Процесс напыления в РЭМ предполагает нанесение сверхтонкого покрытия из электропроводящего металла на непроводящие или плохо проводящие образцы. Эта техника имеет решающее значение для предотвращения заряда образца из-за накопления статических электрических полей и для улучшения обнаружения вторичных электронов, тем самым улучшая соотношение сигнал/шум при визуализации в РЭМ.
Подробное объяснение:
-
Назначение покрытия Sputter Coating:
-
Напыление используется в основном для подготовки непроводящих образцов для сканирующей электронной микроскопии (СЭМ). В РЭМ образец должен быть электропроводящим, чтобы пропускать электроны, не вызывая электрического заряда. Непроводящие материалы, такие как биологические образцы, керамика или полимеры, под воздействием электронного луча могут накапливать статические электрические поля, которые искажают изображение и могут повредить образец. При покрытии таких образцов тонким слоем металла (обычно золота, золота/палладия, платины, серебра, хрома или иридия) поверхность становится проводящей, предотвращая накопление заряда и обеспечивая четкое, неискаженное изображение.Механизм напыления:
-
- В процессе напыления образец помещается в напылительную машину, представляющую собой герметичную камеру. Внутри этой камеры энергичные частицы (обычно ионы) ускоряются и направляются на материал-мишень (металл, который необходимо осадить). Удар этих частиц выбрасывает атомы с поверхности мишени. Выброшенные атомы проходят через камеру и оседают на образце, образуя тонкую пленку. Этот метод особенно эффективен для нанесения покрытий на сложные трехмерные поверхности, что делает его идеальным для SEM, где образцы могут иметь сложную геометрию.Преимущества нанесения покрытия методом напыления для РЭМ:
- Предотвращение заряда: Делая поверхность проводящей, напыление предотвращает накопление заряда на образце, который в противном случае мешал бы электронному лучу и искажал изображение.
- Улучшенное соотношение сигнал/шум: Металлическое покрытие увеличивает эмиссию вторичных электронов с поверхности образца при попадании на него электронного пучка. Увеличение эмиссии вторичных электронов повышает соотношение сигнал/шум, улучшая качество и четкость изображений, полученных с помощью РЭМ.
-
Сохранение целостности образца: Напыление - низкотемпературный процесс, а значит, его можно использовать на термочувствительных материалах, не вызывая их термического повреждения. Это особенно важно для биологических образцов, которые могут быть сохранены в естественном состоянии при подготовке к РЭМ.
Технические характеристики:
