Частота, обычно используемая для радиочастотного напыления, составляет 13,56 МГц.
Эта частота выбрана по нескольким причинам.
4 основные причины, по которым 13,56 МГц является стандартной частотой для радиочастотного напыления
1. Соответствие нормативным требованиям
Международный союз электросвязи (ITU) определил частоту 13,56 МГц как частоту для промышленных, научных и медицинских приборов (ISM).
Такое распределение предотвращает вмешательство в работу телекоммуникационных служб.
Это гарантирует, что оборудование для радиочастотного напыления работает в диапазоне частот, специально зарезервированном для некоммуникационных приложений.
2. Эффективность взаимодействия ионов с мишенью
Частота 13,56 МГц достаточно низкая, чтобы обеспечить достаточное время для передачи импульса ионов аргона материалу мишени во время напыления.
На этой частоте у ионов достаточно времени, чтобы достичь мишени и взаимодействовать с ней до начала следующего цикла ВЧ-поля.
Это взаимодействие имеет решающее значение для эффективного распыления материала мишени.
3. Избежание накопления заряда
При ВЧ-напылении переменный электрический потенциал помогает предотвратить накопление заряда на мишени, особенно при работе с изолирующими материалами.
Во время положительного цикла РЧ-излучения электроны притягиваются к мишени, создавая отрицательное смещение.
Во время отрицательного цикла продолжается ионная бомбардировка, что обеспечивает сохранение электрической нейтральности мишени и предотвращает такие негативные эффекты, как образование капель.
4. Широко признанный стандарт
Благодаря своей эффективности и соответствию международным нормам частота 13,56 МГц стала стандартной для радиочастотного напыления.
Такая стандартизация упрощает проектирование и эксплуатацию оборудования для напыления.
Она также обеспечивает совместимость различных систем и компонентов.
Продолжайте исследовать, обратитесь к нашим экспертам
Откройте для себя точность и надежность систем радиочастотного напыления KINTEK SOLUTION.
Наши передовые технологии, разработанные в соответствии с промышленным стандартом частоты 13,56 МГц, обеспечивают бесшовную интеграцию и оптимальную производительность.
Повысьте свои исследовательские и производственные возможности уже сегодня с помощью KINTEK SOLUTION - где инновации сочетаются с качеством научного оборудования.
Свяжитесь с нами прямо сейчас чтобы узнать больше о том, как наши системы осаждения радиочастотного напыления могут помочь вашим проектам.
