Термическое испарение используется для нанесения тонких пленок металлов и неметаллов на подложки в условиях высокого вакуума. Эта техника особенно полезна для приложений, связанных с электрическими контактами и тонкопленочными устройствами, такими как OLED, солнечные батареи и тонкопленочные транзисторы.
Резюме ответа:
Термическое испарение - это метод физического осаждения из паровой фазы, при котором материал нагревается до температуры испарения в условиях высокого вакуума, в результате чего он испаряется и осаждается в виде тонкой пленки на подложке. Этот метод универсален и может быть использован для нанесения широкого спектра материалов, включая металлы, такие как алюминий, серебро и золото, а также неметаллы.
-
Подробное объяснение:
- Обзор процесса:Нагрев:
- Осаждаемый материал нагревается в высоковакуумной камере с помощью джоулева нагрева, обычно через резистивную лодку или катушку. Нагрев осуществляется до тех пор, пока материал не достигнет точки испарения, после чего он начинает испаряться.Испарение:
- Когда материал испаряется, он образует облако пара внутри камеры. Даже относительно низкое давление пара достаточно для создания такого облака благодаря вакуумной среде, которая сводит к минимуму столкновения и реакции с другими атомами.Осаждение:
-
Испаренный материал перемещается по камере и оседает на подложке, расположенной над источником. Подложка обычно располагается лицевой стороной вниз к нагреваемому источнику, чтобы обеспечить эффективное нанесение покрытия.
- Области применения:Электрические контакты:
- Термическое испарение обычно используется для осаждения отдельных металлов, таких как серебро или алюминий, для электрических контактов. Эти металлы выбирают за их проводимость и способность образовывать стабильные контакты с низким сопротивлением.Тонкопленочные устройства:
- Этот метод также используется при изготовлении тонкопленочных устройств, таких как OLED, солнечные батареи и тонкопленочные транзисторы. Например, она может использоваться для нанесения металлических контактных слоев, которые имеют решающее значение для работы этих устройств.Сложные осаждения:
-
Более сложные приложения предполагают совместное осаждение нескольких компонентов. Это достигается путем тщательного контроля температуры отдельных тиглей, содержащих различные материалы, что позволяет одновременно осаждать различные материалы.
- Универсальность материалов:
Термическое испарение позволяет осаждать широкий спектр материалов, включая алюминий, серебро, никель, хром, магний и золото, но не ограничиваясь ими. Такая универсальность делает его пригодным для широкого спектра промышленных и научных применений.Обзор и исправление:
