Под повреждением при напылении понимается деградация или изменение поверхности подложки в процессе напыления, в основном из-за бомбардировки высокоэнергетическими видами. Такое повреждение особенно актуально при осаждении прозрачных электродов на оптоэлектронные устройства.
Реферат на тему Повреждения при напылении:
Повреждение напылением происходит, когда подложка бомбардируется энергичными частицами в процессе напыления. Эти частицы, обычно ионы, сталкиваются с подложкой с энергией, достаточной для смещения атомов или возникновения структурных изменений, что приводит к деградации поверхности или нарушению функциональности.
-
Подробное объяснение:
- Вовлечение энергетических видов:
- Во время напыления высокоэнергетические ионы из плазмы сталкиваются с материалом мишени, вызывая выброс атомов. Эти выброшенные атомы затем оседают на подложке, образуя тонкую пленку. Однако некоторые из этих энергичных ионов также непосредственно воздействуют на подложку.
-
Основными видами, вызывающими повреждения при напылении, обычно являются ионы из плазмы, например ионы аргона в случае аргоновой плазмы, используемой для напыления осадка. Эти ионы обладают энергией, которая может превышать энергию связи материала подложки, что приводит к смещению или повреждению атомов.
- Механизм повреждения:
- Когда эти энергичные ионы ударяются о подложку, они могут передать атомам подложки энергию, достаточную для преодоления сил сцепления, удерживающих их на месте. Это приводит к смещению атомов подложки, образованию дефектов, таких как вакансии, интерстиции, или даже к более сложным структурным изменениям.
-
Повреждения могут также включать в себя попадание газа из плазмы на поверхность подложки, что приводит к образованию примесей или изменению химического состава поверхностного слоя.
- Влияние на оптоэлектронные устройства:
- В контексте осаждения прозрачных электродов повреждение напылением может существенно повлиять на оптические и электрические свойства устройства. Например, оно может привести к увеличению оптического поглощения, снижению прозрачности или изменению электропроводности.
-
Повреждение также может повлиять на адгезию осажденной пленки к подложке, что может привести к расслоению или другим механическим повреждениям.
- Предотвращение и уменьшение последствий:
- Для минимизации повреждений при распылении можно использовать различные методы, такие как регулировка энергии и потока падающих ионов, использование защитных покрытий или отжиг после осаждения для устранения некоторых повреждений.
Правильный контроль параметров процесса напыления, таких как выбор плазмообразующего газа, давления и расстояния от мишени до подложки, также может помочь в снижении степени повреждения напылением.Обзор и исправление:
