MPCVD
Поликристаллический материал от KinTek MPCVD

Преимущества MPCVD

MPCVD — это метод синтеза алмазов, который имеет ряд преимуществ перед другими методами, такими как HFCVD и DC-PJ CVD. Он позволяет избежать загрязнения алмаза горячими проволоками и позволяет использовать несколько газов для удовлетворения различных промышленных потребностей. По сравнению с DC-PJ CVD, он обеспечивает плавную и непрерывную регулировку мощности микроволн и стабильный контроль температуры реакции, что предотвращает отрыв кристаллических зародышей от подложки из-за дугового разряда и отказа пламени. Благодаря большой площади стабильного разряда плазмы метод MPCVD считается наиболее перспективным методом синтеза алмазов для промышленного применения.

Алмазы, полученные методом MPCVD, имеют более высокую чистоту по сравнению с алмазами, полученными методом HPHT, а производственный процесс потребляет меньше энергии. Кроме того, метод MPCVD облегчает производство более крупных алмазов.

Преимущества нашей системы MPCVD

Мы много лет глубоко вовлечены в отрасль, и в результате у нас обширная клиентская база, которая доверяет нашему оборудованию и использует его. Наше оборудование MPCVD стабильно работает более 40 000 часов, демонстрируя исключительную стабильность, надежность, воспроизводимость и экономичность. Другие преимущества нашей системы MPCVD включают:

  • Площадь выращивания подложки 3 дюйма, максимальная загрузка партии до 45 алмазов
  • Регулируемая выходная мощность микроволн 1-10 кВт для снижения энергопотребления
  • Команда опытных исследователей с передовыми рецептами выращивания алмазов
  • Эксклюзивная программа технической поддержки для команд с нулевым опытом выращивания алмазов

Используя наши накопленные передовые технологии, мы реализовали несколько раундов модернизации и улучшений нашей системы MPCVD, что привело к значительному повышению эффективности и снижению затрат на оборудование. В результате наше оборудование MPCVD находится на переднем крае технологических достижений и предлагается по конкурентоспособной цене. Добро пожаловать к нам за консультацией.

Симуляция MPCVD KinTek
Симуляция MPCVD KinTek

Рабочий процесс

Машина MPCVD контролирует поток каждого газового пути и давление в полости, вводя реакционные газы (например, CH4, H2, Ar, O2, N2 и т. д.) в полость при определенном давлении. После стабилизации воздушного потока твердотельный микроволновый генератор мощностью 6 кВт генерирует микроволны, которые затем вводятся в полость через волновод.

Реакционный газ под действием микроволнового поля превращается в плазменное состояние, образуя плазменный шар, который парит над алмазной подложкой. Высокая температура плазмы нагревает подложку до определенной температуры. Избыточное тепло, выделяющееся в полости, рассеивается блоком водяного охлаждения.

Для обеспечения оптимальных условий роста в процессе выращивания монокристаллического алмаза MPCVD мы регулируем такие факторы, как мощность, состав газовой смеси и давление в полости. Кроме того, поскольку плазменный шар не контактирует со стенкой полости, процесс роста алмаза свободен от примесей, что повышает качество алмаза.

