Частота радиочастот, используемых для процесса напыления, обычно находится в диапазоне 5-30 МГц.
Чаще всего используется частота 13,56 МГц.
Эта частота стандартизирована Регламентом радиосвязи МСЭ для промышленных, научных и медицинских приборов (ISM).
Стандартизация помогает избежать помех для телекоммуникационных служб.
4 ключевых момента о радиочастотах в напылении
1. Стратегический выбор частоты 13,56 МГц
Выбор частоты 13,56 МГц имеет стратегическое значение.
Она достаточно низкая, чтобы обеспечить достаточное время для передачи импульса ионов аргона мишени.
Это очень важно для эффективного напыления.
На более высоких частотах роль ионов уменьшается.
Процесс становится более электронно-доминирующим, подобно электронно-лучевому испарению.
2. Преимущество для изоляционных материалов
Использование частоты 13,56 МГц в радиочастотном напылении особенно выгодно для осаждения изоляционных материалов.
В отличие от напыления постоянным током (DC), которое подходит для проводящих материалов, при радиочастотном напылении используются радиочастотные источники питания.
Эти источники питания могут работать с материалами, обладающими изоляционными свойствами.
ВЧ-напыление позволяет поддерживать плазму инертного газа при более низком давлении (менее 15 мТорр).
Для напыления на постоянном токе требуется более высокое давление (около 100 мТорр).
Такое низкое давление уменьшает столкновения между частицами материала мишени и ионами газа.
Это способствует более прямому пути осаждения на подложку.
3. Механизм радиочастотного напыления
Механизм радиочастотного напыления заключается в чередовании электрических потенциалов на радиочастотах.
Это предотвращает накопление заряда на поверхности мишени.
Каждый цикл радиочастотного тока эффективно очищает поверхность мишени.
Он обращает вспять накопление заряда, который мог бы накапливаться при непрерывном протекании тока в одном направлении.
Этот эффект очистки имеет решающее значение для поддержания эффективности процесса напыления.
Особенно для изолирующих мишеней, где накопление заряда может препятствовать процессу осаждения.
4. Краткое описание преимуществ радиочастоты
Подводя итог, можно сказать, что радиочастота 13,56 МГц широко используется в напылении.
Это обусловлено ее совместимостью со стандартами ISM.
Она эффективна при работе с изоляционными материалами.
Она работает при более низком давлении, повышая прямолинейность и эффективность процесса осаждения.
Продолжайте изучать, проконсультируйтесь с нашими специалистами
Откройте для себя превосходство передовых систем радиочастотного напыления KINTEK SOLUTION.
Они рассчитаны на максимальную производительность благодаря нашей прецизионной технологии работы на частоте 13,56 МГц.
Оцените превосходные результаты напыления, без труда справляясь с изоляционными материалами.
Обеспечьте беспрецедентную эффективность в лабораторных приложениях.
Повысьте уровень своих исследований и производства с помощью KINTEK SOLUTION - где инновации встречаются с успехом напыления!
