ПДКВД
Система реактора для осаждения алмазных пленок методом плазменного химического осаждения из газовой фазы в микроволновом поле (MPCVD) для лабораторий и выращивания алмазов
Артикул : KTMP315
Цена может варьироваться в зависимости от спецификации и настройки
- Мощность микроволн
- Частота микроволн 2450±15 МГц
- Выходная мощность
- 1～10 кВт непрерывно регулируемая
- Микроволновое излучение
- ≤2 МВт/см²
- Интерфейс выходного волновода
- WR340, 430 со стандартным фланцем FD-340, 430
- Держатель образца
- Диаметр стола образца ≥70 мм, эффективная площадь использования ≥64 мм
Доставка:
Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Почему выбирают нас
Простой процесс заказа, качественные продукты и специализированная поддержка для успеха вашего бизнеса.
MPCVD означает плазменное химическое осаждение из газовой фазы в микроволновом поле. Этот метод позволяет выращивать качественные алмазные пленки в лабораториях с использованием углеродного газа и микроволновой плазмы.
Система MPCVD
MPCVD — это система для осаждения тонких пленок на подложку, состоящая из вакуумной камеры, микроволнового генератора и системы подачи газа. Плазма генерируется внутри камеры магнетроном или клистроном, генерирующим микроволны на частоте 2,45 ГГц. Система подачи газа оснащена массовыми расходомерами (MFC), откалиброванными в стандартных кубических сантиметрах в минуту (sccm), для контроля потока газа. Температура подложки контролируется плазмой и измеряется термопарой. Плазма нагревает подложку, и температура контролируется во время осаждения.
Применения
MPCVD демонстрирует перспективность для производства крупных, высококачественных алмазов при низких затратах.
Уникальные свойства алмаза, такие как твердость, жесткость, высокая теплопроводность, низкий коэффициент теплового расширения, радиационная стойкость и химическая инертность, делают его ценным материалом. Однако высокая стоимость, ограниченный размер и трудность контроля примесей природных и синтетических алмазов, полученных методом высокого давления и высокой температуры (HPHT), ограничивали их применение.
MPCVD является основным оборудованием для выращивания алмазных драгоценных камней и пленок, которые могут быть как монокристаллическими, так и поликристаллическими. Полупроводниковая промышленность широко использует выращивание алмазных пленок для крупногабаритных алмазных подложек, а также в производстве алмазных режущих или сверлильных инструментов.
По сравнению с методом HPHT для выращивания алмазов в лаборатории, метод микроволнового CVD имеет преимущества для выращивания крупногабаритных алмазов при более низких затратах, что делает его идеальным решением для полупроводниковых алмазов, выращивания алмазов для оптики и крупного рынка ювелирных алмазов.
Преимущества MPCVD
MPCVD — это метод синтеза алмазов, имеющий преимущества перед HFCVD и DC-PJ CVD. Он предотвращает загрязнение и позволяет использовать несколько газов. Он обеспечивает плавную регулировку мощности микроволн и стабильный контроль температуры, избегая потери затравочных кристаллов. MPCVD перспективен для промышленных применений благодаря большой, стабильной площади плазмы.
MPCVD производит более чистые алмазы с меньшим энергопотреблением, чем HPHT. Он также позволяет производить более крупные алмазы.
Преимущества нашей системы MPCVD
Мы глубоко вовлечены в отрасль на протяжении многих лет, и в результате у нас обширная клиентская база, которая доверяет нашему оборудованию и использует его. Наше оборудование MPCVD работает стабильно более 40 000 часов, демонстрируя исключительную стабильность, надежность, повторяемость и экономическую эффективность. Дополнительные преимущества нашей системы MPCVD включают:
- Площадь выращивания подложки 3 дюйма, максимальная загрузка до 45 алмазов
- Регулируемая выходная мощность микроволн 1-10 кВт для снижения энергопотребления
- Команда исследователей с богатым опытом и поддержкой передовых рецептов выращивания алмазов
- Эксклюзивная программа технической поддержки для команд без опыта выращивания алмазов
Используя наши накопленные передовые технологии, мы реализовали несколько раундов модернизации и усовершенствования нашей системы MPCVD, что привело к значительному повышению эффективности и снижению затрат на оборудование. В результате наше оборудование MPCVD находится на переднем крае технологических достижений и предлагается по конкурентоспособной цене. Приглашаем вас проконсультироваться с нами.
Рабочий процесс
Установка MPCVD контролирует поток каждого газового тракта и давление в полости, одновременно подавая реакционные газы (такие как CH4, H2, Ar, O2, N2 и т. д.) в полость под определенным давлением. После стабилизации воздушного потока микроволновый генератор мощностью 6 кВт генерирует микроволны, которые затем вводятся в полость через волновод.
Реакционный газ преобразуется в плазменное состояние под действием микроволнового поля, образуя плазменный шар, который парит над алмазной подложкой. Высокая температура плазмы нагревает подложку до определенной температуры. Избыточное тепло, выделяющееся в полости, рассеивается блоком водяного охлаждения.
