Скорость утечки вакуума измеряется путем отключения вакуумной камеры от системы откачки и наблюдения за изменением уровня вакуума в течение определенного периода времени. Скорость утечки обычно выражается в микронах в час.
Процесс измерения:
- Первоначальная откачка: Сначала печь откачивается до определенного уровня вакуума, обычно 1 x 10^-4 торр или выше. Этот шаг обеспечивает базовый вакуум в системе перед изоляцией.
- Изоляция: Затем система откачки изолируется от камеры печи. Для этого закрываются все вакуумные клапаны, чтобы предотвратить дальнейшее действие откачки.
- Контроль уровня вакуума: Уровень вакуума регистрируется через определенное время, обычно через 30 минут и еще раз через 60 минут. Этот интервал позволяет обнаружить любое повышение давления из-за утечек.
- Расчет скорости утечки: Интенсивность утечки рассчитывается путем сравнения зарегистрированных уровней вакуума. Разница в показаниях давления за определенный период времени используется для определения скорости утечки в микронах в час. Например, если давление повышается с 1 x 10^-4 торр до 1,0001 x 10^-4 торр за 60 минут, скорость утечки составит (1,0001 - 1) x 10^4 микрон в час.
Важность и критерии приемлемости:
- Критические применения: Для критических применений, таких как обработка суперсплавов или реактивных металлов, скорость утечки менее 5 микрон/час является обязательной для обеспечения целостности и качества обрабатываемых материалов.
- Нормальное применение: Для обычных вакуумных применений скорость утечки не должна превышать 10-20 микрон/час. Более высокая скорость утечки может привести к значительному увеличению остаточного содержания кислорода, что может негативно повлиять на процесс термообработки.
- Регулярные проверки: Регулярные проверки скорости утечки рекомендуются для поддержания целостности системы и предотвращения проблем, связанных с плохими результатами термообработки из-за повышенного содержания кислорода.
Методическая точность:
Описанный метод обеспечивает точное измерение скорости утечки путем изоляции системы и стабилизации давления, что напрямую отражает скорость утечки воздуха в камеру. Этот метод имеет решающее значение для поддержания эффективности и результативности работы вакуумных печей, обеспечивая соответствие оборудования необходимым техническим характеристикам для различных применений.
