Напыление для РЭМ подразумевает нанесение сверхтонкого электропроводящего металлического слоя на непроводящие или плохо проводящие образцы для предотвращения заряда и улучшения качества изображения. В этом процессе используются такие металлы, как золото, платина, серебро или хром, толщина которых обычно составляет 2-20 нм. Преимущества включают в себя уменьшение повреждения лучом, улучшение теплопроводности, уменьшение заряда образца, улучшение эмиссии вторичных электронов, улучшение краевого разрешения и защиту чувствительных к лучу образцов.
Подробное объяснение:
-
Нанесение металлических покрытий:
-
Напыление включает в себя осаждение тонкого слоя металла на образец. Это очень важно для образцов, которые не являются электропроводящими, поскольку в противном случае они будут накапливать статические электрические поля во время анализа методом сканирующей электронной микроскопии (СЭМ). Для этой цели обычно используются такие металлы, как золото, платина, серебро, хром и другие, выбранные за их электропроводность и способность образовывать стабильные тонкие пленки.Предотвращение зарядки:
-
Непроводящие материалы в РЭМ могут приобретать заряд из-за взаимодействия с электронным пучком, что может исказить изображение и помешать анализу. Слой проводящего металла, нанесенный методом напыления, помогает рассеять этот заряд, обеспечивая четкое и точное изображение.
-
Усиление эмиссии вторичных электронов:
- Металлическое покрытие также усиливает эмиссию вторичных электронов с поверхности образца. Эти вторичные электроны имеют решающее значение для формирования изображений в РЭМ, и их повышенная эмиссия улучшает соотношение сигнал/шум, что приводит к получению более четких и детальных изображений.
- Преимущества для образцов РЭМ:Уменьшение повреждений от пучка микроскопа:
- Металлическое покрытие помогает защитить образец от разрушающего воздействия электронного пучка.Повышенная теплопроводность:
- Проводящий слой способствует рассеиванию тепла, выделяемого электронным пучком, защищая образец от термического повреждения.Уменьшение заряда образца:
- Как уже говорилось, проводящий слой предотвращает накопление электростатических зарядов.Улучшенная эмиссия вторичных электронов:
- Это напрямую повышает качество СЭМ-изображений.Уменьшение проникновения луча с улучшенным разрешением краев:
-
Тонкий металлический слой уменьшает глубину проникновения электронного пучка, улучшая разрешение краев и мелких деталей на изображении.Защита чувствительных к пучку образцов:
Покрытие действует как экран для чувствительных материалов, предотвращая прямое воздействие электронного пучка.
Толщина напыляемых пленок:
