Мишень в процессе напыления - это тонкий диск или лист материала, используемый для нанесения тонких пленок на подложку, например кремниевую пластину. Процесс включает в себя физическое выталкивание атомов с поверхности мишени путем бомбардировки ее ионами, обычно инертного газа, например аргона. Эти выброшенные атомы проходят через вакуумную камеру и оседают на подложке, образуя тонкую однородную пленку.
Подробное объяснение:
-
Состав и форма мишеней для напыления:
-
Мишени для напыления обычно изготавливаются из металлов, керамики или пластмасс, в зависимости от требуемого применения. Они имеют форму тонких дисков или листов, которые устанавливаются в вакуумную камеру, где происходит процесс напыления.Процесс напыления:
-
Процесс напыления начинается с помещения подложки в вакуумную камеру, содержащую мишень. В камеру подается инертный газ, например аргон. Ионы этого газа ускоряются по направлению к мишени с помощью электрических полей. Когда эти ионы сталкиваются с мишенью, им передается энергия, в результате чего атомы из мишени выбрасываются.
-
Осаждение тонких пленок:
-
Выброшенные из мишени атомы проходят через камеру и оседают на подложке. Низкое давление и контролируемая среда в камере обеспечивают равномерное осаждение атомов, в результате чего образуется тонкая пленка постоянной толщины. Этот процесс имеет решающее значение для приложений, требующих точных и однородных покрытий, например в микроэлектронике и солнечных батареях.Области применения мишеней для напыления:
Напыляемые мишени широко используются в различных отраслях промышленности. В микроэлектронике они используются для нанесения таких материалов, как алюминий, медь и титан, на кремниевые пластины для создания электронных устройств. В солнечных батареях мишени из таких материалов, как молибден, используются для получения проводящих тонких пленок. Кроме того, мишени для напыления используются в производстве декоративных покрытий и оптоэлектронике.
