Испарение при физическом осаждении из паровой фазы (PVD) - это процесс, в котором материал, подлежащий осаждению в виде пленки, переводится в паровую фазу путем воздействия тепла на исходный материал, в результате чего он подвергается испарению. Этот процесс проводится в высоковакуумной среде, чтобы обеспечить перенос испаренных атомов или молекул на подложку с минимальным вмешательством других атомов или молекул газа.
Резюме ответа:
Испарение в PVD предполагает нагрев исходного материала для превращения его в пар, который затем осаждается на подложку в высоковакуумной среде. Этот метод имеет решающее значение для получения высококачественных тонкопленочных покрытий.
-
Подробное объяснение:Нагрев исходного материала:
-
В процессе испарения PVD исходный материал нагревается с помощью различных методов, таких как резистивный нагрев, испарение электронным пучком или катодно-дуговое испарение. Выбор метода нагрева зависит от свойств материала и желаемой скорости осаждения. Например, при электронно-лучевом испарении для нагрева и испарения целевого материала используется высокозаряженный электронный пучок, что особенно эффективно для материалов, для испарения которых требуется высокая температура.
-
Испарение и давление паров:
-
При нагревании исходного материала он достигает температуры, при которой давление его паров становится значительным. Давление пара должно превышать пороговое значение (обычно более 1,5 Па) для достижения практической скорости осаждения. Это давление пара является мерой склонности материала к испарению и имеет решающее значение для эффективного переноса материала на подложку.Высоковакуумная среда:
Процесс испарения происходит в высоковакуумной камере. Эта среда очень важна, поскольку она уменьшает средний свободный путь испаряемых частиц, позволяя им перемещаться непосредственно к подложке без значительных столкновений с другими частицами. Такая прямая транспортировка обеспечивает чистый и эффективный процесс осаждения, сводя к минимуму загрязнения и повышая качество осажденной пленки.
Осаждение на подложку:
