Печь CVD и PECVD
Радиочастотная система PECVD Радиочастотное осаждение из паровой фазы с усилением плазмы
Артикул : KT-RFPE
Цена может варьироваться в зависимости от спецификации и настройки
- Частота
- Частота радиочастот 13,56 МГц
- Температура нагрева
- максимум 200°C
- Размеры вакуумной камеры
- Ф420 мм × 400 мм
Доставка:
Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Запросить индивидуальное коммерческое предложение 👋
Получите цену сейчас! Оставить сообщение Быстрое получение цены Via WhatsappВведение
Радиочастотное плазменное химическое осаждение из паровой фазы (RF PECVD) - это метод осаждения тонких пленок, в котором используется плазма для усиления процесса химического осаждения из паровой фазы. Этот процесс используется для осаждения широкого спектра материалов, включая металлы, диэлектрики и полупроводники. RF PECVD - это универсальная технология, которая может использоваться для осаждения пленок с широким диапазоном свойств, включая толщину, состав и морфологию.
Области применения
RF-PECVD, революционная технология в области осаждения тонких пленок, находит широкое применение в различных отраслях промышленности, включая:
- Изготовление оптических компонентов и устройств
- Производство полупроводниковых приборов
- Производство защитных покрытий
- Разработка микроэлектроники и МЭМС
- Синтез новых материалов
Компоненты и функции
Радиочастотное плазменное химическое осаждение из паровой фазы (RF PECVD) - это метод осаждения тонких пленок на подложки с помощью радиочастотного генератора, создающего плазму, которая ионизирует газы-предшественники. Ионизированные газы вступают в реакцию друг с другом и осаждаются на подложку, образуя тонкую пленку. RF PECVD обычно используется для нанесения пленок алмазоподобного углерода (DLC) на германиевые и кремниевые подложки для применения в инфракрасном диапазоне длин волн 3-12um.
Состоящий из вакуумной камеры, системы вакуумной откачки, катодных и анодных мишеней, источника радиочастотного излучения, надувной системы смешивания газов, компьютерного шкафа управления и т. д., этот аппарат обеспечивает беспрепятственное нанесение покрытия одной кнопкой, хранение и поиск информации о процессе, функции сигнализации, переключение сигналов и клапанов, а также всестороннее протоколирование операций процесса.
Детали и примеры
Характеристики
Система RF-PECVD с радиочастотным плазменно-усиленным химическим осаждением из паровой фазы:
- Нанесение покрытия одной кнопкой: Упрощает процесс нанесения покрытия, делая его легким для пользователей.
- Сохранение и поиск процессов: Позволяет пользователям сохранять и вызывать параметры процесса, обеспечивая стабильность результатов.
- Функции сигнализации: Предупреждает пользователей о любых проблемах или ошибках в процессе нанесения покрытия, сводя к минимуму время простоя.
- Переключение сигналов и клапанов: Обеспечивает точный контроль над процессом нанесения покрытия, позволяя пользователям достигать желаемых результатов.
- Всесторонняя регистрация операций процесса: Записывает все параметры процесса, что позволяет легко отслеживать и анализировать процесс нанесения покрытия.
- Вакуумная камера, система вакуумной откачки, катодные и анодные мишени, источник радиочастотного излучения, система смешивания надувных газов, компьютерный шкаф управления: Обеспечивает стабильную и контролируемую среду для процесса нанесения покрытия.
Преимущества
- Высококачественное осаждение пленки при низкой температуре, подходит для термочувствительных подложек.
- Точный контроль толщины и состава пленки.
- Равномерное и конформное осаждение пленки на сложные геометрические формы.
- Низкий уровень загрязнения частицами и высокая чистота пленок.
- Масштабируемый и экономически эффективный процесс для крупносерийного производства.
- Экологически чистый процесс с минимальным образованием опасных отходов.
Технические характеристики
Основная часть оборудования
| Форма оборудования |
|
| Вакуумная камера |
|
| Скелет носителя |
|
| Система водяного охлаждения |
|
| Шкаф управления |
|
Вакуумная система
| Предельный вакуум |
|
| Время восстановления вакуума |
|
| Скорость повышения давления |
|
| Конфигурация вакуумной системы |
|
| Измерение вакуумной системы |
|
| Работа вакуумной системы | Существует два режима выбора вакуума: ручной и автоматический;
|
| При нарушении вакуума или отключении питания молекулярный насос вакуумного клапана должен вернуться в закрытое состояние. Вакуумный клапан оснащен функцией защиты от блокировки, а вход воздуха в каждый цилиндр оснащен устройством регулировки отсечного клапана, и есть положение, установленное датчиком для отображения закрытого состояния цилиндра; |
|
В соответствии с общими техническими условиями GB11164 вакуумной машины для нанесения покрытий.
- Система нагрева
- Метод нагрева: метод нагрева йод-вольфрамовой лампой;
- Регулятор мощности: цифровой регулятор мощности;
- Температура нагрева: максимальная температура 200°C, мощность 2000W/220V, управляемый и регулируемый дисплей, контроль ±2°C;
Метод подключения: быстрый ввод и быстрое извлечение, металлическая защитная крышка для защиты от обрастания, изолированный источник питания для обеспечения безопасности персонала.
- Радиочастотный источник питания
- Частота: RF частота 13.56MHZ;
- Мощность: 0-2000 Вт с плавной регулировкой;
- Функция: полностью автоматическая регулировка функции согласования импеданса, полностью автоматическая регулировка, чтобы сохранить функцию отражения очень низкий рабочий, внутреннее отражение в пределах 0,5%, с ручной и автоматической функцией регулировки преобразования;
Дисплей: с напряжением смещения, положение конденсатора CT, положение конденсатора RT, установленная мощность, отражательная функция дисплея, с функцией связи, общаться с сенсорным экраном, устанавливать и отображать параметры на конфигурационном программном обеспечении, настраивать линейный дисплей и т.д.
- Катод-анод мишень
- Анодная мишень: φ300 мм медная подложка используется в качестве катодной мишени, температура низкая при работе, и нет необходимости в охлаждающей воде;
Катодная мишень: φ200 мм медная катодная мишень с водяным охлаждением, температура высокая при работе, а внутри охлаждается водой, для обеспечения постоянной температуры во время работы, максимальное расстояние между анодом и катодной мишенью составляет 100-250 мм.
- Контроль надувания
- Расходомер: Используется четырехходовой британский расходомер, расход 0-200SCCM, с индикацией давления, параметры настройки связи, тип газа может быть установлен;
- Запорный клапан: Запорный клапан Qixing Huachuang DJ2C-VUG6, работает с расходомером, смешивает газ, заполняет его в камеру через кольцевое надувное устройство, и равномерно проходит через целевую поверхность;
- Бутылка для хранения газа на предварительном этапе: в основном это промывочная конверсионная бутылка, которая испаряет жидкость C4H10, а затем поступает в трубопровод переднего этапа расходомера. Бутылка для хранения газа имеет цифровой дисплей давления DSP, который выполняет сигналы тревоги о превышении давления и низком давлении;
- Буферный баллон для смешанного газа: Буферная бутылка смешивается с четырьмя газами на последнем этапе. После смешивания он выводится из буферной бутылки до самого дна камеры и до самого верха, причем один из них может быть закрыт независимо;
Надувное устройство: равномерный газопровод на выходе из газового контура корпуса камеры, который равномерно подается на целевую поверхность, чтобы покрытие было более равномерным.
- Система управления
- Сенсорный экран: сенсорный экран TPC1570GI в качестве компьютера + клавиатура и мышь;
- Программное обеспечение управления: табличная установка параметров процесса, отображение параметров сигнализации, отображение параметров вакуума и кривой, установка и отображение параметров радиочастотного источника питания и источника питания постоянного тока, все записи рабочего состояния клапанов и переключателей, записи процесса, записи сигнализации, параметры записи вакуума, могут храниться около полугода, и процесс работы всего оборудования сохраняется в течение 1 секунды для сохранения параметров;
- ПЛК: ПЛК Omron используется в качестве нижнего компьютера для сбора данных различных компонентов и позиционных переключателей, управляющих клапанов и различных компонентов, а затем выполняет взаимодействие данных, отображение и управление с помощью программного обеспечения конфигурации. Это более безопасно и надежно;
- Статус управления: нанесение покрытия одной кнопкой, автоматическое вакуумирование, автоматический постоянный вакуум, автоматический нагрев, автоматическое нанесение многослойного процесса, автоматическое завершение сбора и другие работы;
Преимущества сенсорного экрана: сенсорный экран управления программное обеспечение не может быть изменен, стабильная работа является более удобным и гибким, но количество хранимых данных ограничено, параметры могут быть непосредственно экспортированы, и когда есть проблема с процессом; 6. сигнализации: принять звуковой и световой сигнализации режиме, и записать сигнал тревоги в конфигурации библиотеки параметров сигнализации. Его можно запросить в любое время в будущем, а сохраненные данные могут быть запрошены и вызваны в любое время.
- Постоянный вакуум
- Клапан-бабочка постоянного вакуума: DN80 клапан-бабочка сотрудничает с емкостным пленочным манометром Inficon CDG025 для работы постоянного вакуума, недостатком является то, что порт клапана легко загрязняется и его трудно очистить;
Режим положения клапана: Установите режим управления положением.
