Термическое осаждение испарением - это метод, используемый в физическом осаждении из паровой фазы (PVD) для создания тонких пленок на подложке. Этот процесс включает в себя нагревание материала в высоковакуумной камере до высокой температуры, в результате чего он испаряется, а затем конденсируется на подложке, образуя тонкую пленку.
Резюме ответа:
Термическое осаждение испарением - это метод PVD, при котором материал нагревается в вакуумной камере, испаряется и затем конденсируется на подложке, образуя тонкую пленку. Этот метод широко используется в промышленности для создания металлических связующих слоев в солнечных батареях, тонкопленочных транзисторах и OLED-дисплеях.
-
Подробное объяснение:Установка процесса:
-
Процесс начинается с вакуумной камеры из нержавеющей стали, содержащей тигель или лодочку из тугоплавких материалов, таких как вольфрам или молибден. Материал, подлежащий осаждению (испаритель), помещается в этот тигель.
-
Нагрев и испарение:
-
Материал нагревается с помощью резистивного нагрева до очень высоких температур, что приводит к его испарению. Эта высокая температура необходима для преодоления давления паров материала, что позволяет ему эффективно испаряться.Транспортировка и осаждение:
-
Испаренный материал образует пар, который проходит через вакуумную камеру и оседает на поверхности подложки. Вакуумная среда очень важна, так как она предотвращает реакцию паров с молекулами воздуха, обеспечивая чистоту осаждения.
-
Конденсация и образование пленки:
Когда пар достигает подложки, он конденсируется, образуя твердую тонкую пленку. Толщину и однородность пленки можно контролировать, регулируя скорость испарения и продолжительность процесса осаждения.Области применения:
