Вакуумное термическое испарение - это процесс осаждения, используемый для формирования и роста тонких пленок на твердых материалах. Этот метод широко применяется как в лабораторных, так и в промышленных условиях благодаря своей простоте и эффективности.
Обзор процесса:
Процесс начинается с воздействия на целевой материал очень высоких температур, в результате чего он возгоняется или закипает и образует пар. Затем этот пар переносится на подложку через вакуумную среду. Достигнув подложки, пар конденсируется, образуя твердую тонкую пленку. Этот цикл осаждения можно повторять для усиления роста и зарождения тонкой пленки.Методы нанесения вакуумных покрытий методом термического испарения:
- Термическое испарение может быть достигнуто двумя основными методами:
- Электрический нагрев: Материал нагревается электрическим током с помощью проводов или в проводящих тиглях, изготовленных из материалов с более высокой температурой плавления. Этот метод подходит для материалов, требующих значительного давления пара при высоких температурах.
Испарители в форме лодки: Они используются специально для испарения оксидов. Форма лодочки облегчает процесс нагрева и испарения.
Вакуумные системы для термического испарения:
Вакуумная система играет решающую роль в качестве получаемой тонкой пленки. Базовое давление, необходимое в устройстве для нанесения покрытия, варьируется от 10^-7 до 10^-5 мбар. В современных системах обычно используются турбомолекулярные насосы, которые могут откачать воздух из камеры до требуемого базового давления в течение часа. Эти насосы часто дополняются пластинчато-роторными насосами или другими типами сухих насосов. Над испарителем также используется затвор для контроля процесса осаждения и обеспечения воспроизводимости слоев.Применение и материалы:
