Радиочастотная энергия используется в процессе напыления главным образом для облегчения осаждения изоляционных материалов и управления накоплением заряда на материале мишени. Вот подробное объяснение:
1. Осаждение изоляционных материалов:
ВЧ-напыление особенно эффективно для осаждения тонких пленок изоляционных материалов. В отличие от напыления постоянным током, которое основано на прямой бомбардировке электронами, при радиочастотном напылении используется радиочастотная (РЧ) энергия для ионизации газа в камере. Этот процесс ионизации крайне важен, поскольку изоляционные материалы плохо проводят электричество, что делает их непригодными для напыления постоянным током, где требуется непрерывный поток электронов. Радиочастотная энергия, обычно на частоте 13,56 МГц, создает плазму, которая может эффективно распылять даже непроводящие целевые материалы.2. Управление накоплением заряда:
Одной из серьезных проблем при напылении является накопление заряда на материале мишени, что может привести к возникновению дуги и другим проблемам контроля качества. ВЧ-напыление решает эту проблему путем чередования электрического потенциала тока. Во время положительного полуцикла радиочастотной волны электроны притягиваются к мишени, придавая ей отрицательное смещение и нейтрализуя любой положительный заряд. Во время отрицательного полуцикла ионная бомбардировка продолжается, обеспечивая непрерывное напыление. Этот чередующийся процесс эффективно "очищает" поверхность мишени от накопленных зарядов, предотвращая возникновение дуги и обеспечивая стабильный процесс напыления.
3. Эффективность и универсальность:
ВЧ-напыление может работать при более низких давлениях (от 1 до 15 мТорр), сохраняя плазму, что повышает его эффективность. Этот метод универсален и может использоваться для напыления широкого спектра материалов, включая изоляторы, металлы, сплавы и композиты. Использование радиочастотной энергии также снижает риск возникновения эффектов заряда и дуги, которые являются общими проблемами при напылении на постоянном токе, особенно при работе с изолированными мишенями.
