Осаждение металлов из паровой фазы - это процесс, используемый для нанесения тонких слоев металла на подложку, как правило, в вакууме. В ходе этого процесса металл переводится в парообразное состояние, а затем конденсируется на поверхности подложки, образуя тонкую пленку. Существует два основных типа осаждения из паровой фазы: физическое осаждение из паровой фазы (PVD) и химическое осаждение из паровой фазы (CVD).
Физическое осаждение из паровой фазы (PVD):
При PVD металл возбуждается в результате термодинамических или электромеханических процессов, что заставляет его выделять определенные молекулы в виде пара. Этот пар затем осаждается на подложку. К распространенным методам PVD относятся вакуумное термическое испарение, напыление и электронно-лучевое осаждение. Вакуумное термическое испарение предполагает нагрев металла до температуры кипения в вакууме, что приводит к его испарению и осаждению на подложку. Осаждение напылением предполагает бомбардировку мишени из металла высокоэнергетическими частицами, в результате чего атомы выбрасываются и осаждаются на подложке. Электронно-лучевое осаждение использует электронный луч для нагрева металла, в результате чего он испаряется и осаждается на подложку.Химическое осаждение из паровой фазы (CVD):
В процессе CVD происходит химическая реакция, в результате которой образуется паровая фаза металла. Химические вещества, используемые в этом процессе, разлагаются на поверхности подложки, осаждая металлическую пленку. CVD позволяет точно контролировать фазу и структуру осажденной пленки, что делает его универсальным для различных применений.
Области применения:
Осаждение металлов из паровой фазы используется в широком спектре приложений, включая производство полупроводников, оптоволоконные системы, промышленные лазерные системы, медицинскую электронику, биомедицинские устройства, передовые оптические и визуализирующие приложения, а также различную бытовую, коммерческую и промышленную электронику.Преимущества:
Преимущества систем осаждения из паровой фазы заключаются в возможности точного контроля процесса осаждения, способности производить большое количество тонких пленок, а также в относительной простоте настройки и использования. Это делает осаждение из паровой фазы привлекательным вариантом как для крупномасштабных промышленных приложений, так и для малого бизнеса.
