Реактивное напыление - это процесс, в ходе которого происходит химическая реакция между атомами, распыленными на металлическую мишень, и молекулами реактивного газа, диффундирующими из газового разряда на подложку.
В результате этой реакции образуются тонкие пленки соединений, которые служат материалом для нанесения покрытия на подложку.
5 ключевых моментов
1. Введение неинертного газа
При реактивном напылении инертный газ, например кислород или азот, вводится в камеру напыления вместе с элементарным материалом мишени, например кремнием.
2. Химическая реакция на подложке
Когда молекулы металла из мишени достигают поверхности подложки, они вступают в реакцию с молекулами реактивного газа, образуя новое соединение.
Затем это соединение осаждается на подложке в виде тонкой пленки.
3. Формирование твердых покрытий
Используемые в процессе реактивные газы, такие как азот или кислород, вступают в химическую реакцию с молекулами металла на поверхности подложки, в результате чего образуется твердое покрытие.
4. Комбинация напыления и CVD
Процесс реактивного напыления сочетает в себе принципы обычного напыления и химического осаждения из паровой фазы (CVD).
Он предполагает использование большого количества реактивного газа для роста пленки, а избыток газа откачивается.
5. Контроль состава пленки
Состав пленки можно контролировать, регулируя относительное давление инертного и реактивного газов.
Стехиометрия пленки является важным параметром для оптимизации функциональных свойств, таких как напряжение в SiNx и показатель преломления SiOx.
Продолжайте исследовать, обратитесь к нашим экспертам
Ищете высококачественное лабораторное оборудование для реактивного напыления? Обратите внимание на KINTEK!
Наши передовые системы разработаны для точного и контролируемого осаждения составных тонких пленок на подложки.
С помощью нашего оборудования вы можете легко регулировать относительное давление инертного и реактивного газов, что позволит вам оптимизировать стехиометрию пленки и добиться желаемых функциональных свойств покрытия.
Доверьте KINTEK все свои потребности в реактивном напылении. Свяжитесь с нами сегодня и поднимите свои исследования на новый уровень!
