Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) - это метод, используемый для создания тонких пленок и покрытий на различных подложках.
Такими подложками могут быть металлы, керамика, стекло или полимеры.
В ходе процесса материал из твердого или жидкого состояния превращается в пар, а затем снова конденсируется в тонкую пленку на поверхности.
PVD используется во многих отраслях промышленности, где требуются особые свойства тонких пленок, например, повышенная износостойкость, твердость и улучшенный внешний вид.
Что такое аппарат для физического осаждения из паровой фазы (PVD)? 4 ключевых шага для понимания
1. Газификация материала для нанесения покрытия
Первым шагом в PVD является превращение материала, на который наносится покрытие, в газ.
Это можно сделать с помощью таких методов, как испарение, напыление или дуговая плазменная обработка.
При испарении материал нагревают до тех пор, пока он не превратится в пар.
При напылении атомы выбиваются из твердого материала мишени энергичными частицами.
При дуговом плазменном напылении для испарения материала мишени используется сильноточная дуга.
2. Осаждение паров на подложкуКогда материал находится в парообразном состоянии, он осаждается на поверхность подложки.Обычно это происходит в газовой среде низкого давления или в условиях плазмы.