Влияние температуры подложки на свойства пленки - важнейший аспект осаждения тонких пленок.
Как температура подложки влияет на свойства пленки? (8 ключевых факторов)
1. Кристаллическая фаза
Повышение температуры подложки может привести к изменению кристаллической фазы тонкой пленки.
Например, повышение температуры может привести к переходу от аморфной фазы к кристаллической.
2. Размер кристаллитов
Повышение температуры подложки может привести к уменьшению размера кристаллитов в тонкой пленке.
Это связано с усилением диффузии и роста кристаллической решетки при более высоких температурах.
3. Пропорция стехиометрии
Температура подложки также влияет на соотношение стехиометрии тонкой пленки.
Повышение температуры может привести к более сбалансированному составу пленки, улучшая ее общее качество.
4. Морфология поверхности
Температура подложки может влиять на морфологию поверхности тонкой пленки.
Повышение температуры может усилить поверхностные реакции и привести к более гладкой и однородной поверхности пленки.
5. Величина полосовой щели
Повышение температуры подложки также может повлиять на величину полосовой щели тонкой пленки.
Это связано с изменением кристаллической фазы, размера кристаллитов и соотношения стехиометрии, которые влияют на электронные свойства пленки.
6. Плотность дефектов
Повышение температуры подложки помогает компенсировать взвешенные связи на поверхности пленки, что приводит к уменьшению плотности дефектов.
Это улучшает общее качество пленки.7. Адгезия, кристалличность и напряжениеТемпература подложки - важный параметр, влияющий на адгезию, кристалличность и напряжение осажденной тонкой пленки.Оптимизируя температуру, можно добиться желаемого качества и свойств пленки.8. Скорость осажденияСкорость осаждения напыленного материала на подложку, называемая скоростью осаждения, может зависеть от температуры подложки.Оптимизация скорости осаждения помогает достичь желаемой толщины и однородности пленки.
