Техническая команда · Kintek Solution

Частота радиочастот для напыления обычно составляет 13,56 МГц. Эта частота выбрана по нескольким причинам:

1. Совместимость с диапазонами ISM: Частота 13,56 МГц входит в промышленный, научный и медицинский (ISM) радиодиапазон, который зарезервирован во всем мире для некоммерческого использования с целью предотвращения помех телекоммуникационным службам. Такая стандартизация позволяет широко и последовательно использовать технологию радиочастотного напыления без конфликтов с регулирующими органами.

2. Эффективное взаимодействие ионов: Частота 13,56 МГц достаточно низкая, чтобы обеспечить достаточное время для передачи импульса ионов аргона материалу мишени во время каждого цикла. Это очень важно для эффективного напыления, поскольку ионы имеют достаточно времени для удара о мишень и вытеснения частиц, но не слишком быстро, чтобы эффективно взаимодействовать.

3. Колебания электронов и скорость плазмы: Частота также достаточно высока, чтобы электроны могли колебаться в плазме, что приводит к высокой плотности плазмы. Такая высокая скорость плазмы позволяет использовать более низкие рабочие давления (от 10^-1 до 10^-2 Па), что может привести к осаждению тонких пленок с различными микроструктурами по сравнению с теми, которые получаются при более высоких давлениях.

4. Предотвращение накопления заряда: При радиочастотном напылении переменный электрический потенциал помогает предотвратить накопление заряда на материале мишени, особенно для изоляционных материалов. Это очень важно, поскольку накопление заряда может привести к возникновению дуги и другим проблемам контроля качества в процессе напыления.

Таким образом, использование частоты 13,56 МГц для радиочастотного напыления обусловлено оптимальным балансом между эффективной ионной бомбардировкой и предотвращением накопления электрического заряда на мишени, при этом соблюдая международные правила использования радиочастот. Эта частота особенно эффективна для напыления как проводящих, так и непроводящих материалов, что делает ее универсальной и широко используемой методикой осаждения тонких пленок.

Откройте для себя превосходную эффективность и надежность оборудования для радиочастотного напыления компании KINTEK SOLUTION, разработанного для обеспечения точности и высочайшей производительности. С нашей технологией 13,56 МГц вы добьетесь оптимальных результатов осаждения тонких пленок на проводящих и непроводящих материалах, соблюдая при этом глобальные стандарты ISM-диапазона. Раскройте весь потенциал обработки тонких пленок уже сегодня и повысьте свои исследовательские и производственные возможности с помощью KINTEK SOLUTION. Узнайте больше о наших передовых системах радиочастотного напыления и о том, почему они являются предпочтительным выбором в отрасли для получения высококачественных тонких пленок.