Напряжение распыления магнетрона обычно составляет около -300 В.
Это напряжение прикладывается к мишени в системе магнетронного распыления.
Магнетронное распыление - это метод физического осаждения из паровой фазы, используемый для нанесения тонких пленок из твердого материала мишени на подложку.
Что такое напряжение распыления в магнетроне? (5 ключевых моментов)
1. Применение напряжения
Когда питание подается на магнетрон, к мишени прикладывается отрицательное напряжение, обычно около -300 В.
Это напряжение является отрицательным по отношению к окружающей плазменной среде, которая поддерживается при более высоком положительном потенциале.
2. Притяжение ионов
Отрицательное напряжение на мишени притягивает положительные ионы из плазмы.
Эти ионы обычно представляют собой ионы аргона в системе напыления, которые образуются в результате ионизации газа аргона в вакуумной камере.
3. Передача энергии и напыление
Когда эти положительные ионы сталкиваются с поверхностью мишени, они передают энергию.
Если переданная энергия превышает примерно в три раза поверхностную энергию связи материала мишени (примерно равную теплоте сублимации), атомы с поверхности мишени выбрасываются, и этот процесс называется напылением.
4. Стабильность и эффективность плазмы
Электроны в плазме проходят большее расстояние под действием магнитного поля, что увеличивает вероятность ионизации большего количества атомов аргона и поддерживает стабильную плазму с высокой плотностью ионов.
Такая эффективная ионизация позволяет процессу напыления работать при более низком давлении (около 100 Па) и более низком напряжении (около -500 В) по сравнению с обычным напылением, которое может потребовать более высокого напряжения (от -2 кВ до 3 кВ) и более низкого давления (около 10 Па).
5. Преимущества работы при низком напряжении
Работа при более низких напряжениях (менее 1000 В) и высоких токах при магнетронном распылении более эффективна, чем при диодном распылении постоянного тока.
Эта эффективность обусловлена тем, что магнитное поле удерживает электроны вблизи мишени, повышая ионизацию и, следовательно, скорость осаждения.
Более низкое напряжение также делает дугу менее сильной и более легкой в обращении, что очень важно для поддержания целостности процесса осаждения и качества осажденных пленок.
В целом, напряжение распыления в магнетронной установке имеет решающее значение для начала и поддержания процесса распыления, и обычно составляет около -300 В.
Такое напряжение способствует эффективному выбросу атомов материала мишени, что приводит к осаждению тонких пленок с контролируемыми свойствами.
Продолжайте исследовать, проконсультируйтесь с нашими специалистами
Откройте для себя передовые возможности KINTEK SOLUTION в области технологии магнитного напыления!
Наши системы оптимизированы для точности и эффективности, обеспечивая напряжение напыления около -300 В для достижения высококачественного осаждения тонких пленок.
Благодаря передовым разработкам и инновационным конфигурациям магнитного поля мы повышаем стабильность плазмы и передачу энергии, обеспечивая непревзойденную производительность напыления.
Почувствуйте разницу с KINTEK SOLUTION - где инновации сочетаются с надежностью для превосходного производства тонких пленок.
Узнайте больше о наших системах магнетронного распыления и повысьте эффективность процесса осаждения материалов уже сегодня!
