Основное различие между магнетронным распылением постоянного тока и радиочастотным распылением заключается в типе напряжения, подаваемого на мишень, и их применимости к различным типам материалов.
Магнетронное распыление постоянного тока:
При магнетронном распылении постоянного тока к мишени прикладывается постоянное напряжение постоянного тока. Этот метод подходит для проводящих материалов, поскольку предполагает прямую ионную бомбардировку газовой плазмы электронами. Процесс обычно протекает при повышенном давлении, поддерживать которое бывает непросто. Напряжение, необходимое для напыления постоянным током, составляет от 2 000 до 5 000 вольт.Радиочастотное магнетронное распыление:
В радиочастотном магнетронном напылении используется переменное напряжение на радиочастотах (обычно 13,56 МГц). Этот метод особенно подходит для непроводящих или изолирующих материалов, поскольку он предотвращает накопление заряда на поверхности мишени, что может происходить при распылении на постоянном токе. Использование радиочастот позволяет работать при более низком давлении благодаря высокой доле ионизированных частиц в вакуумной камере. Напряжение, необходимое для радиочастотного напыления, обычно составляет 1 012 вольт или выше, что необходимо для обеспечения той же скорости осаждения, что и при напылении постоянным током. Такое высокое напряжение необходимо потому, что при радиочастотном напылении используется кинетическая энергия для удаления электронов с внешних оболочек атомов газа, а не прямая бомбардировка ионами.
Выводы:
