Частота радиочастот для напыления обычно составляет 13,56 МГц.
Эта частота выбирается по нескольким причинам.
1. Совместимость с ISM-диапазонами
Частота 13,56 МГц входит в промышленный, научный и медицинский (ISM) радиодиапазон.
Эти диапазоны зарезервированы во всем мире для некоммерческого использования с целью предотвращения помех телекоммуникационным службам.
Такая стандартизация позволяет широко и последовательно использовать технологию радиочастотного напыления без конфликтов с регулирующими органами.
2. Эффективное взаимодействие ионов
Частота 13,56 МГц достаточно низкая, чтобы обеспечить достаточное время для передачи импульса ионов аргона материалу мишени в течение каждого цикла.
Это очень важно для эффективного напыления, поскольку ионы имеют достаточно времени для удара о мишень и вытеснения частиц, но не слишком быстро, чтобы эффективно взаимодействовать.
3. Колебания электронов и скорость плазмы
Частота также достаточно высока, чтобы электроны могли колебаться в плазме, что приводит к высокой плотности плазмы.
Такая высокая скорость плазмы позволяет использовать более низкие рабочие давления (от 10^-1 до 10^-2 Па), что может привести к осаждению тонких пленок с другой микроструктурой по сравнению с теми, которые получаются при более высоких давлениях.
4. Предотвращение накопления заряда
При ВЧ-напылении переменный электрический потенциал помогает предотвратить накопление заряда на материале мишени, особенно для изоляционных материалов.
Это очень важно, поскольку накопление заряда может привести к возникновению дуги и другим проблемам контроля качества в процессе напыления.
Таким образом, использование частоты 13,56 МГц для радиочастотного напыления обусловлено оптимальным балансом между эффективной ионной бомбардировкой и предотвращением накопления электрического заряда на мишени, при этом соблюдая международные правила использования радиочастот.
Эта частота особенно эффективна для напыления как проводящих, так и непроводящих материалов, что делает ее универсальной и широко используемой методикой осаждения тонких пленок.
Продолжайте исследовать, проконсультируйтесь с нашими специалистами
Откройте для себя превосходную эффективность и надежностьоборудования для радиочастотного напыления KINTEK SOLUTION-Спроектированное с высокой точностью и рассчитанное на максимальную производительность.
С нашей технологией 13,56 МГц вы добьетесь оптимальных результатов осаждения тонких пленок на проводящих и непроводящих материалах, соблюдая при этом глобальные стандарты ISM-диапазона.
Раскройте весь потенциал обработки тонких пленок уже сегодня и повысьте свои исследовательские и производственные возможности с помощьюРЕШЕНИЕ KINTEK.
Узнайте больше о наших передовых системах радиочастотного напыления и о том, почему они являются предпочтительным выбором в отрасли для получения высококачественных тонких пленок.
