Частота импульсного напыления постоянным током означает скорость подачи скачков напряжения на материал мишени в процессе напыления. Эти скачки напряжения обычно устанавливаются на частоте от 40 до 200 кГц.
Пояснение:
-
Назначение импульсного напыления постоянным током:
-
Импульсное напыление постоянным током предназначено для очистки поверхности мишени и предотвращения накопления диэлектрического заряда. Это очень важно для поддержания эффективности и результативности процесса напыления. Благодаря мощным скачкам напряжения поверхность мишени эффективно очищается, что способствует непрерывному выбросу атомов мишени для осаждения.Диапазон частот:
-
Частота скачков напряжения не произвольна, а задается в определенном диапазоне, обычно от 40 до 200 кГц. Этот диапазон выбирается для оптимизации очищающего эффекта скачков напряжения на поверхности мишени, не вызывая чрезмерного износа или повреждения материала мишени. Частота определяет, как часто меняется полярность напряжения, подаваемого на мишень, что, в свою очередь, влияет на скорость очистки поверхности мишени.
-
Влияние на процесс напыления:
Частота импульсного напыления постоянным током играет значительную роль в динамике процесса напыления. При более высокой частоте эффект очистки происходит чаще, что может привести к более стабильному и эффективному процессу напыления. Однако если частота слишком высока, это может привести к излишнему износу материала мишени. И наоборот, при более низкой частоте очистка может быть не столь эффективной, что может привести к накоплению диэлектрического материала на поверхности мишени, что может помешать процессу напыления.
Режимы работы:
