Блог Технология получения и переноса графена методом химического осаждения из паровой фазы
Технология получения и переноса графена методом химического осаждения из паровой фазы

Технология получения и переноса графена методом химического осаждения из паровой фазы

4 недели назад

Введение в графен и методы его получения

Историческая справка и открытие графена

Изучение углеродных наноматериалов уже давно находится в центре внимания научного сообщества, особенно после открытия фуллеренов и углеродных нанотрубок. Среди этих материалов графен выделяется как уникальный и интригующий двумерный изомер. Изначально графен считался термодинамически нестабильным из-за своей планарной структуры, что противоречило общепринятым представлениям об ограниченности возможностей связи углерода.

Однако в 2004 году новаторский эксперимент, проведенный в Манчестерском университете, поставил под сомнение это предположение. Ученые Андре Гейм и Константин Новоселов успешно выделили высококачественный графен, отшелушив чешуйки из высокоориентированного пиролитического графита (HOPG) с помощью клейкой ленты. Этот простой, но гениальный метод, известный как "техника скотча", продемонстрировал, что графен не только существует, но и может быть получен в стабильной и высококачественной форме.

Это открытие стало поворотным моментом в области материаловедения и принесло Гейму и Новоселову Нобелевскую премию по физике в 2010 году. Их работа не только подтвердила существование графена, но и открыла новые возможности для исследований и применения, вызвав всплеск интереса к разработке передовых материалов на основе углерода.

Графен

Обзор методов получения графена

Существует несколько методов получения графена, каждый из которых имеет свои преимущества и ограничения в отношении качества, выхода и масштабируемости продукта. Эти методы включают в себя ленточное отшелушивание, химическое отшелушивание, эпитаксиальный рост SiC и химическое осаждение из паровой фазы (CVD).

  • Ленточное отшелушивание: Этот метод предполагает физическое отслаивание слоев графена от объемного графита с помощью клейкой ленты, что сыграло важную роль в первоначальном открытии графена. Однако его применение ограничено низким выходом и невозможностью получения больших количеств.

  • Химическое отшелушивание: Этот процесс предполагает использование растворителей и энергии для отделения графеновых слоев от графита. Хотя этот процесс позволяет получать высококачественный графен, выход обычно невелик, и для выделения монослоя и нескольких слоев графена требуется последующее центрифугирование.

  • Эпитаксиальный рост SiC: Этот метод основан на термическом разложении подложек из карбида кремния (SiC) в условиях сверхвысокого вакуума. Хотя этот метод позволяет получать высококачественный графен, его применение сдерживается высокой стоимостью и необходимостью значительного количества SiC, что делает крупномасштабное производство проблематичным.

  • Химическое осаждение из паровой фазы (CVD): CVD считается наиболее эффективным и масштабируемым методом получения графена на больших площадях. Он включает в себя разложение углеводородных газов на металлических подложках, таких как медь или никель, для формирования графеновых слоев. Медь особенно предпочтительна в качестве подложки из-за ее способности поддерживать исключительно монослойное осаждение графена. Переходные металлы, такие как кобальт, никель и медь, были широко изучены на предмет их пригодности для CVD-процессов, хотя другие металлы пока не могут сравниться с ними в плане стоимости, качества и возможности переноса.

Каждый из этих методов вносит свой уникальный вклад в процесс получения графена, предлагая целый спектр решений, подходящих для различных областей применения и масштабов производства.

Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) для получения графена

Принципы и механизмы CVD

Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) - это сложная технология, которая заключается в высокотемпературном разложении углеродсодержащих соединений для выращивания графена на различных подложках. Этот процесс играет ключевую роль в синтезе высококачественного графена, что необходимо для его многочисленных применений в различных областях. Процесс CVD можно разделить на два основных механизма: осаждение карбюризации и поверхностный рост, каждый из которых адаптирован к различным материалам подложки.

Механизм осаждения науглероживания: В этом механизме материал подложки играет решающую роль в формировании графена. Высокие температуры вызывают разложение углеродсодержащих прекурсоров, что приводит к осаждению атомов углерода на подложку. Затем эти атомы углерода диффундируют и объединяются, образуя графеновые слои. Этот метод особенно эффективен для подложек, способных выдерживать высокие температуры и обеспечивающих стабильную платформу для агрегации атомов углерода.

Механизм поверхностного роста: Поверхностный механизм роста, с другой стороны, фокусируется на взаимодействии между углеродными прекурсорами и поверхностью подложки. Здесь химический состав и топография поверхности подложки существенно влияют на процесс роста. Атомы углерода из разложенных прекурсоров взаимодействуют с поверхностью подложки, образуя графеновые слои в результате ряда поверхностных реакций и перестроек. Этот механизм часто используется для подложек, требующих более низких температур обработки или обладающих специфическими свойствами поверхности, способствующими росту графена.

Выбор механизма зависит от нескольких факторов, включая тип материала подложки, желаемое качество графена и конкретные требования к применению. Понимание этих принципов и механизмов необходимо для оптимизации CVD-процесса, чтобы добиться высококачественного и масштабируемого производства графена.

Метод химического осаждения графена из паровой фазы

Достижения в технологиях CVD-выращивания

Последние достижения в области методов химического осаждения из паровой фазы (CVD) позволили значительно повысить качество и масштабируемость производства графена. Эти улучшения в значительной степени связаны с освоением различных источников углерода, подложек для роста и оптимизацией условий роста. Например, использование медной (Cu) фольги оказалось эффективным для получения монослоя графена большой площади, что очень важно для промышленных применений.

Заметным событием стало использование альтернативных газов-прекурсоров, таких как металлоорганические каркасы (MOFs) и металлоорганическое химическое осаждение из паровой фазы (MOCVD). MOF, известные своей пористой структурой, могут использоваться для хранения и разделения газов, а MOCVD расширяет возможности CVD за счет использования металлоорганических соединений в качестве газов-предшественников. Эта инновация особенно перспективна для производства передовых материалов, таких как полупроводники III-V.

Кроме того, интеграция передовых систем управления произвела революцию в процессе CVD. Системы управления с обратной связью позволяют в режиме реального времени контролировать и регулировать расход газов-прекурсоров и температуру в реакционной камере. Такой динамический контроль обеспечивает однородность и качество осаждаемых пленок, минимизирует отходы материалов и повышает эффективность процесса. Эти технологические скачки не только совершенствуют существующие CVD-методики, но и открывают путь к будущим инновациям в производстве графена.

Технология переноса графена

Важность и проблемы переноса графена

Перенос графена с растущей подложки на целевую подложку - важнейший шаг в его применении и определении характеристик. Этот процесс необходим для использования уникальных свойств графена в различных областях, включая электронику, оптику и композиты. Однако в процессе переноса возникает ряд проблем, которые необходимо решить, чтобы обеспечить целостность и функциональность перенесенного графена.

Одной из основных проблем является сохранение структурной целостности графена во время переноса. Графен - хрупкий материал, который легко повредить механическими нагрузками, что приводит к образованию трещин, отверстий и морщин. Эти дефекты не только ухудшают характеристики материала, но и препятствуют его интеграции в функциональные устройства. Поэтому идеальный перенос должен обеспечивать непрерывность графеновой пленки без подобных механических повреждений.

Еще одна важная задача - избежать загрязнения в процессе переноса. Графен, выращенный на металлических подложках, часто требуется перенести на неметаллические подложки для применения. Однако в процессе переноса могут появиться остатки и примеси, такие как ионы металлов или органические загрязнения, которые могут изменить электронные свойства графена. Убедиться в том, что перенесенный графен остается чистым и свободным от таких загрязнений, очень важно для сохранения его внутренних свойств.

