Мишени для напыления изготавливаются с помощью различных процессов в зависимости от свойств материала и предполагаемого применения. К распространенным методам относятся вакуумное горячее прессование, холодное прессование и спекание, а также вакуумное плавление и литье. Процесс начинается с выбора и подготовки сырья, затем происходит смешивание или легирование в процессе спекания или плавления, а затем шлифовка для достижения требуемого качества. Каждая партия продукции подвергается тщательному аналитическому тестированию, а сертификат анализа сопровождает каждую поставку.
Подробное объяснение:
-
Выбор и подготовка материалов:
-
Процесс производства начинается с выбора подходящего сырья, основанного на желаемых свойствах мишени для напыления. Эти материалы часто представляют собой металлы, сплавы или соединения, такие как оксиды, нитриды и карбиды. Чистота и качество этих сырьевых материалов имеют решающее значение, поскольку они напрямую влияют на характеристики мишени для напыления.Смешивание и легирование:
-
В зависимости от требований сырьевые материалы могут смешиваться или легироваться. Этот процесс очень важен для создания однородных материалов, обеспечивающих стабильные результаты напыления. Смешивание может осуществляться механическим способом, а легирование часто предполагает расплавление материалов в контролируемых условиях.
-
Спекание и плавление:
-
После смешивания или легирования материалы подвергаются процессам спекания или плавления. Спекание предполагает нагрев материала ниже температуры плавления для скрепления частиц между собой, а плавление полностью разжижает материал для литья. Эти процессы обычно выполняются в вакууме или контролируемой атмосфере для предотвращения загрязнения и обеспечения высокой чистоты.Формование и придание формы:
-
Спеченный или литой материал затем формируется в желаемую форму, которая обычно представляет собой диск или лист. Это может быть достигнуто с помощью различных методов, таких как горячее прессование, холодное прессование, прокатка или ковка. Выбор метода зависит от свойств материала и спецификации цели.
-
Шлифовка и финишная обработка:
После того как основная форма сформирована, мишень подвергается процессам шлифовки и отделки для достижения требуемых размеров и качества поверхности. Этот этап имеет решающее значение для обеспечения хорошей работы мишени в процессе напыления, поскольку несовершенство поверхности может повлиять на однородность и качество осаждаемой пленки.
Контроль качества и анализ:
