ВЧ- и DC-напыление - это вакуумные методы напыления, используемые для нанесения тонких пленок на поверхности.
Эти методы в основном используются в электронной и полупроводниковой промышленности.
В чем заключается применение радиочастотного и постоянного напыления? (5 ключевых моментов)
1. Радиочастотное напыление
ВЧ-напыление использует радиочастотные (РЧ) волны для ионизации атомов газа.
Обычно используется частота 13,56 МГц.
Инертный газ, например аргон, ионизируется, образуя плазму.
Положительно заряженные ионы ускоряются по направлению к материалу мишени.
Когда эти ионы ударяются о мишень, атомы или молекулы выбрасываются и осаждаются на подложку, образуя тонкую пленку.
ВЧ-напыление особенно полезно для осаждения тонких пленок из изолирующих или непроводящих материалов.
Оно эффективно нейтрализует накопление заряда на поверхности мишени, что является проблемой при напылении постоянным током.
2. Напыление постоянным током
При напылении постоянным током для ионизации газа и создания плазмы используется постоянный ток.
Для этого процесса требуется проводящий материал мишени.Постоянный ток напрямую бомбардирует мишень ионами.Этот метод эффективен для осаждения тонких пленок из проводящих материалов.Однако он менее пригоден для непроводящих материалов из-за накопления заряда на поверхности мишени.3. Области примененияКак радиочастотное, так и постоянное напыление используются в различных областях, где требуется осаждение тонких пленок.