Для решения этих задач было разработано несколько методов переноса, каждый из которых имеет свой набор преимуществ и ограничений. Эти методы можно разделить на методы однократного и двукратного переноса. При однократном переносе графен непосредственно приклеивается к целевой подложке, в то время как при двукратном переносе для облегчения переноса с растущей подложки на целевую используется пленка-носитель. Кроме того, методы переноса можно классифицировать в зависимости от того, растворяют ли они растущую подложку (перенос растворенной подложки) или механически или электрохимически отделяют ее (перенос разделенной подложки). Последний способ часто является более экономичным, поскольку ростовую подложку можно использовать повторно.

Чистый перенос пленок графена, полученных химическим осаждением из паровой фазы
Чистый перенос пленок графена, осажденных химическим парообразованием

Подводя итог, можно сказать, что перенос графена является ключевым шагом в его применении, требующим тщательного рассмотрения как целостности структуры, так и предотвращения загрязнения. Разработка надежных, стабильных и недорогих методов переноса необходима для индустриализации технологий на основе графена.

Методы и технологии переноса графена

Графен, выращенный на металлических подложках, требует тщательной разработки процессов переноса на целевые подложки, как правило, неметаллические, для практического использования. Идеальный процесс переноса должен обладать тремя основными характеристиками: сохранять целостность пленки без механических повреждений, гарантировать, что пленка останется без остатков и не будет легированной, а также быть стабильным и экономически эффективным для промышленного масштабирования.

Было разработано несколько методов переноса, каждый из которых обладает уникальными преимуществами и ограничениями. Эти методы можно разделить на однократный и двукратный перенос. При однократном переносе графен непосредственно приклеивается к целевой подложке, в то время как при двукратном переносе используется пленка-носитель для облегчения перемещения с растущей подложки на целевую подложку. Кроме того, методы можно классифицировать как перенос с растворенной подложкой или перенос с разделенной подложкой. Перенос растворенной подложки включает в себя растворение растущей подложки с помощью травителя для отделения графена, в то время как перенос разделенной подложки использует механические или электрохимические средства для достижения отделения. Последний способ часто является более экономичным, поскольку подложку можно использовать повторно.

Метод переноса Описание Преимущества Ограничения
Однократный перенос Прямое прилипание графена к целевой подложке Простой, понятный Подвержен механическим повреждениям
Двухразовый перенос Использование пленки-носителя для переноса графена Снижает механическое напряжение Более сложный, требует дополнительных этапов
Перенос на растворенную подложку Растворение растущей подложки с помощью травителя Эффективное разделение Субстрат теряется, возможно образование остатков
Перенос разделенной подложки Механическое или электрохимическое разделение Субстрат может быть использован повторно, экономически эффективен Требуется точный контроль, чтобы избежать повреждений

Эти методы в совокупности призваны решить проблемы переноса графена без нарушения его структурной целостности или внесения загрязнений, что позволит использовать его в различных высокотехнологичных областях.

Перспективы и области применения CVD-графена

Потенциальные области применения CVD-графена

CVD-графен, обладающий исключительными свойствами, способен произвести революцию во многих отраслях промышленности, от электроники до биомедицины. Его потенциальные применения охватывают широкий спектр, включая разработку прозрачных проводящих пленок, передовых электронных устройств и гибкой электроники. В биомедицинском секторе CVD-графен изучается на предмет использования в биосенсорах, технологиях визуализации, устройствах мониторинга и даже раневых повязках. В частности, его способность усиливать действие лекарств и терапевтических процедур, особенно для больных раком, подчеркивает его преобразующий потенциал в здравоохранении.

В области электроники CVD-графен используется для создания гетероструктур с полупроводниками и гетероструктур Ван-дер-Ваальса на основе двумерных материалов. Эти инновации распространяются на различные научные и промышленные области, такие как энергонезависимая память, оптоэлектроника, наномеханические системы, межсоединения, биоэлектроника и терморегулирование. Кроме того, фотодетекторы, светоизлучающие диоды и солнечные батареи на основе графена становятся перспективными приложениями благодаря их превосходным характеристикам в прозрачных электродах и активных слоях, используемых в фотоэлектрических устройствах.

Будущие исследования, вероятно, будут направлены на повышение качества и масштабируемости CVD-графена, чтобы удовлетворить потребности крупномасштабных промышленных приложений. По мере развития технологии производство графена в больших масштабах и с большей площадью поверхности будет становиться все более возможным благодаря усовершенствованию методов CVD. Ожидается, что эта эволюция откроет новые горизонты как в технологическом, так и в промышленном применении, сделав CVD-графен краеугольным камнем будущих инноваций.

Направления исследований в области CVD-графена

Будущие исследования в области CVD-графена обещают открыть новые горизонты в материаловедении и технологиях. Ключевыми направлениями являются совершенствование методов получения монокристаллов графена большой площади, разработка графеновых лент с точными электронными свойствами и создание макроскопических графеновых структур с улучшенными механическими и электрическими характеристиками. Эти инновации направлены не только на улучшение масштабируемости и качества производства графена, но и на расширение его применения в различных отраслях промышленности.

Направления исследований CVD-графена

Кроме того, набирает обороты исследование низкотемпературных методов выращивания графена на различных подложках. Этот подход призван смягчить ограничения традиционных высокотемпературных CVD-процессов, которые могут оказаться непосильными для некоторых материалов подложек. Снижая температуру роста, исследователи надеются расширить диапазон совместимых подложек, что позволит интегрировать графен в более широкий спектр электронных и оптоэлектронных устройств.

Помимо этих технических достижений, еще одним перспективным направлением является разработка гетероструктур на основе графена. Такие гетероструктуры, сочетающие графен с другими двумерными материалами, открывают возможности для создания новых классов устройств с уникальными свойствами. Например, интеграция графена с полупроводниками и материалами Ван-дер-Ваальса может привести к прорыву в области энергонезависимой памяти, оптоэлектроники и наномеханических систем.

Проводимые исследования также обусловлены необходимостью решения коммерческих задач по производству графена. Несмотря на то, что CVD-графен продемонстрировал большие перспективы в качестве решения для получения идеальных монослоев в экономически эффективном непрерывном процессе, путь от лабораторных до промышленных масштабов был сопряжен с трудностями. По мере развития технологии исследователи все больше внимания уделяют преодолению этого пробела, чтобы мечта о крупномасштабном производстве высококачественного графена стала коммерческой реальностью.

СВЯЖИТЕСЬ С НАМИ ДЛЯ БЕСПЛАТНОЙ КОНСУЛЬТАЦИИ

Продукты и услуги KINTEK LAB SOLUTION получили признание клиентов по всему миру. Наши сотрудники будут рады помочь с любым вашим запросом. Свяжитесь с нами для бесплатной консультации и поговорите со специалистом по продукту, чтобы найти наиболее подходящее решение для ваших задач!

Связанные товары

Трубчатая печь CVD с разделенной камерой и вакуумной станцией CVD машины

Трубчатая печь CVD с разделенной камерой и вакуумной станцией CVD машины

Эффективная двухкамерная CVD-печь с вакуумной станцией для интуитивной проверки образцов и быстрого охлаждения. Максимальная температура до 1200℃ с точным управлением с помощью массового расходомера MFC.

Вытяжная матрица с наноалмазным покрытием Оборудование HFCVD

Вытяжная матрица с наноалмазным покрытием Оборудование HFCVD

Фильера для нанесения наноалмазного композитного покрытия использует цементированный карбид (WC-Co) в качестве подложки, а для нанесения обычного алмаза и наноалмазного композитного покрытия на поверхность внутреннего отверстия пресс-формы используется метод химической паровой фазы (сокращенно CVD-метод).

Универсальная трубчатая печь CVD, изготовленная по индивидуальному заказу CVD-машина

Универсальная трубчатая печь CVD, изготовленная по индивидуальному заказу CVD-машина

Получите свою эксклюзивную печь CVD с универсальной печью KT-CTF16, изготовленной по индивидуальному заказу. Настраиваемые функции скольжения, вращения и наклона для точной реакции. Заказать сейчас!

Скользящая трубчатая печь PECVD с жидким газификатором PECVD машина

Скользящая трубчатая печь PECVD с жидким газификатором PECVD машина

Система KT-PE12 Slide PECVD: широкий диапазон мощностей, программируемый контроль температуры, быстрый нагрев/охлаждение с помощью скользящей системы, контроль массового расхода MFC и вакуумный насос.

CVD-алмаз, легированный бором

CVD-алмаз, легированный бором

Алмаз, легированный CVD бором: универсальный материал, обеспечивающий индивидуальную электропроводность, оптическую прозрачность и исключительные тепловые свойства для применения в электронике, оптике, сенсорных и квантовых технологиях.

Колокольный резонатор MPCVD Машина для лаборатории и выращивания алмазов

Колокольный резонатор MPCVD Машина для лаборатории и выращивания алмазов

Получите высококачественные алмазные пленки с помощью нашей машины MPCVD с резонатором Bell-jar Resonator, предназначенной для лабораторного выращивания и выращивания алмазов. Узнайте, как микроволновое плазменно-химическое осаждение из паровой фазы работает для выращивания алмазов с использованием углекислого газа и плазмы.

Плазменное осаждение с расширенным испарением PECVD машина покрытия

Плазменное осаждение с расширенным испарением PECVD машина покрытия

Усовершенствуйте свой процесс нанесения покрытий с помощью оборудования для нанесения покрытий методом PECVD. Идеально подходит для производства светодиодов, силовых полупроводников, МЭМС и многого другого. Осаждает высококачественные твердые пленки при низких температурах.

Мульти зоны нагрева CVD трубчатая печь CVD машина

Мульти зоны нагрева CVD трубчатая печь CVD машина

Печь KT-CTF14 с несколькими зонами нагрева CVD - точный контроль температуры и потока газа для передовых приложений. Максимальная температура до 1200℃, 4-канальный массовый расходомер MFC и 7-дюймовый TFT-контроллер с сенсорным экраном.

Наклонная ротационная машина для трубчатой печи с плазменным осаждением (PECVD)

Наклонная ротационная машина для трубчатой печи с плазменным осаждением (PECVD)

Представляем нашу наклонную вращающуюся печь PECVD для точного осаждения тонких пленок. Наслаждайтесь автоматическим согласованием источника, программируемым ПИД-регулятором температуры и высокоточным управлением массовым расходомером MFC. Встроенные функции безопасности для вашего спокойствия.

Радиочастотная система PECVD Радиочастотное осаждение из паровой фазы с усилением плазмы

Радиочастотная система PECVD Радиочастотное осаждение из паровой фазы с усилением плазмы

RF-PECVD - это аббревиатура от "Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition". С его помощью на германиевые и кремниевые подложки наносится пленка DLC (алмазоподобного углерода). Он используется в инфракрасном диапазоне длин волн 3-12um.

CVD-алмазное покрытие

CVD-алмазное покрытие

Алмазное покрытие CVD: превосходная теплопроводность, качество кристаллов и адгезия для режущих инструментов, трения и акустических применений.

CVD-алмаз для терморегулирования

CVD-алмаз для терморегулирования

CVD-алмаз для управления температурным режимом: высококачественный алмаз с теплопроводностью до 2000 Вт/мК, идеально подходящий для теплоотводов, лазерных диодов и приложений GaN на алмазе (GOD).

915MHz MPCVD алмазная машина

915MHz MPCVD алмазная машина

915MHz MPCVD Diamond Machine и его многокристальный эффективный рост, максимальная площадь может достигать 8 дюймов, максимальная эффективная площадь роста монокристалла может достигать 5 дюймов. Это оборудование в основном используется для производства поликристаллических алмазных пленок большого размера, роста длинных монокристаллов алмазов, низкотемпературного роста высококачественного графена и других материалов, для роста которых требуется энергия, предоставляемая микроволновой плазмой.