Детали и компоненты

Микроволновая система

Микроволновая система

Реакционная камера

Реакционная камера

Система газового потока

Система газового потока

Вакуумная система и система датчиков

Вакуумная система и система датчиков

Технические характеристики

Микроволновая система
  • Частота микроволн 2450±15 МГц,
  • Выходная мощность 1–10 кВт с непрерывной регулировкой
  • Стабильность выходной мощности микроволн: <±1 %
  • Утечка микроволн ≤2 МВт/см2
  • Интерфейс выходного волновода: WR340, 430 со стандартным фланцем FD-340, 430
  • Расход охлаждающей воды: 6–12 л/мин
  • Коэффициент стоячей волны системы: VSWR ≤ 1,5
  • Ручной 3-контактный регулятор микроволн, возбуждающая полость, высокомощная нагрузка
  • Входное электропитание: 380 В переменного тока/50 Гц ± 10 %, трехфазное
Реакционная камера
  • Скорость утечки вакуума < 5 × 10-9 Па .м3/с
  • Предельное давление менее 0,7 Па (стандартная установка с вакуумметром Пирани)
  • Повышение давления в камере не должно превышать 50 Па после 12 часов поддержания давления
  • Режим работы реакционной камеры: режим TM021 или TM023
  • Тип полости: цилиндрическая резонансная полость с максимальной допустимой мощностью 10 кВт, изготовленная из нержавеющей стали 304, с водяным охлаждением и методом герметизации пластиной из высокочистого кварца.
  • Режим подачи воздуха: верхний кольцевой равномерный
  • Вакуумная герметизация: нижнее соединение основной камеры и дверца ввода герметизированы резиновыми кольцами, вакуумный насос и сильфон герметизированы KF, кварцевая пластина герметизирована металлическим C-образным кольцом, остальные герметизированы CF
  • Окно наблюдения и измерения температуры: 8 портов наблюдения
  • Порт загрузки образца спереди камеры
  • Стабильный разряд в диапазоне давления 0,7 кПа ~ 30 кПа (мощность и давление должны соответствовать)
Держатель образца
  • Диаметр стола образца ≥ 72 мм, эффективная площадь использования ≥ 66 мм
  • Платформа основания с водяным охлаждением
  • Держатель образца может электрически подниматься и опускаться равномерно в полости
Система газового потока
  • Диск воздушного охлаждения с металлической сваркой
  • Для всех внутренних газовых контуров оборудования должны использоваться сварные соединения или соединения VCR.
  • 5 каналов расходомера MFC, H2/CH4/O2/N/Ar. H2: 1000 ссм; CH4: 100 ссм; O2: 2 ссм; N2: 2 ссм; Ar: 10 ссм
  • Рабочее давление 0,05–0,3 МПа, точность ±2 %
  • Независимое пневматическое управление клапаном для каждого расходомера
Система охлаждения
  • 3 линии водяного охлаждения, мониторинг температуры и расхода в реальном времени.
  • Расход охлаждающей воды системы ≤ 50 л/мин
  • Давление охлаждающей воды < 4 кг, температура входящей воды 20-25 ℃.
Датчик температуры
  • Внешний инфракрасный термометр имеет диапазон температур 300-1400 ℃
  • Точность контроля температуры < 2 ℃ или 2 %
Система управления
  • Используется ПЛК Siemens Smart 200 и сенсорное управление.
  • Система имеет различные программы, которые могут обеспечивать автоматический баланс температуры роста, точный контроль давления воздуха роста, автоматическое повышение температуры, автоматическое понижение температуры и другие функции.
  • Стабильная работа оборудования и комплексная защита оборудования могут быть достигнуты путем мониторинга параметров, таких как расход воды, температура, давление, а надежность и безопасность работы гарантируются функциональной блокировкой.
Дополнительная функция
  • Система центрального мониторинга
  • Мощность основания подложки

Предупреждения

Безопасность оператора – первостепенная задача! Пожалуйста, используйте оборудование с осторожностью. Работа с легковоспламеняющимися, взрывоопасными или токсичными газами очень опасна, операторы должны принять все необходимые меры предосторожности перед запуском оборудования. Работа с избыточным давлением внутри реакторов или камер опасна, оператор должен строго соблюдать технику безопасности. Следует также соблюдать особую осторожность при работе с материалами, реагирующими с воздухом, особенно в условиях вакуума. Утечка может привести к попаданию воздуха в аппарат и вызвать бурную реакцию.

Создан для вас

KinTek предоставляет специализированные услуги и оборудование для клиентов по всему миру, наша специализированная командная работа и богатый опыт инженеров способны выполнить индивидуальные требования к аппаратному и программному оборудованию, а также помочь нашим клиентам создать эксклюзивное и индивидуальное оборудование и решение!

Не могли бы вы поделиться своими идеями с нами, наши инженеры готовы для вас прямо сейчас!

FAQ

Что такое МпкВД?

MPCVD расшифровывается как Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition и представляет собой процесс осаждения тонких пленок на поверхность. Он использует вакуумную камеру, микроволновый генератор и систему подачи газа для создания плазмы, состоящей из реагирующих химических веществ и необходимых катализаторов. MPCVD широко используется в сети ANFF для осаждения слоев алмаза с использованием метана и водорода для выращивания нового алмаза на подложке с алмазными затравками. Это многообещающая технология производства недорогих высококачественных крупных алмазов, которая широко используется в полупроводниковой и алмазообрабатывающей промышленности.

Что такое машина Mpcvd?

Установка MPCVD (микроволновое плазменно-химическое осаждение из паровой фазы) представляет собой лабораторное оборудование, используемое для выращивания высококачественных алмазных пленок. Он использует углеродсодержащий газ и микроволновую плазму для создания плазменного шара над алмазной подложкой, который нагревает ее до определенной температуры. Плазменный шар не соприкасается со стенкой полости, что делает процесс роста алмаза свободным от примесей и повышает качество алмаза. Система MPVD состоит из вакуумной камеры, микроволнового генератора и системы подачи газа, которая регулирует подачу газа в камеру.

Каковы преимущества Mpcvd?

MPCVD имеет несколько преимуществ по сравнению с другими методами производства алмазов, таких как более высокая чистота, меньшее потребление энергии и возможность производить более крупные алмазы.

Алмазы CVD настоящие или поддельные?

Алмазы CVD — это настоящие бриллианты, а не подделка. Их выращивают в лаборатории с помощью процесса, называемого химическим осаждением из паровой фазы (CVD). В отличие от природных алмазов, которые добывают из-под земли, алмазы CVD создаются с использованием передовых технологий в лабораториях. Эти алмазы на 100% состоят из углерода и представляют собой чистейшую форму алмазов, известную как алмазы типа IIa. Они обладают теми же оптическими, тепловыми, физическими и химическими свойствами, что и природные алмазы. Единственное отличие состоит в том, что алмазы CVD создаются в лаборатории, а не добываются из земли.
Посмотреть больше часто задаваемых вопросов по этому продукту

4.9

out of

5

KINTEK's MPCVD machine is a game-changer! Its 1-10Kw adjustable output microwave power feature not only saves electricity but also ensures precise control over the diamond growth process.

Harshitha Gujjar

4.8

out of

5

As a lab manager, I appreciate the stability and reliability of the KINTEK MPCVD system. It has been running non-stop for over 40,000 hours, providing us with consistent, high-quality diamond growth.

Elvin Wang

4.7

out of

5

The rich experience and frontier diamond growing recipe support from KINTEK's research team have been invaluable. Their expertise has helped us optimize our MPCVD process and achieve exceptional results.

Sophia Mitchell

4.8

out of

5

KINTEK's exclusive technical support program for teams with zero diamond growing experience is a lifesaver. Their guidance and assistance have been instrumental in our successful adoption of the MPCVD system.

Mustafa Kamal

5.0

out of

5

The 3 inches substrate growing area and max. batch load of up to 45 pieces diamonds make the KINTEK MPCVD machine a highly efficient and productive choice for our lab. We can now produce more diamonds in less time.

Isabella Garcia

4.9

out of

5

The KINTEK MPCVD system is a technological marvel. Its advanced features and continuous upgrades have kept us at the forefront of diamond growth innovation.

Oliver Chen

4.7

out of

5

The competitive price of the KINTEK MPCVD equipment makes it an affordable and accessible solution for labs like ours. We're grateful for the opportunity to leverage its cutting-edge technology without breaking the bank.

Aisha Khan

5.0

out of

5

The KINTEK MPCVD machine has exceeded our expectations. Its user-friendly interface, stable performance, and exceptional diamond quality have made it an indispensable tool in our lab.

Elijah Harper

Продукты

Реактор установки для цилиндрического резонатора МПХВД для химического осаждения из паровой фазы в микроволновой плазме и выращивания лабораторных алмазов

PDF Формат Каталог
Скачать

Категория

Пдквд

PDF Формат Каталог
Скачать

ЗАПРОС ЦИТАТЫ

Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!

Связанные товары

915 МГц MPCVD Алмазная установка Микроволновая плазменная химическая осаждение из газовой фазы Система реактора

915 МГц MPCVD Алмазная установка Микроволновая плазменная химическая осаждение из газовой фазы Система реактора

915 МГц MPCVD Алмазная установка и ее многокристаллический эффективный рост, максимальная площадь может достигать 8 дюймов, максимальная эффективная площадь роста монокристалла может достигать 5 дюймов. Это оборудование в основном используется для производства крупномасштабных поликристаллических алмазных пленок, роста длинных монокристаллических алмазов, низкотемпературного роста высококачественного графена и других материалов, требующих энергии, обеспечиваемой микроволновой плазмой для роста.

Оборудование для осаждения из паровой фазы CVD Система Камерная Печь-труба PECVD с Жидкостным Газификатором Машина PECVD

Оборудование для осаждения из паровой фазы CVD Система Камерная Печь-труба PECVD с Жидкостным Газификатором Машина PECVD

KT-PE12 Скользящая система PECVD: широкий диапазон мощности, программируемое управление температурой, быстрый нагрев/охлаждение с раздвижной системой, управление массовым расходом MFC и вакуумный насос.

Печь для трубчатого химического осаждения из паровой фазы, изготовленная на заказ, универсальная система оборудования для химического осаждения из паровой фазы

Печь для трубчатого химического осаждения из паровой фазы, изготовленная на заказ, универсальная система оборудования для химического осаждения из паровой фазы

Получите эксклюзивную печь для химического осаждения из паровой фазы KT-CTF16, изготовленную на заказ. Настраиваемые функции скольжения, вращения и наклона для точных реакций. Закажите сейчас!

Печь для вакуумной термообработки молибдена

Печь для вакуумной термообработки молибдена

Откройте для себя преимущества молибденовой вакуумной печи с высокой конфигурацией и теплоизоляцией. Идеально подходит для сред высокой чистоты и вакуума, таких как рост сапфировых кристаллов и термообработка.

Лист стеклоуглерода RVC для электрохимических экспериментов

Лист стеклоуглерода RVC для электрохимических экспериментов

Откройте для себя наш лист стеклоуглерода - RVC. Этот высококачественный материал идеально подходит для ваших экспериментов и выведет ваши исследования на новый уровень.

12-дюймовая/24-дюймовая высокоточная автоматическая алмазно-проволочная отрезная машина лабораторная пила прецизионная электроэрозионная отрезная машина

12-дюймовая/24-дюймовая высокоточная автоматическая алмазно-проволочная отрезная машина лабораторная пила прецизионная электроэрозионная отрезная машина

Высокоточная автоматическая алмазно-проволочная отрезная машина — это универсальный режущий инструмент, который использует алмазную проволоку для резки широкого спектра материалов, включая проводящие и непроводящие материалы, керамику, стекло, камни, драгоценные камни, нефрит, метеориты, монокристаллический кремний, карбид кремния, поликристаллический кремний, огнеупорный кирпич, эпоксидные платы и ферритовые тела. Он особенно подходит для резки различных хрупких кристаллов с высокой твердостью, высокой ценностью и склонностью к поломке.

Связанные статьи

Как получить монокристаллический алмаз высокого качества с помощью MPCVD

Как получить монокристаллический алмаз высокого качества с помощью MPCVD

Микроволновое плазмохимическое осаждение из газовой фазы (MPCVD) является популярным методом получения высококачественных монокристаллов алмаза.

Узнать больше
Процесс изготовления CVD-алмаза на машине MPCVD

Процесс изготовления CVD-алмаза на машине MPCVD

Алмазные станки CVD приобрели большое значение в различных отраслях промышленности и научных исследованиях.

Узнать больше
Достижения в системах MPCVD для монокристаллических алмазов большого размера

Достижения в системах MPCVD для монокристаллических алмазов большого размера

Достижения в системах MPCVD позволили производить более крупные и высококачественные монокристаллические алмазы, предлагая многообещающий потенциал для будущих применений.

Узнать больше
Введение в химическое осаждение из паровой фазы (CVD)

Введение в химическое осаждение из паровой фазы (CVD)

Химическое осаждение из паровой фазы, или CVD, представляет собой процесс нанесения покрытия, который включает использование газообразных реагентов для получения тонких пленок и покрытий высокого качества.

Узнать больше
Химическое осаждение из паровой фазы с расширенной плазмой (PECVD): Исчерпывающее руководство

Химическое осаждение из паровой фазы с расширенной плазмой (PECVD): Исчерпывающее руководство

Узнайте все, что вам нужно знать о плазменном химическом осаждении из паровой фазы (PECVD) - технологии осаждения тонких пленок, используемой в полупроводниковой промышленности. Изучите ее принципы, области применения и преимущества.

Узнать больше
Понимание PECVD: руководство по химическому осаждению из паровой фазы с плазменным усилением

Понимание PECVD: руководство по химическому осаждению из паровой фазы с плазменным усилением

PECVD — полезный метод для создания тонкопленочных покрытий, поскольку он позволяет наносить самые разные материалы, включая оксиды, нитриды и карбиды.

Узнать больше
Печь CVD для выращивания углеродных нанотрубок

Печь CVD для выращивания углеродных нанотрубок

Технология печи химического осаждения из паровой фазы (CVD) является широко используемым методом выращивания углеродных нанотрубок.

Узнать больше
Преимущества и недостатки химического осаждения из паровой фазы (CVD)

Преимущества и недостатки химического осаждения из паровой фазы (CVD)

Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) - это универсальный метод осаждения тонких пленок, широко используемый в различных отраслях промышленности. Изучите ее преимущества, недостатки и потенциальные новые применения.

Узнать больше
Комплексное руководство по MPCVD: синтез алмазов и их применение

Комплексное руководство по MPCVD: синтез алмазов и их применение

Изучите основы, преимущества и применение микроволнового плазменного химического осаждения из паровой фазы (MPCVD) в синтезе алмазов. Узнайте о его уникальных возможностях и о его сравнении с другими методами выращивания алмазов.

Узнать больше
CVD-машины для нанесения тонких пленок

CVD-машины для нанесения тонких пленок

Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) — широко используемый метод осаждения тонких пленок на различные подложки.

Узнать больше
Руководство для начинающих по машинам MPCVD

Руководство для начинающих по машинам MPCVD

MPCVD (микроволновое плазменное химическое осаждение из паровой фазы) — это процесс, используемый для осаждения тонких пленок материала на подложку с использованием плазмы, генерируемой микроволнами.

Узнать больше
Печь PECVD Маломощное и низкотемпературное решение для мягких материалов

Печь PECVD Маломощное и низкотемпературное решение для мягких материалов

Печи PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением) стали популярным решением для осаждения тонких пленок на поверхности мягких материалов.

Узнать больше

Популярные теги