Пучок электронов в электронно-лучевом (E-beam) испарении используется для нагрева и испарения образца в вакуумной среде.
Объяснение 4 ключевых этапов
1. Генерация и направление электронного пучка
Электронный пучок генерируется из нити накаливания.
Он ускоряется до высокой кинетической энергии (до 10 кВ) с помощью высоковольтного электрического поля.
Электрическое и магнитное поля используются для точного направления пучка на исходный материал.
Исходный материал обычно имеет форму гранул или блока, помещенного в тигель.
2. Передача энергии и испарение
Когда электронный луч попадает на исходный материал, его кинетическая энергия преобразуется в тепло.
Это повышает температуру материала.
По мере нагревания материала его поверхностные атомы приобретают энергию, достаточную для преодоления сил связи, удерживающих их в основном материале.
В результате они покидают поверхность в виде пара.3. Испарение и осаждениеИспарившиеся атомы или молекулы перемещаются по вакуумной камере с тепловой энергией (менее 1 эВ).Они не задеваются другими частицами, что обеспечивает осаждение "с прямой видимости" на подложку, расположенную на рабочем расстоянии от 300 мм до 1 метра.