- Вода, электричество, газ
- Основные впускные и выпускные трубы изготовлены из нержавеющей стали и оснащены аварийными водозаборными устройствами;
- Все трубы водяного охлаждения вне вакуумной камеры используют быстросменные неразъемные соединения из нержавеющей стали и пластиковые трубы высокого давления (высококачественные водопроводные трубы, которые могут использоваться в течение длительного времени без утечек и поломок), а входные и выходные пластиковые водопроводные трубы высокого давления должны быть представлены в двух разных цветах и соответствующим образом маркированы; бренд Airtek;
- Все водоохлаждаемые трубки внутри вакуумной камеры изготовлены из высококачественного материала SUS304;
- Водяной и газовый контуры соответственно установлены с безопасными и надежными, высокоточными приборами для отображения давления воды и давления воздуха.
- Оснащен 8P чиллером для подачи воды в машину для производства углеродной пленки.
Оснащен набором 6KW горячей воды машины, когда дверь открыта, горячая вода будет течь через комнату.
- Требования к защите безопасности
- Машина оснащена устройством сигнализации;
- Когда давление воды или воздуха не достигает заданного расхода, все вакуумные насосы и клапаны защищены и не могут быть запущены, а звуковой сигнал тревоги и красный сигнальный свет подсказывают;
- Когда машина находится в нормальном рабочем процессе, когда давление воды или воздуха внезапно становится недостаточным, все клапаны будут автоматически закрыты, и появится звуковой сигнал тревоги и красный сигнальный свет;
- При нарушении работы системы (высокое напряжение, источник ионов, система управления) раздается звуковой сигнал и загорается красная сигнальная лампочка;
Высокое напряжение включено, и есть защитная сигнализация.
- Требования к рабочей среде
- Температура окружающей среды: 10～35℃;
- Относительная влажность: не более 80%;
Окружающая среда вокруг оборудования должна быть чистой, а воздух - чистым. Не должно быть пыли или газа, которые могут вызвать коррозию электрических приборов и других металлических поверхностей или вызвать электрическую проводимость между металлами.
- Требования к мощности оборудования
- Источник воды: промышленная мягкая вода, давление воды 0,2~0,3 МПа, объем воды ~60 л/мин, температура воды на входе≤25°C; соединение водопроводной трубы 1,5 дюйма;
- Источник воздуха: давление воздуха 0,6 МПа;
- Электропитание: трехфазная пятипроводная система 380В, 50Гц, диапазон колебаний напряжения: линейное напряжение 342 ~ 399В, фазное напряжение 198 ~ 231В; диапазон колебаний частоты: 49 ~ 51 Гц; потребляемая мощность оборудования: ~ 16KW; сопротивление заземления ≤ 1Ω;
Предупреждения
Безопасность оператора – первостепенная задача! Пожалуйста, используйте оборудование с осторожностью. Работа с легковоспламеняющимися, взрывоопасными или токсичными газами очень опасна, операторы должны принять все необходимые меры предосторожности перед запуском оборудования. Работа с избыточным давлением внутри реакторов или камер опасна, оператор должен строго соблюдать технику безопасности. Следует также соблюдать особую осторожность при работе с материалами, реагирующими с воздухом, особенно в условиях вакуума. Утечка может привести к попаданию воздуха в аппарат и вызвать бурную реакцию.
Создан для вас
KinTek предоставляет специализированные услуги и оборудование для клиентов по всему миру, наша специализированная командная работа и богатый опыт инженеров способны выполнить индивидуальные требования к аппаратному и программному оборудованию, а также помочь нашим клиентам создать эксклюзивное и индивидуальное оборудование и решение!
Не могли бы вы поделиться своими идеями с нами, наши инженеры готовы для вас прямо сейчас!
FAQ
Что такое физическое осаждение из паровой фазы (PVD)?
Что такое печь CVD?
Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) — это технология, в которой используются различные источники энергии, такие как нагрев, возбуждение плазмы или световое излучение, для химической реакции газообразных или парообразных химических веществ на газовой фазе или на границе газ-твердое тело с образованием твердых отложений в реакторе с помощью химическая реакция. Проще говоря, два или более газообразных сырья вводятся в реакционную камеру, а затем они реагируют друг с другом с образованием нового материала и его осаждением на поверхности подложки.
Печь CVD представляет собой комбинированную систему печей с высокотемпературной трубчатой печью, блоком управления газами и вакуумным блоком, она широко используется для экспериментов и производства композитных материалов, процессов микроэлектроники, полупроводниковой оптоэлектроники, использования солнечной энергии, оптоволоконной связи, сверхпроводников. технология, поле защитного покрытия.
Что такое RF PECVD?
Что такое метод PECVD?
Какие методы используются для нанесения тонких пленок?
Что такое магнетронное распыление?
Что такое МпкВД?
Как работает печь CVD?
