При плазменном химическом осаждении из паровой фазы (PECVD) используются различные газы в зависимости от конкретного применения и желаемого состава пленки.
5 часто используемых газов в PECVD
1. Силан (SiH4)
Силан - это газ-предшественник, часто используемый в процессах PECVD для осаждения пленок на основе кремния, таких как нитрид и оксид кремния.
Его смешивают с другими газами для контроля свойств пленки.
2. Аммиак (NH3)
Аммиак - еще один газ-прекурсор, используемый в процессах PECVD.
Обычно он используется в сочетании с силаном для осаждения пленок нитрида кремния.
Аммиак помогает контролировать содержание азота в пленке.
3. Аргон (Ar)
Аргон - инертный газ, часто используемый в качестве газа-носителя или газа-разбавителя в процессах PECVD.
Его смешивают с газами-прекурсорами для контроля реакции и обеспечения равномерного осаждения пленки.
4. Азот (N2)
Азот - еще один инертный газ, который может использоваться в процессах PECVD.
Он обычно используется в качестве газа-носителя или газа-разбавителя для контроля реакции и предотвращения нежелательных газофазных реакций.
5. Метан (CH4), этилен (C2H4) и ацетилен (C2H2).
Эти углеводородные газы используются в процессах PECVD для выращивания углеродных нанотрубок (УНТ).
Они диссоциируют в плазме с образованием аморфных углеродных продуктов.
Для предотвращения образования аморфных продуктов эти газы обычно разбавляют аргоном, водородом или аммиаком.
Продолжайте исследовать, обратитесь к нашим экспертам
Ищете высококачественные газы для процессов PECVD?Обратите внимание на компанию KINTEK!
Мы специализируемся на поставках широкого спектра прекурсоров и инертных газов для плазменного химического осаждения из паровой фазы.
От силана и аммиака до аргона и азота - у нас есть все газы, необходимые для управления процессом PECVD.
Мы также предлагаем углеводородные источники, такие как метан, этилен и ацетилен, для выращивания углеродных нанотрубок.
Наши газы тщательно разбавляются для предотвращения образования аморфных продуктов.
Доверьте KINTEK надежное и эффективное газоснабжение.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы оптимизировать давление в реакторе PECVD с помощью наших газов премиум-класса!
