Напыление - это метод вакуумного напыления, используемый для нанесения тонких пленок материалов на поверхности. Она предполагает создание газообразной плазмы в вакуумной камере, которая ускоряет ионы в исходном материале, в результате чего атомы выбиваются и осаждаются на подложку. Основное различие между DC (постоянный ток) и RF (радиочастота) напылением заключается в источнике питания и возможности работы с изолирующими материалами.
Напыление постоянным током:
При напылении постоянным током используется источник постоянного тока, который не идеален для изоляционных материалов, поскольку они могут накапливать заряд и прерывать процесс напыления. Для достижения оптимальных результатов этот метод требует тщательного регулирования таких факторов процесса, как давление газа, расстояние между мишенью и подложкой и напряжение. Напыление на постоянном токе обычно работает при более высоком давлении в камере (около 100 мТорр) и требует напряжения от 2 000 до 5 000 вольт.Радиочастотное напыление:
ВЧ-напыление, с другой стороны, использует источник переменного тока, который предотвращает накопление заряда на мишени, что делает его пригодным для напыления изоляционных материалов. Этот метод позволяет поддерживать газовую плазму при гораздо более низком давлении в камере (менее 15 мТорр), что уменьшает столкновения между заряженными частицами плазмы и материалом мишени. ВЧ-напыление требует более высокого напряжения (1 012 вольт и более) из-за использования кинетической энергии для удаления электронов из атомов газа, создавая радиоволны, которые ионизируют газ. Применение альтернативного тока на частотах 1 МГц или выше помогает электрически разрядить мишень во время напыления, подобно протеканию тока через диэлектрические среды последовательно соединенных конденсаторов.
