Процесс обработки поверхности напылением - это метод физического осаждения из паровой фазы (PVD). Он включает в себя выброс атомов из твердого материала мишени. Затем эти атомы осаждаются на подложку в виде тонкого пленочного покрытия. В процессе используется газообразная плазма, которая представляет собой частично ионизированный газ.
Что такое процесс обработки поверхности напылением? Объяснение 7 основных этапов
1. Подготовка вакуумной камеры
Устанавливается вакуумная камера. Материал покрытия (катод) и подложка (анод) помещаются в эту камеру.
2. Ввод инертного газа
В камеру вводится инертный газ, например аргон, неон или криптон. Этот газ образует плазму, необходимую для процесса напыления.
3. Ионизирование газа
Источник питания подает разность потенциалов или электромагнитное возбуждение, чтобы ионизировать атомы газа. Это придает им положительный заряд.
4. Привлечение положительных ионов
Положительно заряженные ионы газа притягиваются к отрицательно заряженному материалу мишени. Эти ионы сталкиваются с поверхностью мишени, передают ей свою энергию и вызывают выброс атомов из материала мишени.
5. Выброшенные атомы в нейтральном состоянии
Выброшенные атомы из материала мишени находятся в нейтральном состоянии. Они проходят через вакуумную камеру.
6. Осаждение тонкой пленки
Нейтральные атомы оседают на поверхности подложки, образуя тонкопленочное покрытие. Напыленная пленка отличается превосходной однородностью, плотностью, чистотой и адгезией.
7. Управление скоростью напыления
Скорость напыления - скорость выброса атомов из мишени и их осаждения на подложку - зависит от различных факторов. К ним относятся сила тока, энергия пучка и физические свойства материала мишени.
Напыление широко используется в различных отраслях промышленности для обработки поверхности и осаждения тонких пленок. Обычно оно используется для нанесения тонких пленок на полупроводники, компакт-диски, дисководы и оптические устройства. Методика позволяет получать сплавы и соединения точного состава методом реактивного напыления. Полученные пленки обладают превосходными свойствами и могут применяться в различных областях.
Продолжайте поиск, обратитесь к нашим специалистам
Ищете высококачественное оборудование для напыления для обработки поверхностей? Обратите внимание на KINTEK! Наши современные системы напыления обеспечивают превосходную однородность, плотность, чистоту и адгезию при нанесении тонких пленок на подложки. Если вы работаете в сфере производства полупроводников, компакт-дисков, дисководов или оптических устройств, наше оборудование разработано с учетом ваших требований. Усовершенствуйте свои процессы обработки поверхности с помощью KINTEK.Свяжитесь с нами сегодня, чтобы получить консультацию!