Печь CVD состоит из блока высокотемпературной трубчатой печи, блока точного управления источником реагирующего газа, вакуумной насосной станции и соответствующих сборочных частей.
Вакуумный насос предназначен для удаления воздуха из реакционной трубы и обеспечения отсутствия нежелательных газов внутри реакционной трубы, после чего трубчатая печь нагреет реакционную трубу до заданной температуры, после чего блок точного управления источником реакционного газа может вводить различные газы с заданным соотношением в трубку печи для химической реакции, химическое осаждение из паровой фазы будет образовываться в печи CVD.
Что такое мишень для распыления?
Для чего используется PECVD?
Что такое оборудование для нанесения тонких пленок?
Почему магнетронное распыление?
PACVD - это PECVD?
Что такое машина Mpcvd?
Какой газ используется в процессе CVD?
В процессе CVD можно использовать огромные источники газа, общие химические реакции CVD включают пиролиз, фотолиз, восстановление, окисление, окислительно-восстановительный процесс, поэтому газы, участвующие в этих химических реакциях, могут использоваться в процессе CVD.
В качестве примера возьмем выращивание CVD-графена. Газы, используемые в процессе CVD, будут CH4, H2, O2 и N2.
Каков основной принцип ССЗ?
Как изготавливаются мишени для распыления?
Каковы преимущества PECVD?
Что такое технология тонкопленочного осаждения?
Какие материалы используются для нанесения тонких пленок?
Для осаждения тонких пленок в качестве материалов обычно используются металлы, оксиды и соединения, каждый из которых имеет свои уникальные преимущества и недостатки. Металлы предпочтительнее из-за их долговечности и простоты нанесения, но они относительно дороги. Оксиды очень прочны, могут выдерживать высокие температуры и могут осаждаться при низких температурах, но могут быть хрупкими и сложными в работе. Соединения обладают прочностью и долговечностью, их можно наносить при низких температурах и придавать им особые свойства.
Выбор материала для тонкопленочного покрытия зависит от требований применения. Металлы идеально подходят для тепло- и электропроводности, а оксиды эффективны для защиты. Соединения могут быть адаптированы для удовлетворения конкретных потребностей. В конечном счете, лучший материал для конкретного проекта будет зависеть от конкретных потребностей приложения.
Каковы преимущества Mpcvd?
В чем преимущество системы CVD?
- При необходимости может быть изготовлен широкий ассортимент пленок: металлическая пленка, неметаллическая пленка и пленка из многокомпонентного сплава. В то же время он позволяет получать качественные кристаллы, которые трудно получить другими методами, такими как GaN, BP и др.
- Скорость формирования пленки высокая, обычно несколько микрон в минуту или даже сотни микрон в минуту. Возможно одновременное нанесение большого количества однородных по составу покрытий, что несравнимо с другими методами получения пленок, такими как жидкофазная эпитаксия (ЖФЭ) и молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ).
- Рабочие условия выполняются при нормальном давлении или низком вакууме, поэтому покрытие имеет хорошую дифракцию, а детали сложной формы могут быть равномерно покрыты, что намного превосходит PVD.
- Благодаря взаимной диффузии реакционного газа, продукта реакции и подложки можно получить покрытие с хорошей адгезионной прочностью, что имеет решающее значение для получения пленок с упрочнением поверхности, таких как износостойкие и антикоррозионные пленки.
- Некоторые пленки растут при температуре намного ниже температуры плавления материала пленки. В условиях низкотемпературного роста реакционный газ и стенки реактора, а также содержащиеся в них примеси практически не вступают в реакцию, поэтому можно получить пленку высокой чистоты и хорошей кристалличности.
- Химическое осаждение из паровой фазы позволяет получить гладкую поверхность осаждения. Это связано с тем, что по сравнению с LPE химическое осаждение из паровой фазы (CVD) выполняется при высоком насыщении, с высокой скоростью зародышеобразования, высокой плотностью зародышеобразования и однородным распределением по всей плоскости, что приводит к макроскопически гладкой поверхности. В то же время при химическом осаждении из газовой фазы средний свободный пробег молекул (атомов) намного больше, чем при ЖФЭ, поэтому пространственное распределение молекул является более равномерным, что способствует формированию гладкой поверхности осаждения.
- Низкие радиационные повреждения, что является необходимым условием для изготовления металлооксидных полупроводников (МОП) и других устройств.
Какие существуют типы метода CVD?
Для чего используется мишень для распыления?
В чем разница между ALD и PECVD?
Каковы методы достижения оптимального осаждения тонкой пленки?
Для получения тонких пленок с желаемыми свойствами необходимы высококачественные мишени для распыления и материалы для испарения. На качество этих материалов могут влиять различные факторы, такие как чистота, размер зерна и состояние поверхности.
Чистота мишеней для распыления или материалов для испарения играет решающую роль, поскольку примеси могут вызывать дефекты в полученной тонкой пленке. Размер зерна также влияет на качество тонкой пленки, при этом более крупные зерна приводят к ухудшению свойств пленки. Кроме того, состояние поверхности имеет решающее значение, так как шероховатая поверхность может привести к дефектам пленки.
Для достижения высочайшего качества мишеней для распыления и материалов для испарения крайне важно выбирать материалы, которые обладают высокой чистотой, малым размером зерна и гладкой поверхностью.
Использование тонкопленочного осаждения
Тонкие пленки на основе оксида цинка
Тонкие пленки ZnO находят применение в нескольких отраслях, таких как термическая, оптическая, магнитная и электрическая, но в основном они используются в покрытиях и полупроводниковых устройствах.
Тонкопленочные резисторы
Тонкопленочные резисторы имеют решающее значение для современных технологий и используются в радиоприемниках, печатных платах, компьютерах, радиочастотных устройствах, мониторах, беспроводных маршрутизаторах, модулях Bluetooth и приемниках сотовых телефонов.
Магнитные тонкие пленки
Тонкие магнитные пленки используются в электронике, хранении данных, радиочастотной идентификации, микроволновых устройствах, дисплеях, печатных платах и оптоэлектронике в качестве ключевых компонентов.
Оптические тонкие пленки
Оптические покрытия и оптоэлектроника являются стандартными областями применения тонких оптических пленок. Молекулярно-лучевая эпитаксия может производить оптоэлектронные тонкопленочные устройства (полупроводники), в которых эпитаксиальные пленки наносятся на подложку по одному атому за раз.
Полимерные тонкие пленки
Тонкие полимерные пленки используются в микросхемах памяти, солнечных элементах и электронных устройствах. Методы химического осаждения (CVD) обеспечивают точный контроль полимерных пленочных покрытий, включая соответствие и толщину покрытия.
Тонкопленочные батареи
Тонкопленочные батареи питают электронные устройства, такие как имплантируемые медицинские устройства, а литий-ионные батареи значительно продвинулись вперед благодаря использованию тонких пленок.
Тонкопленочные покрытия
Тонкопленочные покрытия улучшают химические и механические характеристики целевых материалов в различных отраслях промышленности и технологических областях. Некоторыми распространенными примерами являются антибликовые покрытия, анти-ультрафиолетовое или анти-инфракрасное покрытие, покрытие против царапин и поляризация линзы.
Тонкопленочные солнечные элементы
Тонкопленочные солнечные элементы необходимы для солнечной энергетики, позволяя производить относительно дешевую и чистую электроэнергию. Фотоэлектрические системы и тепловая энергия являются двумя основными применимыми технологиями.
Алмазы CVD настоящие или поддельные?
Что означает PECVD?
PECVD — это технология, использующая плазму для активации реакционного газа, стимулирования химической реакции на поверхности подложки или в приповерхностном пространстве и создания твердой пленки. Основной принцип технологии плазмохимического осаждения из паровой фазы заключается в том, что под действием ВЧ или постоянного электрического поля исходный газ ионизируется с образованием плазмы, низкотемпературная плазма используется в качестве источника энергии, соответствующее количество реакционного газа вводится, а плазменный разряд используется для активации реакционного газа и осуществления химического осаждения из паровой фазы.
По способу получения плазмы ее можно разделить на ВЧ-плазму, плазму постоянного тока и микроволновую плазму CVD и т. д.
Что такое распыляющие мишени для электроники?
В чем разница между PECVD и напылением?
Факторы и параметры, влияющие на осаждение тонких пленок
Скорость осаждения:
Скорость производства пленки, обычно измеряемая по толщине, деленной на время, имеет решающее значение для выбора технологии, подходящей для конкретного применения. Умеренные скорости осаждения достаточны для тонких пленок, в то время как для толстых необходимы высокие скорости осаждения. Важно найти баланс между скоростью и точным контролем толщины пленки.
Единообразие:
Однородность пленки по подложке известна как однородность, которая обычно относится к толщине пленки, но также может относиться к другим свойствам, таким как показатель преломления. Важно иметь хорошее представление о приложении, чтобы избежать недостаточного или чрезмерного определения единообразия.
Возможность заполнения:
Способность заполнения или ступенчатое покрытие относится к тому, насколько хорошо процесс осаждения охватывает топографию подложки. Используемый метод осаждения (например, CVD, PVD, IBD или ALD) оказывает значительное влияние на покрытие и заполнение ступеней.
Характеристики фильма:
Характеристики пленки зависят от требований приложения, которые можно разделить на фотонные, оптические, электронные, механические или химические. Большинство фильмов должны соответствовать требованиям более чем в одной категории.
Температура процесса:
На характеристики пленки существенно влияет температура процесса, которая может быть ограничена областью применения.
Повреждать:
Каждая технология осаждения может повредить материал, на который наносится осаждение, при этом более мелкие элементы более подвержены повреждению процесса. Загрязнение, УФ-излучение и ионная бомбардировка входят в число потенциальных источников повреждений. Крайне важно понимать ограничения материалов и инструментов.
В чем разница между ССЗ и PECVD?
Отличие PECVD от традиционной технологии CVD заключается в том, что плазма содержит большое количество высокоэнергетических электронов, которые могут обеспечить энергию активации, необходимую в процессе химического осаждения из паровой фазы, тем самым изменяя режим энергоснабжения реакционной системы. Поскольку температура электронов в плазме достигает 10000 К, столкновение между электронами и молекулами газа может способствовать разрыву химических связей и рекомбинации молекул реакционного газа с образованием более активных химических групп, в то время как вся реакционная система поддерживает более низкую температуру.
Таким образом, по сравнению с процессом CVD, PECVD может выполнять тот же процесс химического осаждения из паровой фазы при более низкой температуре.
Каково время жизни мишени для распыления?
4.7
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great tool for depositing high-quality thin films. We've been using it for several months now and have been very happy with the results.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition has been a lifesaver in our lab. It's allowed us to produce high-quality thin films quickly and easily.
4.9
out of
5
We are very satisfied with the RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a well-built system that produces high-quality results. The customer service is also excellent.
5.0
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a game-changer for our research. It's allowed us to explore new possibilities that we never thought possible.
4.7
out of
5
We've been using RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for a few months now and have been very impressed with its performance. It's a powerful tool that has helped us to achieve great results.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great investment for any lab. It's easy to use and produces high-quality results. I highly recommend it.
4.9
out of
5
We're very happy with our RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a reliable system that has helped us to improve our research.
5.0
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a top-of-the-line system. It's a must-have for any lab that wants to stay ahead of the curve.
4.7
out of
5
We've been using RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for a few years now and have been very happy with it. It's a versatile system that can be used for a variety of applications.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great value for the money. It's a powerful system that can be used for a variety of applications.
4.9
out of
5
We're very satisfied with the RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a well-built system that produces high-quality results. The customer service is also excellent.
5.0
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a game-changer for our research. It's allowed us to explore new possibilities that we never thought possible.
4.7
out of
5
We've been using RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for a few months now and have been very impressed with its performance. It's a powerful tool that has helped us to achieve great results.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great investment for any lab. It's easy to use and produces high-quality results. I highly recommend it.
4.9
out of
5
We're very happy with our RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a reliable system that has helped us to improve our research.
5.0
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a top-of-the-line system. It's a must-have for any lab that wants to stay ahead of the curve.
4.7
out of
5
We've been using RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition for a few years now and have been very happy with it. It's a versatile system that can be used for a variety of applications.
4.8
out of
5
RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition is a great value for the money. It's a powerful system that can be used for a variety of applications.
4.9
out of
5
We're very satisfied with the RF PECVD System Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. It's a well-built system that produces high-quality results. The customer service is also excellent.
PDF - Радиочастотная система PECVD Радиочастотное осаждение из паровой фазы с усилением плазмы
СкачатьКаталог Печь Cvd И Pecvd
СкачатьКаталог Рф Пэвд
СкачатьКаталог Пвд Машина
СкачатьКаталог Оборудование Для Нанесения Тонких Пленок
СкачатьКаталог Тонкопленочные Материалы Для Осаждения
СкачатьКаталог Паквд
СкачатьКаталог Машина Mpcvd
СкачатьКаталог Хвд Печь
СкачатьКаталог Cvd-Машина
СкачатьКаталог Мишени Для Распыления
СкачатьЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Плазменное осаждение с расширенным испарением PECVD машина покрытия
Усовершенствуйте свой процесс нанесения покрытий с помощью оборудования для нанесения покрытий методом PECVD. Идеально подходит для производства светодиодов, силовых полупроводников, МЭМС и многого другого. Осаждает высококачественные твердые пленки при низких температурах.
Наклонная ротационная машина для трубчатой печи с плазменным осаждением (PECVD)
Представляем нашу наклонную вращающуюся печь PECVD для точного осаждения тонких пленок. Наслаждайтесь автоматическим согласованием источника, программируемым ПИД-регулятором температуры и высокоточным управлением массовым расходомером MFC. Встроенные функции безопасности для вашего спокойствия.
Скользящая трубчатая печь PECVD с жидким газификатором PECVD машина
Система KT-PE12 Slide PECVD: широкий диапазон мощностей, программируемый контроль температуры, быстрый нагрев/охлаждение с помощью скользящей системы, контроль массового расхода MFC и вакуумный насос.
Цилиндрический резонатор MPCVD алмазной установки для выращивания алмазов в лаборатории
Узнайте о машине MPCVD с цилиндрическим резонатором - методе микроволнового плазмохимического осаждения из паровой фазы, который используется для выращивания алмазных камней и пленок в ювелирной и полупроводниковой промышленности. Узнайте о его экономически эффективных преимуществах по сравнению с традиционными методами HPHT.
4-дюймовая камера из алюминиевого сплава, полностью автоматический лабораторный гомогенизатор клея
Полностью автоматический лабораторный дозатор клея с 4-дюймовой полостью из алюминиевого сплава представляет собой компактное и устойчивое к коррозии устройство, предназначенное для лабораторного использования. Он оснащен прозрачной крышкой с постоянным крутящим моментом, встроенной внутренней полостью для открытия формы для легкой разборки и очистки, а также кнопкой маски для лица с цветным текстовым ЖК-дисплеем для простоты использования.
Колокольный резонатор MPCVD Машина для лаборатории и выращивания алмазов
Получите высококачественные алмазные пленки с помощью нашей машины MPCVD с резонатором Bell-jar Resonator, предназначенной для лабораторного выращивания и выращивания алмазов. Узнайте, как микроволновое плазменно-химическое осаждение из паровой фазы работает для выращивания алмазов с использованием углекислого газа и плазмы.
Полностью автоматический лабораторный гомогенизатор с акриловой полостью 4 дюйма
Полностью автоматическая лабораторная машина для нанесения клея с 4-дюймовой акриловой полостью представляет собой компактную, устойчивую к коррозии и простую в использовании машину, предназначенную для использования в перчаточных боксах. Он имеет прозрачную крышку с постоянным крутящим моментом для позиционирования цепи, встроенную внутреннюю полость для открытия формы и кнопку маски для лица с цветным текстовым ЖК-дисплеем. Скорость ускорения и замедления можно контролировать и регулировать, а также можно установить многоступенчатое программное управление.
915MHz MPCVD Diamond Machine и его многокристальный эффективный рост, максимальная площадь может достигать 8 дюймов, максимальная эффективная площадь роста монокристалла может достигать 5 дюймов. Это оборудование в основном используется для производства поликристаллических алмазных пленок большого размера, роста длинных монокристаллов алмазов, низкотемпературного роста высококачественного графена и других материалов, для роста которых требуется энергия, предоставляемая микроволновой плазмой.
Электронно-лучевое напыление покрытия бескислородного медного тигля
При использовании методов электронно-лучевого испарения использование тиглей из бескислородной меди сводит к минимуму риск загрязнения кислородом в процессе испарения.
Универсальная трубчатая печь CVD, изготовленная по индивидуальному заказу CVD-машина
Получите свою эксклюзивную печь CVD с универсальной печью KT-CTF16, изготовленной по индивидуальному заказу. Настраиваемые функции скольжения, вращения и наклона для точной реакции. Заказать сейчас!
4-дюймовая камера из нержавеющей стали, полностью автоматический лабораторный гомогенизатор клея
Полностью автоматический лабораторный гомогенизатор клея с 4-дюймовой камерой из нержавеющей стали представляет собой компактное и устойчивое к коррозии устройство, предназначенное для использования в перчаточных боксах. Он оснащен прозрачной крышкой с постоянным крутящим моментом и встроенной внутренней полостью для открытия формы для легкой разборки, очистки и замены.
Печь для искрового плазменного спекания SPS-печь
Откройте для себя преимущества печей искрового плазменного спекания для быстрой низкотемпературной подготовки материалов. Равномерный нагрев, низкая стоимость и экологичность.
Эффективно подготавливайте образцы с помощью нашего пресса с батарейным питанием 5Т. Идеально подходит для лабораторий по исследованию материалов и мелкосерийного производства. Компактный, легкий и совместимый с вакуумом.
Алмазное покрытие CVD: превосходная теплопроводность, качество кристаллов и адгезия для режущих инструментов, трения и акустических применений.
Сплит автоматический нагретый пресс гранулы лаборатории 30T / 40T
Откройте для себя наш разъемный автоматический лабораторный пресс с подогревом 30T/40T для точной подготовки образцов в исследованиях материалов, фармацевтике, керамике и электронной промышленности. Благодаря небольшой площади и нагреву до 300°C он идеально подходит для обработки в вакуумной среде.
Обновите свои электрохимические эксперименты с помощью нашего платинового дискового электрода. Высокое качество и надежность для точных результатов.
Лабораторная валковая мельница
Роликовая мельница - это горизонтальный измельчитель с объемом порционного помола 1-20 л. Она использует различные резервуары, вращающиеся для измельчения образцов менее 20 мм. Особенности: конструкция из нержавеющей стали, звукоизолирующая крышка, светодиодное освещение и окно для ПК.
