Уровень вакуума в термическом испарителе обычно поддерживается при давлении 10^-5 Торр или ниже. Такая высокая вакуумная среда имеет решающее значение для процесса термического испарения, обеспечивая достаточную длину среднего свободного пробега испаряемых молекул для предотвращения столкновений с молекулами газа в камере, которые могут негативно повлиять на качество осаждаемой пленки.
Объяснение:
-
Важность вакуума при термическом испарении:
-
Термическое испарение - это процесс, при котором материалы нагреваются в вакуумной камере до тех пор, пока их поверхностные атомы не получат достаточно энергии, чтобы покинуть поверхность и осадиться на подложке. Вакуумная среда очень важна, поскольку она позволяет испаренным атомам или молекулам перемещаться от источника к подложке без значительных столкновений, сохраняя их направленную целостность и, следовательно, качество покрытия.Оптимальные уровни вакуума:
-
Оптимальный уровень вакуума для термического испарения обычно составляет около 10^-5 Торр. При таком давлении средний свободный путь молекул составляет около 1 метра, что достаточно для большинства установок термического испарения, где расстояние между источником испарения и подложкой составляет от 200 мм до 1 метра. Это гарантирует, что испаряемые частицы смогут пройти это расстояние без значительного отклонения от своего пути из-за столкновений.
-
Настройка вакуумной системы:
В современных термических испарителях часто используются турбомолекулярные насосы, которые способны быстро и эффективно достигать таких низких давлений. Эти насосы обычно поддерживаются пластинчато-роторными, сухими спиральными или многоступенчатыми корневыми насосами, которые помогают откачивать воздух из камеры от атмосферного давления до базового давления, необходимого для работы. Установка спроектирована таким образом, чтобы минимизировать попадание мусора в насос и поддерживать чистую и эффективную вакуумную среду.
Управление и мониторинг:
