Ионно-лучевое напыление (IBS) - это сложная технология, используемая в различных отраслях промышленности для высококачественного осаждения тонких пленок.
Каковы 5 ключевых преимуществ ионно-лучевого напыления?
1. Более низкое давление в камере
Плазма в IBS находится внутри ионного источника.
Это позволяет значительно снизить давление в камере по сравнению с традиционным магнетронным распылением.
Такое снижение давления значительно уменьшает уровень загрязнения пленки.
2. Оптимальное связывание энергии
При ионно-лучевом напылении используется энергия связи, примерно в 100 раз превышающая энергию вакуумного покрытия.
Это обеспечивает превосходное качество и прочное соединение даже после нанесения покрытия.
3. Универсальность
IBS позволяет осаждать любые материалы.
Характеристики напыления различных материалов меньше по сравнению с испарением.
Это облегчает напыление материалов с высокими температурами плавления.
Кроме того, можно напылять сплавы и целевые соединения, формируя пленку с тем же соотношением, что и целевой компонент.
4. Точный контроль
Ионно-лучевое напыление обеспечивает точный контроль над различными параметрами.
К ним относятся скорость распыления мишени, угол падения, энергия ионов, плотность ионного тока и поток ионов.
