Частота радиочастот, используемых для процесса напыления, обычно находится в диапазоне 5-30 МГц, при этом наиболее часто используется частота 13,56 МГц. Эта частота стандартизирована Регламентом радиосвязи МСЭ для промышленных, научных и медицинских приборов (ISM), чтобы избежать помех телекоммуникационным службам. Выбор частоты 13,56 МГц имеет стратегическое значение, поскольку она достаточно низкая, чтобы обеспечить достаточное время для передачи импульса ионам аргона на мишень, что имеет решающее значение для эффективного напыления. На более высоких частотах роль ионов снижается, и процесс становится более электронным, подобно электронно-лучевому испарению.
Использование частоты 13,56 МГц в радиочастотном напылении особенно выгодно для осаждения изоляционных материалов. В отличие от напыления постоянным током (DC), которое подходит для проводящих материалов, при радиочастотном напылении используются радиочастотные источники питания, которые могут работать с материалами, обладающими изоляционными свойствами. Этот метод позволяет поддерживать плазму инертного газа при более низком давлении (менее 15 мТорр) по сравнению с напылением постоянным током, для которого требуется более высокое давление (около 100 мТорр). Такое пониженное давление уменьшает столкновения между частицами материала мишени и ионами газа, способствуя более прямому пути осаждения на подложку.
Механизм радиочастотного напыления включает в себя переменный электрический потенциал на радиочастотах для предотвращения накопления заряда на поверхности мишени. Каждый цикл радиочастотного тока эффективно очищает поверхность мишени, обращая вспять накопление заряда, который мог бы накопиться при непрерывном протекании тока в одном направлении. Этот эффект очистки имеет решающее значение для поддержания эффективности процесса напыления, особенно для изолирующих мишеней, где накопление заряда может препятствовать процессу осаждения.
Таким образом, радиочастота 13,56 МГц широко используется в напылении благодаря ее совместимости со стандартами ISM, эффективности при работе с изолирующими материалами и возможности работать при более низком давлении, повышая прямолинейность и эффективность процесса осаждения.
Откройте для себя превосходство передовых систем радиочастотного напыления KINTEK SOLUTION, разработанных для максимальной производительности с помощью нашей прецизионной технологии 13,56 МГц. Оцените превосходные результаты напыления, без труда справляясь с изоляционными материалами и обеспечивая беспрецедентную эффективность в ваших лабораторных приложениях. Повысьте уровень своих исследований и производства с помощью KINTEK SOLUTION - где инновации встречаются с успехом напыления!
