Плазма при напылении создается с помощью процесса, называемого ионизацией газа.
При этом в вакуумную камеру вводится инертный газ низкого давления, обычно аргон.
Затем к газу прикладывается высокое напряжение, ионизируя атомы и создавая плазму.
Необходимое напряжение зависит от используемого газа и его давления. Для ионизации аргона обычно требуется около 15,8 электрон-вольт (эВ).
Как создается плазма при напылении: 5 основных этапов
1. Введение инертного газа
На первом этапе в вакуумную камеру вводится инертный газ низкого давления, обычно аргон.
2. Применение высокого напряжения
К газу прикладывается высокое напряжение, которое ионизирует атомы и создает плазму.
3. Генерация плазмы вблизи материала мишени
Генерация плазмы имеет решающее значение для процесса напыления, поскольку она позволяет бомбардировать материал мишени ионами газа.
Когда плазма генерируется вблизи материала мишени, ионы газа сталкиваются с поверхностью мишени, выбивая атомы с поверхности и заставляя их выбрасываться в газовую фазу.
4. Выброс и перемещение атомов
Выброшенные атомы проходят через напыляющий газ низкого давления и достигают подложки, где конденсируются и образуют тонкую пленку.
5. Формирование тонкой пленки
Эффективность процесса напыления, характеризуемая количеством атомов мишени, выбрасываемых на один падающий ион, зависит от нескольких факторов, включая массу ионов, угол падения, атомы мишени и энергию падающих ионов.
Выход напыления, который варьируется для различных условий напыления и материалов мишени, является ключевым параметром, определяющим эффективность процесса.
Продолжайте исследовать, обратитесь к нашим специалистам
Откройте для себя передовые решения для ваших потребностей в напылении и осаждении тонких пленок с помощью KINTEK SOLUTION.
Наши передовые системы генерации плазмы, точно настроенные на оптимальную производительность напыления и скорость осаждения, предназначены для повышения эффективности и качества ваших исследовательских и производственных процессов.
Повысьте уровень плазменно-парового осаждения с помощью KINTEK SOLUTION - где инновации сочетаются с точностью.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать, как наши технологии могут революционизировать ваши тонкопленочные приложения!
