Радиочастотное и постоянное напыление - это методы вакуумного напыления, используемые для нанесения тонких пленок на поверхности и применяемые в основном в электронной и полупроводниковой промышленности. При радиочастотном напылении для ионизации атомов газа используются радиочастотные (РЧ) волны, а при напылении постоянным током для достижения того же эффекта используется постоянный ток (DC).
Радиочастотное напыление:
ВЧ-напыление предполагает использование радиочастотных волн, обычно с частотой 13,56 МГц, для ионизации инертного газа, такого как аргон. Ионизированный газ образует плазму, и положительно заряженные ионы ускоряются по направлению к материалу мишени. Когда эти ионы ударяются о мишень, атомы или молекулы выбрасываются и осаждаются на подложку, образуя тонкую пленку. ВЧ-напыление особенно полезно для осаждения тонких пленок из изолирующих или непроводящих материалов, поскольку оно позволяет эффективно нейтрализовать накопление заряда на поверхности мишени, что является сложной задачей при напылении постоянным током.Напыление на постоянном токе:
В отличие от этого, при напылении постоянным током для ионизации газа и создания плазмы используется постоянный ток. Для этого процесса требуется проводящий материал мишени, поскольку постоянный ток напрямую бомбардирует мишень ионами. Этот метод эффективен для осаждения тонких пленок из проводящих материалов, но менее подходит для непроводящих материалов из-за накопления заряда, который может возникнуть на поверхности мишени.
Области применения:
Как радиочастотное, так и постоянное напыление используются в различных областях, где требуется осаждение тонких пленок. В электронной промышленности эти методы имеют решающее значение для создания таких компонентов, как интегральные схемы, конденсаторы и резисторы. В полупроводниковой промышленности они используются для нанесения слоев материалов, составляющих основу микрочипов и других электронных устройств. ВЧ-напыление, благодаря своей способности работать с непроводящими материалами, также используется в производстве оптических покрытий, солнечных батарей и различных типов датчиков.
Преимущества радиочастотного напыления:
