К распространенным методам осаждения металлов относятся термическое испарение, химическое осаждение и напыление.
Термическое испарение:
Этот метод предполагает использование электрического резистивного нагревателя для расплавления материала для осаждения в высоком вакууме. Материал нагревается до тех пор, пока не испарится, а затем конденсируется на подложке, образуя тонкую пленку. Альтернативой этому методу является использование электронно-лучевого испарителя, который может расплавлять материалы непосредственно на подложке. Эта техника подходит для широкого спектра металлов и сплавов.Химическое осаждение:
В этом методе подложка полностью погружается в химическую жидкость, в результате чего на ее поверхности осаждается конформное покрытие. Этот метод особенно полезен для металлов и оксидов. Металлы предпочитают за их прочность и долговечность, в то время как оксиды выбирают за их способность выдерживать высокие температуры и осаждать их при относительно низких температурах. Однако хрупкость оксидов иногда ограничивает их применение.
Напыление:
