Частота, обычно используемая для радиочастотного напыления, составляет 13,56 МГц. Эта частота выбрана по нескольким причинам:
-
Соответствие нормативным требованиям: Международный союз электросвязи (ITU) выделил частоту 13,56 МГц для промышленных, научных и медицинских приборов (ISM), чтобы предотвратить помехи телекоммуникационным службам. Такое распределение гарантирует, что оборудование для радиочастотного напыления работает в диапазоне частот, специально зарезервированном для приложений, не связанных с телекоммуникациями.
-
Эффективность взаимодействия ионов с мишенью: Частота 13,56 МГц достаточно низкая, чтобы обеспечить достаточное время для передачи импульса ионов аргона материалу мишени во время напыления. На этой частоте у ионов достаточно времени, чтобы достичь мишени и взаимодействовать с ней до начала следующего цикла ВЧ-поля. Это взаимодействие имеет решающее значение для эффективного распыления материала мишени.
-
Избежание накопления заряда: При радиочастотном напылении переменный электрический потенциал помогает предотвратить накопление заряда на мишени, особенно при работе с изолирующими материалами. Во время положительного цикла ВЧ-излучения электроны притягиваются к мишени, придавая ей отрицательное смещение. Во время отрицательного цикла продолжается ионная бомбардировка, что обеспечивает сохранение электрической нейтральности мишени и предотвращает любые негативные эффекты, такие как образование капель.
-
Широко принятый стандарт: Благодаря своей эффективности и соответствию международным нормам, частота 13,56 МГц стала стандартом для радиочастотного напыления. Такая стандартизация упрощает проектирование и эксплуатацию оборудования для напыления, а также обеспечивает совместимость различных систем и компонентов.
В целом, выбор частоты 13,56 МГц для радиочастотного напыления обусловлен ее соответствием нормативным требованиям, эффективностью взаимодействия ионов с мишенью, способностью предотвращать накопление заряда и статусом общепринятого стандарта в отрасли.
Откройте для себя точность и надежность систем радиочастотного напыления KINTEK SOLUTION, разработанных для соответствия промышленному стандарту частоты 13,56 МГц. Наши передовые технологии обеспечивают бесшовную интеграцию и оптимальную производительность - от соответствия нормативным требованиям до эффективного напыления материалов. Повысьте свои исследовательские и производственные возможности уже сегодня с помощью KINTEK SOLUTION - где инновации сочетаются с качеством научного оборудования.