Для обеспечения оптимальных условий роста в процессе выращивания монокристаллического алмаза методом MPCVD мы регулируем такие факторы, как мощность, состав газовой смеси и давление в полости. Кроме того, поскольку плазменный шар не контактирует со стенками полости, процесс роста алмаза свободен от примесей, что повышает качество алмаза.
Детали и компоненты
Микроволновая система
Реакционная камера
Система газового потока
Система вакуума и датчиков
Технические характеристики
| Микроволновая система |
|
| Реакционная камера |
|
| Держатель образца |
|
| Система газового потока |
|
| Система охлаждения |
|
| Датчик температуры |
|
| Система управления |
|
| Дополнительная функция |
|
Предупреждения
Безопасность оператора – первостепенная задача! Пожалуйста, используйте оборудование с осторожностью. Работа с легковоспламеняющимися, взрывоопасными или токсичными газами очень опасна, операторы должны принять все необходимые меры предосторожности перед запуском оборудования. Работа с избыточным давлением внутри реакторов или камер опасна, оператор должен строго соблюдать технику безопасности. Следует также соблюдать особую осторожность при работе с материалами, реагирующими с воздухом, особенно в условиях вакуума. Утечка может привести к попаданию воздуха в аппарат и вызвать бурную реакцию.
Создан для вас
KinTek предоставляет специализированные услуги и оборудование для клиентов по всему миру, наша специализированная командная работа и богатый опыт инженеров способны выполнить индивидуальные требования к аппаратному и программному оборудованию, а также помочь нашим клиентам создать эксклюзивное и индивидуальное оборудование и решение!
Не могли бы вы поделиться своими идеями с нами, наши инженеры готовы для вас прямо сейчас!
Нам доверяют лидеры отрасли
FAQ
Что такое алмазный станок CVD?
Какие типы машин для выращивания алмазов доступны?
Каковы преимущества выращенных в лаборатории бриллиантов?
Каков основной принцип ССЗ?
Какова цена машины для выращивания CVD?
Какие существуют типы метода CVD?
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Реактор установки для цилиндрического резонатора МПХВД для химического осаждения из паровой фазы в микроволновой плазме и выращивания лабораторных алмазов
Узнайте о машине МПХВД с цилиндрическим резонатором, методе химического осаждения из паровой фазы в микроволновой плазме, используемом для выращивания алмазных драгоценных камней и пленок в ювелирной и полупроводниковой промышленности. Откройте для себя ее экономически выгодные преимущества по сравнению с традиционными методами HPHT.
915 МГц MPCVD Алмазная установка Микроволновая плазменная химическая осаждение из газовой фазы Система реактора
915 МГц MPCVD Алмазная установка и ее многокристаллический эффективный рост, максимальная площадь может достигать 8 дюймов, максимальная эффективная площадь роста монокристалла может достигать 5 дюймов. Это оборудование в основном используется для производства крупномасштабных поликристаллических алмазных пленок, роста длинных монокристаллических алмазов, низкотемпературного роста высококачественного графена и других материалов, требующих энергии, обеспечиваемой микроволновой плазмой для роста.
Инструменты для правки кругов из CVD-алмаза для прецизионных применений
Оцените непревзойденную производительность заготовок для правки кругов из CVD-алмаза: высокая теплопроводность, исключительная износостойкость и независимость от ориентации.
Алмаз CVD для применений в области управления тепловыми режимами
Алмаз CVD для управления тепловыми режимами: Высококачественный алмаз с теплопроводностью до 2000 Вт/мК, идеально подходящий для теплораспределителей, лазерных диодов и применений GaN на алмазе (GOD).
Оборудование системы HFCVD для нанесения наноалмазного покрытия на волочильные фильеры
В волочильных фильерах с наноалмазным композитным покрытием в качестве подложки используется твердый сплав (WC-Co), а методом химического осаждения из газовой фазы (далее CVD) на поверхность внутреннего отверстия формы наносится обычное алмазное и наноалмазное композитное покрытие.
Заготовки режущих инструментов из алмаза CVD для прецизионной обработки
Режущие инструменты из алмаза CVD: превосходная износостойкость, низкое трение, высокая теплопроводность для обработки цветных металлов, керамики, композитов
Заготовки для волочильных фильер из алмаза CVD для прецизионных применений
Заготовки для волочильных фильер из алмаза CVD: превосходная твердость, износостойкость и применимость при волочении различных материалов. Идеально подходят для операций механической обработки с абразивным износом, таких как обработка графита.
Высокоточный станок для резки алмазной проволокой Лабораторная пила Прецизионный электроэрозионный станок для резки проволокой
Высокоточный станок для резки алмазной проволокой — это универсальный и точный режущий инструмент, разработанный специально для исследователей материалов. Он использует механизм резки непрерывной алмазной проволокой, обеспечивающий точную резку хрупких материалов, таких как керамика, кристаллы, стекло, металлы, камни и различные другие материалы.
Лабораторные алмазные материалы с легированием бором методом CVD
Алмаз с легированием бором методом CVD: универсальный материал, обеспечивающий регулируемую электропроводность, оптическую прозрачность и исключительные тепловые свойства для применения в электронике, оптике, сенсорике и квантовых технологиях.
12-дюймовая/24-дюймовая высокоточная автоматическая алмазно-проволочная отрезная машина лабораторная пила прецизионная электроэрозионная отрезная машина
Высокоточная автоматическая алмазно-проволочная отрезная машина — это универсальный режущий инструмент, который использует алмазную проволоку для резки широкого спектра материалов, включая проводящие и непроводящие материалы, керамику, стекло, камни, драгоценные камни, нефрит, метеориты, монокристаллический кремний, карбид кремния, поликристаллический кремний, огнеупорный кирпич, эпоксидные платы и ферритовые тела. Он особенно подходит для резки различных хрупких кристаллов с высокой твердостью, высокой ценностью и склонностью к поломке.
Микро-горизонтальная мельница для точной подготовки проб в исследованиях и анализах
Откройте для себя микро-горизонтальную мельницу для точной подготовки проб в исследованиях и анализах. Идеально подходит для РФА, геологии, химии и многого другого.
Лабораторная горизонтальная мельница с десятью корпусами для лабораторного использования
Горизонтальная мельница с десятью корпусами предназначена для 10 шаровых мельниц (объемом 3000 мл или менее). Она оснащена частотным преобразователем, резиновыми роликами и защитным кожухом из полиэтилена.
Высокоэнергетическая всенаправленная планетарная шаровая мельница для лаборатории
KT-P4000E — это новый продукт, разработанный на основе вертикальной высокоэнергетической планетарной шаровой мельницы с функцией поворота на 360°. Получите более быстрые, однородные и мелкие результаты измельчения образцов с помощью 4 шаровых мельниц объемом ≤1000 мл.
Лабораторная однобарабанная горизонтальная мельница
KT-JM3000 — это прибор для смешивания и измельчения, предназначенный для установки шаровой мельницы объемом 3000 мл или менее. Он использует частотное преобразование для реализации функций таймера, постоянной скорости, изменения направления, защиты от перегрузки и других функций.
Дисковая вибрационная мельница с мультиплатформой для лаборатории
Мультиплатформенная вибрационная дисковая мельница подходит для неразрушающего дробления и тонкого измельчения образцов с крупными частицами. Она подходит для дробления и измельчения среднетвердых, очень твердых, хрупких, волокнистых и эластичных материалов.
Связанные статьи
Прогресс в области микроволнового плазмохимического осаждения из паровой фазы для получения крупнокристаллического алмаза
В этой статье рассматриваются достижения и проблемы, связанные с получением монокристаллических алмазов большого размера с помощью методов микроволнового плазмохимического осаждения из паровой фазы (MPCVD).
Руководство для начинающих по машинам MPCVD
MPCVD (микроволновое плазменное химическое осаждение из паровой фазы) — это процесс, используемый для осаждения тонких пленок материала на подложку с использованием плазмы, генерируемой микроволнами.
Понимание MPCVD: Исчерпывающее руководство по микроволновому плазмохимическому осаждению из паровой фазы
Глубокое исследование технологии MPCVD, ее компонентов, преимуществ и факторов, влияющих на рост пленки.
Как получить монокристаллический алмаз высокого качества с помощью MPCVD
Микроволновое плазмохимическое осаждение из газовой фазы (MPCVD) является популярным методом получения высококачественных монокристаллов алмаза.
Культивированный алмаз MPCVD совершает революцию в отрасли
Рассматривается влияние MPCVD-культивированных алмазов на различные отрасли промышленности и стратегии снижения затрат и повышения эффективности.
Комплексное руководство по MPCVD: синтез алмазов и их применение
Изучите основы, преимущества и применение микроволнового плазменного химического осаждения из паровой фазы (MPCVD) в синтезе алмазов. Узнайте о его уникальных возможностях и о его сравнении с другими методами выращивания алмазов.
Процесс изготовления CVD-алмаза на машине MPCVD
Алмазные станки CVD приобрели большое значение в различных отраслях промышленности и научных исследованиях.
Достижения в системах MPCVD для монокристаллических алмазов большого размера
Достижения в системах MPCVD позволили производить более крупные и высококачественные монокристаллические алмазы, предлагая многообещающий потенциал для будущих применений.
Преимущества, ограничения и управление процессом технологии химического осаждения из паровой фазы (CVD)
Рассматриваются преимущества, ограничения и управление процессом при использовании технологии CVD для нанесения покрытий на поверхность.
Сравнение химического осаждения из паровой фазы и физического осаждения из паровой фазы
Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) VS физическое осаждение из паровой фазы (PVD)
Углубленное изучение покрытий химического осаждения из паровой фазы (CVD)
Всестороннее исследование технологии CVD, ее принципов, характеристик, классификации, новых достижений и применения в различных областях.
Всеобъемлющий обзор 12 типов технологий химического осаждения из паровой фазы (CVD)
Изучите различные методы CVD, от плазменного усиления до сверхвысокого вакуума, и их применение в полупроводниковой промышленности и материаловедении.