При термическом испарении PVD исходный материал испаряется путем нагрева до высокой температуры в вакуумной среде. Затем испаренный материал движется по прямой траектории (по прямой видимости) к подложке, где он конденсируется, образуя тонкую пленку. Этот процесс характеризуется минимальными помехами и загрязнениями, поскольку вакуумная среда уменьшает присутствие газообразных загрязняющих веществ.
- Нагрев исходного материала: Исходный материал нагревается до достаточно высокой температуры, обычно с помощью спирали из вольфрамовой проволоки или высокоэнергетического электронного пучка. В результате материал испаряется, создавая поток пара.
- Вакуумная среда: Процесс проводится в высоковакуумной среде с давлением газа от 0,0013 Па до 1,3 × 10^-9 Па. Это гарантирует, что испаряемые атомы будут перемещаться от источника к подложке практически без столкновений, что сводит к минимуму загрязнение и помехи.
- Перенос паров и конденсация: Испаренный материал движется по прямой траектории (по прямой видимости) к подложке, где конденсируется, образуя тонкую пленку. Вакуумная среда играет решающую роль в предотвращении загрязнения формируемого покрытия.
- Скорость осаждения: Скорость удаления массы из исходного материала за счет испарения увеличивается с ростом давления пара, которое, в свою очередь, увеличивается с ростом приложенного тепла. Для достижения достаточно высокой скорости осаждения в производственных целях необходимо давление пара более 1,5 Па.
В целом, термическое испарение - это щадящий метод PVD с низким энергопотреблением, обеспечивающий энергию испаряемых частиц около 0,12 эВ (1500 К). Это относительно простой процесс по сравнению с другими методами PVD, такими как осаждение напылением или дуговое осаждение.
Откройте для себя точность и чистоту современных систем термического испарения KINTEK SOLUTION для PVD-приложений! Наши передовые технологии обеспечивают минимальное загрязнение и оптимальное качество тонких пленок, что делает нас надежным партнером в индустрии PVD. Повысьте уровень своих исследований и производства с помощью передовых решений KINTEK SOLUTION уже сегодня!
