Радиочастотное напыление - это метод, используемый для создания тонких пленок, в основном в компьютерной и полупроводниковой промышленности.
Она предполагает использование радиочастотной (RF) энергии для ионизации инертного газа.
В результате образуются положительные ионы, которые ударяют по материалу мишени, заставляя его распадаться на мелкие брызги, покрывающие подложку.
Этот процесс отличается от напыления постоянным током (DC) по нескольким ключевым аспектам.
Что такое радиочастотное и постоянное напыление? Объяснение 4 ключевых различий
1. Требования к напряжению
Для радиочастотного напыления требуется более высокое напряжение (1 012 вольт или более) по сравнению с напылением на постоянном токе, которое обычно работает в диапазоне 2 000-5 000 вольт.
Такое высокое напряжение необходимо потому, что при радиочастотном напылении используется кинетическая энергия для удаления электронов из атомов газа.
В отличие от этого, при напылении постоянным током происходит прямая бомбардировка электронами.
2. Давление в системе
ВЧ-напыление работает при более низком давлении в камере (менее 15 мТорр), чем напыление постоянным током (100 мТорр).
Такое низкое давление уменьшает столкновения между заряженными частицами плазмы и материалом мишени.
Это повышает эффективность процесса напыления.
3. Схема осаждения и материал мишени
ВЧ-напыление особенно подходит для непроводящих или диэлектрических материалов мишени.
При напылении постоянным током такие материалы накапливают заряд и отталкивают дальнейшую ионную бомбардировку, что может привести к остановке процесса.
Переменный ток (AC) при радиочастотном напылении помогает нейтрализовать накопление заряда на мишени.
Это позволяет непрерывно распылять непроводящие материалы.
4. Частота и работа
При радиочастотном напылении используется частота 1 МГц или выше.
Эта частота необходима для электрической разрядки мишени во время напыления.
Она позволяет эффективно использовать переменный ток.
В одном полуцикле электроны нейтрализуют положительные ионы на поверхности мишени.
В другом полуцикле распыленные атомы мишени осаждаются на подложку.
В целом, радиочастотное распыление - это универсальный и эффективный метод осаждения тонких пленок, особенно на непроводящие материалы.
В нем используются более высокие напряжения, более низкое давление в системе и переменный ток, что позволяет управлять процессами ионизации и осаждения более эффективно, чем при напылении постоянным током.
Продолжайте изучение, обратитесь к нашим специалистам
Откройте для себя передовые преимущества технологии радиочастотного напыления для непревзойденного производства тонких пленок в компьютерном и полупроводниковом секторах!
Компания KINTEK SOLUTION гордится тем, что предоставляет инновационные системы напыления, которые оптимизируют напряжение, давление и частоту.
Мы обеспечиваем эффективное и последовательное осаждение даже самых сложных непроводящих материалов.
Повысьте уровень своих исследований и производственных процессов уже сегодня с помощью наших ведущих в отрасли решений для радиочастотного напыления - сотрудничайте с KINTEK SOLUTION для достижения исключительной производительности и точности!
