При напылении катод - это материал мишени, который бомбардируется энергичными ионами, обычно ионами аргона, из плазмы газового разряда. Анодом обычно является подложка или стенки вакуумной камеры, на которых осаждаются выброшенные атомы мишени, образуя покрытие.
Объяснение катода:
Катод в системе напыления - это материал мишени, который получает отрицательный заряд и подвергается бомбардировке положительными ионами из газа напыления. Эта бомбардировка происходит благодаря применению высоковольтного источника постоянного тока при напылении постоянным током, который ускоряет положительные ионы по направлению к отрицательно заряженной мишени. Материал мишени, выступающий в роли катода, является местом, где происходит собственно процесс напыления. Энергичные ионы сталкиваются с поверхностью катода, в результате чего атомы выбрасываются из материала мишени.Объяснение понятия "анод":
Анодом при напылении обычно является подложка, на которую наносится покрытие. В некоторых установках в качестве анода могут выступать стенки вакуумной камеры. Подложка располагается на пути атомов, выбрасываемых катодом, что позволяет этим атомам сформировать на ее поверхности тонкопленочное покрытие. Анод подключается к электрическому заземлению, обеспечивая обратный путь для тока и электрическую стабильность системы.
Детали процесса:
Процесс напыления начинается с ионизации инертного газа в вакуумной камере, как правило, аргона. Материал мишени (катод) заряжается отрицательно, притягивая положительно заряженные ионы аргона. Под действием напряжения эти ионы ускоряются по направлению к катоду, сталкиваются с материалом мишени и выбрасывают атомы. Выброшенные атомы перемещаются и оседают на подложке (аноде), образуя тонкую пленку. Процесс требует тщательного контроля энергии и скорости ионов, на которые могут влиять электрические и магнитные поля, для обеспечения эффективного осаждения покрытия.