Алмазные купола CVD

Алмазные купола CVD

Откройте для себя алмазные купола CVD — идеальное решение для высокопроизводительных громкоговорителей. Изготовленные с использованием технологии DC Arc Plasma Jet, эти купольные колонки обеспечивают исключительное качество звука, долговечность и мощность.

Большая вертикальная печь графитации

Большая вертикальная печь графитации

Большая вертикальная высокотемпературная печь для графитации — это тип промышленной печи, используемой для графитации углеродных материалов, таких как углеродное волокно и технический углерод. Это высокотемпературная печь, которая может достигать температуры до 3100°C.

Графитовый тигель для электронно-лучевого испарения

Графитовый тигель для электронно-лучевого испарения

Технология, в основном используемая в области силовой электроники. Это графитовая пленка, изготовленная из исходного углеродного материала путем осаждения материала с использованием электронно-лучевой технологии.

Стеклоуглеродный лист - РВК

Стеклоуглеродный лист - РВК

Откройте для себя наш стеклоуглеродный лист - RVC. Этот высококачественный материал, идеально подходящий для ваших экспериментов, поднимет ваши исследования на новый уровень.

Углеродно-графитовая пластина - изостатическая

Углеродно-графитовая пластина - изостатическая

Изостатический углеродный графит прессуется из графита высокой чистоты. Это отличный материал для изготовления сопел ракет, материалов для замедления и отражающих материалов для графитовых реакторов.

Сапфировый лист с инфракрасным пропусканием / сапфировая подложка / сапфировое окно

Сапфировый лист с инфракрасным пропусканием / сапфировая подложка / сапфировое окно

Изготовленная из сапфира подложка обладает беспрецедентными химическими, оптическими и физическими свойствами. Его замечательная устойчивость к тепловым ударам, высоким температурам, эрозии песка и воде отличает его.

Тигель для выпаривания графита

Тигель для выпаривания графита

Сосуды для высокотемпературных применений, где материалы выдерживаются при чрезвычайно высоких температурах для испарения, что позволяет наносить тонкие пленки на подложки.

Полка для очистки проводящей стеклянной подложки из ПТФЭ

Полка для очистки проводящей стеклянной подложки из ПТФЭ

Полка для очистки проводящей стеклянной подложки из ПТФЭ используется в качестве носителя квадратной кремниевой пластины солнечного элемента, чтобы обеспечить эффективное и беззагрязняющее обращение в процессе очистки.

Реактор гидротермального синтеза для нановыращивания углеродной бумаги и углеродной ткани из политетрафторэтилена

Реактор гидротермального синтеза для нановыращивания углеродной бумаги и углеродной ткани из политетрафторэтилена

Кислото- и щелочестойкий политетрафторэтилен экспериментальных светильников отвечают различным требованиям. Материал изготовлен из нового политетрафторэтилена, который обладает отличной химической стабильностью, коррозионной стойкостью, герметичностью, высокой смазкой и антиприлипанием, электрической коррозией и хорошей антивозрастной способностью, и может работать в течение длительного времени при температуре от -180℃ до +250℃.

Стойка для хранения стекла ITO/FTO/переворачиваемая стойка/стойка для хранения кремниевых пластин

Стойка для хранения стекла ITO/FTO/переворачиваемая стойка/стойка для хранения кремниевых пластин

Стойка для хранения ITO/FTO стекла/переворачиваемая стойка/стойка для хранения кремниевых пластин может быть использована для упаковки, оборота и хранения кремниевых пластин, микросхем, германиевых пластин, стеклянных пластин, сапфировых пластин, кварцевого стекла и других материалов.

Заготовки режущего инструмента

Заготовки режущего инструмента

Алмазные режущие инструменты CVD: превосходная износостойкость, низкое трение, высокая теплопроводность для обработки цветных металлов, керамики, композитов

Заготовки для волочения алмазной проволоки CVD

Заготовки для волочения алмазной проволоки CVD

Заготовки для волочения алмазной проволоки CVD: превосходная твердость, стойкость к истиранию и применимость при волочении различных материалов. Идеально подходит для абразивной обработки, например обработки графита.


Оставьте ваше сообщение