автоматический нагретый лабораторный пресс для гранул 25T / 30T / 50T
Эффективно подготовьте образцы с помощью нашего автоматического лабораторного пресса с подогревом. Благодаря диапазону давления до 50 Т и точному управлению он идеально подходит для различных отраслей промышленности.
Графитовый тигель для электронно-лучевого испарения
Технология, в основном используемая в области силовой электроники. Это графитовая пленка, изготовленная из исходного углеродного материала путем осаждения материала с использованием электронно-лучевой технологии.
Сплит электрический лабораторный пресс для гранул 40T / 65T / 100T / 150T / 200T
Эффективно готовьте образцы с помощью раздельного электрического лабораторного пресса - он доступен в различных размерах и идеально подходит для исследования материалов, фармакологии и керамики. Наслаждайтесь большей универсальностью и высоким давлением с этим портативным и программируемым вариантом.
Автоматическая лабораторная машина для прессования гранул 20T / 30T / 40T / 60T / 100T
Оцените эффективность подготовки образцов с помощью нашей автоматической лабораторной пресс-машины. Идеально подходит для исследования материалов, фармакологии, керамики и т.д. Отличается компактными размерами и функцией гидравлического пресса с нагревательными пластинами. Доступны различные размеры.
Интегрированный ручной нагретый лабораторный пресс для гранул 120 мм / 180 мм / 200 мм / 300 мм
Эффективно обрабатывайте образцы тепловым прессованием с помощью нашего интегрированного ручного лабораторного пресса с подогревом. С диапазоном нагрева до 500°C он идеально подходит для различных отраслей промышленности.
Автоматический лабораторный холодный изостатический пресс (CIP) 20T / 40T / 60T / 100T
Эффективная подготовка образцов с помощью нашего автоматического лабораторного холодного изостатического пресса. Широко используется в исследованиях материалов, фармацевтике и электронной промышленности. Обеспечивает большую гибкость и контроль по сравнению с электрическими CIP.
Связанные статьи
Понимание PECVD: руководство по химическому осаждению из паровой фазы с плазменным усилением
PECVD — полезный метод для создания тонкопленочных покрытий, поскольку он позволяет наносить самые разные материалы, включая оксиды, нитриды и карбиды.
Химическое осаждение из паровой фазы с расширенной плазмой (PECVD): Исчерпывающее руководство
Узнайте все, что вам нужно знать о плазменном химическом осаждении из паровой фазы (PECVD) - технологии осаждения тонких пленок, используемой в полупроводниковой промышленности. Изучите ее принципы, области применения и преимущества.
Как получить монокристаллический алмаз высокого качества с помощью MPCVD
Микроволновое плазмохимическое осаждение из газовой фазы (MPCVD) является популярным методом получения высококачественных монокристаллов алмаза.
Роль плазмы в покрытиях PECVD
PECVD (химическое осаждение из газовой фазы с плазменным усилением) представляет собой тип процесса осаждения тонких пленок, который широко используется для создания покрытий на различных подложках. В этом процессе плазма используется для осаждения тонких пленок из различных материалов на подложку.
Введение в химическое осаждение из паровой фазы (CVD)
Химическое осаждение из паровой фазы, или CVD, представляет собой процесс нанесения покрытия, который включает использование газообразных реагентов для получения тонких пленок и покрытий высокого качества.
Пошаговое руководство по процессу PECVD
PECVD — это тип процесса химического осаждения из паровой фазы, в котором используется плазма для усиления химических реакций между газофазными прекурсорами и подложкой.
Преимущества и недостатки химического осаждения из паровой фазы (CVD)
Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) - это универсальный метод осаждения тонких пленок, широко используемый в различных отраслях промышленности. Изучите ее преимущества, недостатки и потенциальные новые применения.
Почему PECVD необходима для производства микроэлектронных устройств
PECVD (химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением) — это популярный метод осаждения тонких пленок, используемый в производстве устройств микроэлектроники.
Сравнение производительности PECVD и HPCVD при нанесении покрытий
Хотя и PECVD, и HFCVD используются для нанесения покрытий, они различаются методами осаждения, характеристиками и пригодностью для конкретных применений.
Ключевые материалы для успешных процессов CVD
Успех процессов CVD зависит от наличия и качества прекурсоров, используемых в процессе.
Полное руководство по обслуживанию оборудования PECVD
Надлежащее техническое обслуживание оборудования PECVD имеет решающее значение для обеспечения его оптимальной производительности, долговечности и безопасности.
Понимание метода PECVD
PECVD — это процесс химического осаждения из паровой фазы с усилением плазмы, который широко используется при производстве тонких пленок для различных применений.