Напыление в магнитном поле магнетрона постоянного тока предполагает использование магнитного поля для усиления процесса напыления в разряде постоянного тока. Этот метод повышает эффективность процесса напыления за счет захвата электронов вблизи поверхности мишени, тем самым увеличивая скорость ионизации и скорость напыления.
Резюме ответа:
В процессе магнетронного распыления на постоянном токе используется комбинация электрического и магнитного полей для повышения эффективности распыления. Магнитное поле расположено параллельно поверхности мишени, что захватывает электроны и заставляет их двигаться по спирали, увеличивая их взаимодействие с атомами газа и усиливая ионизацию. Это приводит к увеличению скорости бомбардировки мишени ионами, в результате чего увеличивается скорость напыления без необходимости повышать рабочее давление.
-
Подробное объяснение:Конфигурация магнитного поля:
-
При магнетронном распылении постоянным током за катодной пластиной прикладывается дополнительное магнитное поле. Это поле направлено параллельно поверхности мишени. Линии магнитного поля расположены таким образом, чтобы создать замкнутый путь, который задерживает электроны вблизи мишени, не позволяя им выходить в окружающее пространство.
-
Влияние на электроны:
-
Суперпозиция электрического поля (перпендикулярного поверхности мишени) и магнитного поля заставляет заряженные частицы, в частности электроны, двигаться по циклоидным орбитам, а не по прямым линиям. Такое спиральное движение значительно увеличивает длину пути электронов над поверхностью мишени, что приводит к большему количеству столкновений с атомами газа и, следовательно, к более высокой скорости ионизации.Повышенная скорость ионизации и напыления:
-
Повышенная ионизация за счет захваченных электронов приводит к увеличению плотности ионов вблизи мишени. Эти ионы ускоряются электрическим полем по направлению к мишени, где они вызывают напыление. Магнитное поле не оказывает существенного влияния на движение ионов из-за их большей массы, поэтому они продолжают двигаться по прямой линии к мишени, что приводит к эффективному напылению.
Эксплуатационные преимущества:
