Мишень для напыления - это материал, используемый в процессе напыления, который представляет собой метод создания тонких пленок. Мишень, изначально находящаяся в твердом состоянии, разбивается газообразными ионами на мелкие частицы, которые образуют спрей и покрывают подложку. Этот метод имеет решающее значение для производства полупроводников и компьютерных чипов, а в качестве мишени обычно используются металлические элементы или сплавы, хотя керамические мишени также применяются для создания упрочненных покрытий на инструментах.
Подробное объяснение:
-
Функция мишеней для напыления:
-
Мишени для напыления служат исходным материалом для осаждения тонких пленок. