ПДКВД
Цилиндрический резонатор MPCVD алмазной установки для выращивания алмазов в лаборатории
Артикул : KTWB315
Цена может варьироваться в зависимости от спецификации и настройки
- Мощность микроволн
- Частота микроволн 2450±15MHZ
- Выходная мощность
- 1～10 KW плавно регулируемая
- Утечка микроволн
- ≤2МВт/см2
- Интерфейс выходного волновода
- WR340, 430 со стандартным фланцем FD-340, 430
- Держатель образца
- Диаметр столика для образцов≥72 мм, эффективная площадь использования≥66 мм
Доставка:
Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Запросить индивидуальное коммерческое предложение 👋
Получите цену сейчас! Оставить сообщение Быстрое получение цены Via Онлайн чатMPCVD расшифровывается как Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition. Это метод выращивания высококачественных алмазных пленок в лабораторных условиях с помощью углеродсодержащего газа и микроволновой плазмы.
Система MPCVD
Система MPCVD (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) - это процесс, используемый для нанесения тонких пленок на поверхность подложки. Система состоит из вакуумной камеры, в которой происходит процесс осаждения, микроволнового генератора и системы подачи газа. Микроволновый генератор используется для создания плазмы внутри вакуумной камеры, которая используется для разложения и осаждения газовых веществ на подложку.
Микроволновый генератор обычно представляет собой магнетрон или клистрон, который генерирует микроволны в диапазоне 2,45 ГГц. Микроволны соединяются с вакуумной камерой через кварцевое окно.
Система подачи газа состоит из контроллеров массового расхода (MFC), которые управляют потоком газа в вакуумную камеру. MFC откалиброваны в стандартных кубических сантиметрах в минуту (sccm).
Температура подложки контролируется положением плазмы и измеряется термопарой. Плазма используется для нагрева подложки, а температура контролируется термопарой, чтобы убедиться, что подложка имеет желаемую температуру во время процесса осаждения.
Области применения
MPCVD - перспективная технология для производства недорогих высококачественных крупных алмазов.
Уникальные свойства алмаза, включая его твердость, жесткость, высокую теплопроводность, низкое тепловое расширение, радиационную стойкость и химическую инертность, делают его ценным материалом.
Несмотря на огромный потенциал, высокая стоимость, ограниченные размеры и сложность контроля примесей в природных и синтетических алмазах, полученных при высоком давлении и высокой температуре, ограничивают их применение.
MPCVD - это основное оборудование, используемое для выращивания алмазных камней и пленок.
Алмазные пленки могут быть как монокристаллическими, так и поликристаллическими, и этот метод широко используется в полупроводниковой промышленности для изготовления крупногабаритных алмазных подложек, а также в производстве алмазных режущих или буровых инструментов.
По сравнению с методом HPHT для лабораторного выращивания алмазов, микроволновой CVD-метод выгоден для выращивания алмазов большого размера при более низкой стоимости, что делает его идеальным решением для применения в полупроводниковых алмазах, выращивания алмазов для оптики и потребностей рынка крупных ювелирных алмазов.
Преимущества MPCVD
MPCVD - это метод синтеза алмазов, который имеет ряд преимуществ перед другими методами, такими как HFCVD и DC-PJ CVD. Он позволяет избежать загрязнения алмаза горячими проводами и использовать несколько газов для удовлетворения различных промышленных потребностей. По сравнению с DC-PJ CVD, он позволяет плавно и непрерывно регулировать мощность микроволн и стабильно контролировать температуру реакции, что позволяет избежать выпадения кристаллических зерен с подложки из-за дуги и пробоя пламени. Благодаря большой площади стабильной плазмы разряда, метод MPCVD считается наиболее перспективным методом синтеза алмазов для промышленного применения.
Алмазы, полученные методом MPCVD, отличаются более высокой чистотой по сравнению с алмазами, полученными методом HPHT, а сам процесс производства потребляет меньше энергии. Кроме того, метод MPCVD позволяет получать более крупные алмазы.
Преимущества нашей системы MPCVD
Мы работаем в этой отрасли уже много лет, и благодаря этому у нас есть обширная клиентская база, которая доверяет нашему оборудованию и пользуется им. Наше оборудование MPCVD стабильно работает уже более 40 000 часов, демонстрируя исключительную стабильность, надежность, повторяемость и экономическую эффективность. Дополнительные преимущества нашей системы MPCVD включают:
- Область выращивания подложек 3 дюйма, максимальная загрузка партии до 45 алмазов
- 1-10 кВт регулируемой выходной микроволновой мощности для меньшего потребления электроэнергии
- Богатая опытная команда исследователей с передовой поддержкой рецептов выращивания алмазов
- Эксклюзивная программа технической поддержки для команды с нулевым опытом выращивания алмазов
Используя накопленные нами передовые технологии, мы провели несколько раундов модернизации и усовершенствования нашей системы MPCVD, что привело к значительному повышению эффективности и снижению стоимости оборудования. В результате наше MPCVD-оборудование находится на переднем крае технологических достижений и предлагается по конкурентоспособной цене. Добро пожаловать к нам за консультацией.
Рабочая обработка
MPCVD-установка контролирует поток каждого газового тракта и давление в полости, вводя реакционные газы (такие как CH4, H2, Ar, O2, N2 и т.д.) в полость под определенным давлением. После стабилизации воздушного потока твердотельный микроволновый генератор мощностью 6 кВт генерирует микроволны, которые затем вводятся в полость через волновод.
Под воздействием СВЧ-поля реакционный газ переходит в состояние плазмы, образуя плазменный шар, который парит над алмазной подложкой. Высокая температура плазмы нагревает подложку до определенной температуры. Избыточное тепло, выделяющееся в полости, рассеивается водяным охладителем.
Для обеспечения оптимальных условий роста в процессе выращивания монокристалла алмаза методом MPCVD мы регулируем такие факторы, как мощность, состав газового источника и давление в полости. Кроме того, поскольку плазменный шар не соприкасается со стенками полости, в процессе роста алмаза отсутствуют примеси, что повышает его качество.
Детали и узлы
Микроволновая система
Реакционная камера
Система подачи газа
Вакуумная система и система датчиков
Технические характеристики
| Микроволновая система |
|
| Реакционная камера |
|
| Держатель образца |
|
| Система подачи газа |
|
| Система охлаждения |
|
| Датчик температуры |
|
| Система управления |
|
| Дополнительная функция |
|
Предупреждения
Безопасность оператора – первостепенная задача! Пожалуйста, используйте оборудование с осторожностью. Работа с легковоспламеняющимися, взрывоопасными или токсичными газами очень опасна, операторы должны принять все необходимые меры предосторожности перед запуском оборудования. Работа с избыточным давлением внутри реакторов или камер опасна, оператор должен строго соблюдать технику безопасности. Следует также соблюдать особую осторожность при работе с материалами, реагирующими с воздухом, особенно в условиях вакуума. Утечка может привести к попаданию воздуха в аппарат и вызвать бурную реакцию.
Создан для вас
KinTek предоставляет специализированные услуги и оборудование для клиентов по всему миру, наша специализированная командная работа и богатый опыт инженеров способны выполнить индивидуальные требования к аппаратному и программному оборудованию, а также помочь нашим клиентам создать эксклюзивное и индивидуальное оборудование и решение!
Не могли бы вы поделиться своими идеями с нами, наши инженеры готовы для вас прямо сейчас!
FAQ
Какие материалы может резать алмазная машина?
Что такое печь CVD?
Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) — это технология, в которой используются различные источники энергии, такие как нагрев, возбуждение плазмы или световое излучение, для химической реакции газообразных или парообразных химических веществ на газовой фазе или на границе газ-твердое тело с образованием твердых отложений в реакторе с помощью химическая реакция. Проще говоря, два или более газообразных сырья вводятся в реакционную камеру, а затем они реагируют друг с другом с образованием нового материала и его осаждением на поверхности подложки.
Печь CVD представляет собой комбинированную систему печей с высокотемпературной трубчатой печью, блоком управления газами и вакуумным блоком, она широко используется для экспериментов и производства композитных материалов, процессов микроэлектроники, полупроводниковой оптоэлектроники, использования солнечной энергии, оптоволоконной связи, сверхпроводников. технология, поле защитного покрытия.
Какие типы машин для выращивания алмазов доступны?
Что такое алмазный станок CVD?
Что такое метод PECVD?
Что такое МпкВД?
По какому принципу работает алмазный отрезной станок?
Что такое RF PECVD?
Как работает печь CVD?
Печь CVD состоит из блока высокотемпературной трубчатой печи, блока точного управления источником реагирующего газа, вакуумной насосной станции и соответствующих сборочных частей.
Вакуумный насос предназначен для удаления воздуха из реакционной трубы и обеспечения отсутствия нежелательных газов внутри реакционной трубы, после чего трубчатая печь нагреет реакционную трубу до заданной температуры, после чего блок точного управления источником реакционного газа может вводить различные газы с заданным соотношением в трубку печи для химической реакции, химическое осаждение из паровой фазы будет образовываться в печи CVD.
Каковы преимущества выращенных в лаборатории бриллиантов?
Для чего используется PECVD?
Что такое машина Mpcvd?
Каковы преимущества использования алмазной машины для резки?
Каков основной принцип ССЗ?
PACVD - это PECVD?
Какой газ используется в процессе CVD?
В процессе CVD можно использовать огромные источники газа, общие химические реакции CVD включают пиролиз, фотолиз, восстановление, окисление, окислительно-восстановительный процесс, поэтому газы, участвующие в этих химических реакциях, могут использоваться в процессе CVD.
В качестве примера возьмем выращивание CVD-графена. Газы, используемые в процессе CVD, будут CH4, H2, O2 и N2.
Какова цена машины для выращивания CVD?
Каковы преимущества PECVD?
Каковы преимущества Mpcvd?
Какие типы машин для алмазной резки существуют?
Какие существуют типы метода CVD?
В чем преимущество системы CVD?
- При необходимости может быть изготовлен широкий ассортимент пленок: металлическая пленка, неметаллическая пленка и пленка из многокомпонентного сплава. В то же время он позволяет получать качественные кристаллы, которые трудно получить другими методами, такими как GaN, BP и др.
- Скорость формирования пленки высокая, обычно несколько микрон в минуту или даже сотни микрон в минуту. Возможно одновременное нанесение большого количества однородных по составу покрытий, что несравнимо с другими методами получения пленок, такими как жидкофазная эпитаксия (ЖФЭ) и молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ).
- Рабочие условия выполняются при нормальном давлении или низком вакууме, поэтому покрытие имеет хорошую дифракцию, а детали сложной формы могут быть равномерно покрыты, что намного превосходит PVD.
- Благодаря взаимной диффузии реакционного газа, продукта реакции и подложки можно получить покрытие с хорошей адгезионной прочностью, что имеет решающее значение для получения пленок с упрочнением поверхности, таких как износостойкие и антикоррозионные пленки.
- Некоторые пленки растут при температуре намного ниже температуры плавления материала пленки. В условиях низкотемпературного роста реакционный газ и стенки реактора, а также содержащиеся в них примеси практически не вступают в реакцию, поэтому можно получить пленку высокой чистоты и хорошей кристалличности.
- Химическое осаждение из паровой фазы позволяет получить гладкую поверхность осаждения. Это связано с тем, что по сравнению с LPE химическое осаждение из паровой фазы (CVD) выполняется при высоком насыщении, с высокой скоростью зародышеобразования, высокой плотностью зародышеобразования и однородным распределением по всей плоскости, что приводит к макроскопически гладкой поверхности. В то же время при химическом осаждении из газовой фазы средний свободный пробег молекул (атомов) намного больше, чем при ЖФЭ, поэтому пространственное распределение молекул является более равномерным, что способствует формированию гладкой поверхности осаждения.
- Низкие радиационные повреждения, что является необходимым условием для изготовления металлооксидных полупроводников (МОП) и других устройств.
В чем разница между ALD и PECVD?
Алмазы CVD настоящие или поддельные?
Как алмазная машина обеспечивает высокую точность резки?
Что означает PECVD?
PECVD — это технология, использующая плазму для активации реакционного газа, стимулирования химической реакции на поверхности подложки или в приповерхностном пространстве и создания твердой пленки. Основной принцип технологии плазмохимического осаждения из паровой фазы заключается в том, что под действием ВЧ или постоянного электрического поля исходный газ ионизируется с образованием плазмы, низкотемпературная плазма используется в качестве источника энергии, соответствующее количество реакционного газа вводится, а плазменный разряд используется для активации реакционного газа и осуществления химического осаждения из паровой фазы.
По способу получения плазмы ее можно разделить на ВЧ-плазму, плазму постоянного тока и микроволновую плазму CVD и т. д.
В чем разница между PECVD и напылением?
Какова область применения алмазного отрезного станка?
В чем разница между ССЗ и PECVD?
Отличие PECVD от традиционной технологии CVD заключается в том, что плазма содержит большое количество высокоэнергетических электронов, которые могут обеспечить энергию активации, необходимую в процессе химического осаждения из паровой фазы, тем самым изменяя режим энергоснабжения реакционной системы. Поскольку температура электронов в плазме достигает 10000 К, столкновение между электронами и молекулами газа может способствовать разрыву химических связей и рекомбинации молекул реакционного газа с образованием более активных химических групп, в то время как вся реакционная система поддерживает более низкую температуру.
Таким образом, по сравнению с процессом CVD, PECVD может выполнять тот же процесс химического осаждения из паровой фазы при более низкой температуре.
4.9
out of
5
KINTEK's MPCVD machine is a game-changer! Its 1-10Kw adjustable output microwave power feature not only saves electricity but also ensures precise control over the diamond growth process.
4.8
out of
5
As a lab manager, I appreciate the stability and reliability of the KINTEK MPCVD system. It has been running non-stop for over 40,000 hours, providing us with consistent, high-quality diamond growth.
4.7
out of
5
The rich experience and frontier diamond growing recipe support from KINTEK's research team have been invaluable. Their expertise has helped us optimize our MPCVD process and achieve exceptional results.
4.8
out of
5
KINTEK's exclusive technical support program for teams with zero diamond growing experience is a lifesaver. Their guidance and assistance have been instrumental in our successful adoption of the MPCVD system.
5.0
out of
5
The 3 inches substrate growing area and max. batch load of up to 45 pieces diamonds make the KINTEK MPCVD machine a highly efficient and productive choice for our lab. We can now produce more diamonds in less time.
4.9
out of
5
The KINTEK MPCVD system is a technological marvel. Its advanced features and continuous upgrades have kept us at the forefront of diamond growth innovation.
4.7
out of
5
The competitive price of the KINTEK MPCVD equipment makes it an affordable and accessible solution for labs like ours. We're grateful for the opportunity to leverage its cutting-edge technology without breaking the bank.
5.0
out of
5
The KINTEK MPCVD machine has exceeded our expectations. Its user-friendly interface, stable performance, and exceptional diamond quality have made it an indispensable tool in our lab.
PDF - Цилиндрический резонатор MPCVD алмазной установки для выращивания алмазов в лаборатории
СкачатьКаталог Пдквд
СкачатьКаталог Выращенный В Лаборатории Алмазный Станок
СкачатьКаталог Cvd Алмазная Машина
СкачатьКаталог Пвд Машина
СкачатьКаталог Машина Mpcvd
СкачатьКаталог Алмазная Машина Для Резки
СкачатьКаталог Cvd-Машина
СкачатьКаталог Рф Пэвд
СкачатьКаталог Паквд
СкачатьКаталог Хвд Печь
СкачатьЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Колокольный резонатор MPCVD Машина для лаборатории и выращивания алмазов
Получите высококачественные алмазные пленки с помощью нашей машины MPCVD с резонатором Bell-jar Resonator, предназначенной для лабораторного выращивания и выращивания алмазов. Узнайте, как микроволновое плазменно-химическое осаждение из паровой фазы работает для выращивания алмазов с использованием углекислого газа и плазмы.
915MHz MPCVD Diamond Machine и его многокристальный эффективный рост, максимальная площадь может достигать 8 дюймов, максимальная эффективная площадь роста монокристалла может достигать 5 дюймов. Это оборудование в основном используется для производства поликристаллических алмазных пленок большого размера, роста длинных монокристаллов алмазов, низкотемпературного роста высококачественного графена и других материалов, для роста которых требуется энергия, предоставляемая микроволновой плазмой.
CVD-алмаз для терморегулирования
CVD-алмаз для управления температурным режимом: высококачественный алмаз с теплопроводностью до 2000 Вт/мК, идеально подходящий для теплоотводов, лазерных диодов и приложений GaN на алмазе (GOD).
Откройте для себя алмазные купола CVD — идеальное решение для высокопроизводительных громкоговорителей. Изготовленные с использованием технологии DC Arc Plasma Jet, эти купольные колонки обеспечивают исключительное качество звука, долговечность и мощность.
Алмазное покрытие CVD: превосходная теплопроводность, качество кристаллов и адгезия для режущих инструментов, трения и акустических применений.
Алмаз, легированный CVD бором: универсальный материал, обеспечивающий индивидуальную электропроводность, оптическую прозрачность и исключительные тепловые свойства для применения в электронике, оптике, сенсорных и квантовых технологиях.
CVD-алмаз для правки инструментов
Испытайте непревзойденные характеристики заготовок для алмазной обработки CVD: высокая теплопроводность, исключительная износостойкость и независимость от ориентации.
Высокоточный станок для резки алмазной проволокой
Высокоточный станок для резки алмазной проволокой — это универсальный и точный режущий инструмент, разработанный специально для исследователей материалов. В нем используется механизм непрерывной резки алмазным канатом, обеспечивающий точную резку хрупких материалов, таких как керамика, кристаллы, стекло, металлы, камни и различные другие материалы.
Наклонная ротационная машина для трубчатой печи с плазменным осаждением (PECVD)
Представляем нашу наклонную вращающуюся печь PECVD для точного осаждения тонких пленок. Наслаждайтесь автоматическим согласованием источника, программируемым ПИД-регулятором температуры и высокоточным управлением массовым расходомером MFC. Встроенные функции безопасности для вашего спокойствия.
Скользящая трубчатая печь PECVD с жидким газификатором PECVD машина
Система KT-PE12 Slide PECVD: широкий диапазон мощностей, программируемый контроль температуры, быстрый нагрев/охлаждение с помощью скользящей системы, контроль массового расхода MFC и вакуумный насос.
Вытяжная матрица с наноалмазным покрытием Оборудование HFCVD
Фильера для нанесения наноалмазного композитного покрытия использует цементированный карбид (WC-Co) в качестве подложки, а для нанесения обычного алмаза и наноалмазного композитного покрытия на поверхность внутреннего отверстия пресс-формы используется метод химической паровой фазы (сокращенно CVD-метод).
Трубчатая печь CVD с разделенной камерой и вакуумной станцией CVD машины
Эффективная двухкамерная CVD-печь с вакуумной станцией для интуитивной проверки образцов и быстрого охлаждения. Максимальная температура до 1200℃ с точным управлением с помощью массового расходомера MFC.
Плазменное осаждение с расширенным испарением PECVD машина покрытия
Усовершенствуйте свой процесс нанесения покрытий с помощью оборудования для нанесения покрытий методом PECVD. Идеально подходит для производства светодиодов, силовых полупроводников, МЭМС и многого другого. Осаждает высококачественные твердые пленки при низких температурах.
Заготовки режущего инструмента
Алмазные режущие инструменты CVD: превосходная износостойкость, низкое трение, высокая теплопроводность для обработки цветных металлов, керамики, композитов
Вакуумная индукционная плавильная прядильная система Дуговая плавильная печь
С легкостью создавайте метастабильные материалы с помощью нашей системы вакуумного прядения расплава. Идеально подходит для исследований и экспериментальных работ с аморфными и микрокристаллическими материалами. Закажите сейчас для эффективных результатов.
Цель/порошок/проволока/блок/гранулы для распыления карбида молибдена (Mo2C)
Ищете высококачественные материалы из карбида молибдена (Mo2C) для своей лаборатории? Не смотрите дальше! Наши профессионально произведенные материалы бывают различной чистоты, формы и размера, чтобы удовлетворить ваши уникальные потребности. Покупайте мишени для распыления, покрытия, порошки и многое другое уже сегодня.
Мульти зоны нагрева CVD трубчатая печь CVD машина
Печь KT-CTF14 с несколькими зонами нагрева CVD - точный контроль температуры и потока газа для передовых приложений. Максимальная температура до 1200℃, 4-канальный массовый расходомер MFC и 7-дюймовый TFT-контроллер с сенсорным экраном.
Радиочастотная система PECVD Радиочастотное осаждение из паровой фазы с усилением плазмы
RF-PECVD - это аббревиатура от "Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition". С его помощью на германиевые и кремниевые подложки наносится пленка DLC (алмазоподобного углерода). Он используется в инфракрасном диапазоне длин волн 3-12um.
Универсальная трубчатая печь CVD, изготовленная по индивидуальному заказу CVD-машина
Получите свою эксклюзивную печь CVD с универсальной печью KT-CTF16, изготовленной по индивидуальному заказу. Настраиваемые функции скольжения, вращения и наклона для точной реакции. Заказать сейчас!
Дисковая / чашечная вибромельница
Дисковая вибрационная мельница подходит для неразрушающего дробления и тонкого измельчения образцов с большими размерами частиц и может быстро подготовить образцы с аналитической тонкостью и чистотой.
Заготовки для волочения алмазной проволоки CVD
Заготовки для волочения алмазной проволоки CVD: превосходная твердость, стойкость к истиранию и применимость при волочении различных материалов. Идеально подходит для абразивной обработки, например обработки графита.
Мишень для распыления палладия (Pd) высокой чистоты / порошок / проволока / блок / гранула
Ищете недорогие палладиевые материалы для своей лаборатории? Мы предлагаем индивидуальные решения различной чистоты, формы и размера — от мишеней для распыления до нанометровых порошков и порошков для 3D-печати. Просмотрите наш ассортимент прямо сейчас!
Связанные статьи
Как получить монокристаллический алмаз высокого качества с помощью MPCVD
Микроволновое плазмохимическое осаждение из газовой фазы (MPCVD) является популярным методом получения высококачественных монокристаллов алмаза.
Процесс изготовления CVD-алмаза на машине MPCVD
Алмазные станки CVD приобрели большое значение в различных отраслях промышленности и научных исследованиях.
Достижения в системах MPCVD для монокристаллических алмазов большого размера
Достижения в системах MPCVD позволили производить более крупные и высококачественные монокристаллические алмазы, предлагая многообещающий потенциал для будущих применений.
Введение в химическое осаждение из паровой фазы (CVD)
Химическое осаждение из паровой фазы, или CVD, представляет собой процесс нанесения покрытия, который включает использование газообразных реагентов для получения тонких пленок и покрытий высокого качества.
Химическое осаждение из паровой фазы с расширенной плазмой (PECVD): Исчерпывающее руководство
Узнайте все, что вам нужно знать о плазменном химическом осаждении из паровой фазы (PECVD) - технологии осаждения тонких пленок, используемой в полупроводниковой промышленности. Изучите ее принципы, области применения и преимущества.
Понимание PECVD: руководство по химическому осаждению из паровой фазы с плазменным усилением
PECVD — полезный метод для создания тонкопленочных покрытий, поскольку он позволяет наносить самые разные материалы, включая оксиды, нитриды и карбиды.
Печь CVD для выращивания углеродных нанотрубок
Технология печи химического осаждения из паровой фазы (CVD) является широко используемым методом выращивания углеродных нанотрубок.
Преимущества и недостатки химического осаждения из паровой фазы (CVD)
Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) - это универсальный метод осаждения тонких пленок, широко используемый в различных отраслях промышленности. Изучите ее преимущества, недостатки и потенциальные новые применения.
Комплексное руководство по MPCVD: синтез алмазов и их применение
Изучите основы, преимущества и применение микроволнового плазменного химического осаждения из паровой фазы (MPCVD) в синтезе алмазов. Узнайте о его уникальных возможностях и о его сравнении с другими методами выращивания алмазов.
CVD-машины для нанесения тонких пленок
Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) — широко используемый метод осаждения тонких пленок на различные подложки.
Руководство для начинающих по машинам MPCVD
MPCVD (микроволновое плазменное химическое осаждение из паровой фазы) — это процесс, используемый для осаждения тонких пленок материала на подложку с использованием плазмы, генерируемой микроволнами.
Печь PECVD Маломощное и низкотемпературное решение для мягких материалов
Печи PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением) стали популярным решением для осаждения тонких пленок на поверхности мягких материалов.