Микроволновое плазмохимическое осаждение из паровой фазы (MPCVD) - метод синтеза алмазных пленок.
Он предполагает использование микроволнового излучения для генерации высокоэнергетической плазмы в реакторной камере.
Плазма состоит из смеси электронов, атомных ионов, молекулярных ионов, нейтральных атомов, молекул и молекулярных фрагментов в основном и возбужденном состояниях.
Основным путем образования реактивных газообразных предшественников/фрагментов в плазме является диссоциация электронного удара.
Объяснение 4 ключевых моментов
1. Процесс MPCVD
В процессе MPCVD углеродсодержащий газ, например метан, вводится в реакторную камеру вместе с другими газами, такими как водород, кислород или атомы фтора.
Микроволновый генератор, обычно магнетрон или клистрон, генерирует микроволны в диапазоне 2,45 ГГц, которые соединяются с вакуумной камерой через кварцевое окно.
Система подачи газа, состоящая из контроллеров массового расхода (MFC), управляет потоком газа в вакуумную камеру.
2. Генерация и реакция плазмы
При возбуждении микроволновым излучением газовая смесь подвергается тлеющему разряду в реакционной камере, что приводит к молекулярной диссоциации реакционного газа и генерации плазмы.
Плазма вступает в реакцию или разлагается на поверхности подложки, образуя осадок алмазной пленки.
В результате процесса осаждения образуются высококачественные алмазные пленки с большой площадью, хорошей однородностью, высокой чистотой и хорошей кристаллической морфологией.
3. Преимущества MPCVD
К преимуществам MPCVD относится возможность получения монокристаллических алмазов большого размера и образование больших и стабильных плазменных шаров в камере осаждения, что позволяет осаждать алмазные пленки на большой площади.
Метод микроволновой плазмы также обеспечивает превосходный контроль над процессом осаждения по сравнению с другими методами, такими как метод пламени.
4. Высококачественные алмазные пленки
В целом, MPCVD - это метод, использующий плазму, индуцированную микроволнами, и реактивные газообразные прекурсоры для осаждения алмазных пленок с высоким качеством и специфическими свойствами.
Продолжайте исследовать, обратитесь к нашим экспертам
Ищете высококачественный синтез алмазных пленок? Откройте для себя возможности микроволнового плазмохимического осаждения из паровой фазы (MPCVD) вместе с KINTEK!
Наше передовое оборудование и технология обеспечивают большие площади, хорошую однородность, высокую чистоту и отличную морфологию кристаллов.
Попрощайтесь с устаревшими методами и раскройте потенциал MPCVD для ваших потребностей в алмазных пленках.
Свяжитесь с нами сегодня для получения дополнительной информации и совершите революцию в процессе осаждения алмазов!
