Реакторы плазменного осаждения - это сложные инструменты, использующие высокоэнергетические заряженные частицы из плазмы для высвобождения атомов из целевого материала. Затем эти атомы осаждаются на подложку, образуя тонкую пленку. Этот процесс очень универсален и позволяет точно контролировать такие свойства, как толщина, твердость и коэффициент преломления.
4 ключевых момента
1. Генерация плазмы
Плазма обычно образуется в результате электрического разряда между электродами. Этот разряд образует светящуюся оболочку вокруг подложки, способствуя выделению тепловой энергии, необходимой для химических реакций.
Различные методы генерации плазмы включают в себя емкостную плазму, индуктивные разряды, реакторы электронного циклотронного резонанса и геликон-волновые антенны. Каждый метод имеет свою уникальную плотность плазмы и эффективность диссоциации прекурсоров.
2. Процесс осаждения
Плазма высвобождает атомы из материала мишени. Эти нейтральные атомы могут покинуть сильные электромагнитные поля внутри плазмы и столкнуться с подложкой. В результате этого столкновения образуется тонкая пленка.
Химические реакции, инициированные в плазме столкновением молекул газа-предшественника с заряженными электронами, продолжаются по мере поступления газа на подложку. Эти реакции имеют решающее значение для роста пленки.
3. Типы реакторов плазменного осаждения
Реактор прямого PECVD: В этой установке плазма непосредственно контактирует с подложками в камере осаждения. Такое прямое взаимодействие иногда может привести к повреждению подложки из-за ионной бомбардировки и примесей на электродах.
Удаленный реактор PECVD: Этот метод позволяет избежать прямого взаимодействия плазмы с подложками, что приводит к более чистому процессу нанесения покрытия с меньшим количеством примесей.
4. Контроль свойств осаждения
Свойства осажденной пленки, такие как толщина, твердость или коэффициент преломления, можно точно контролировать путем регулировки расхода газа и рабочей температуры в реакторе.
Продолжайте изучать, обратитесь к нашим экспертам
Откройте для себя точность и универсальность реакторов плазменного осаждения KINTEK SOLUTION! Расширьте свои возможности по осаждению тонких пленок с помощью нашего современного оборудования, предназначенного для контроля таких свойств пленки, как толщина, твердость или коэффициент преломления.Ознакомьтесь с нашим ассортиментом уже сегодня и совершите революцию в обработке материалов.
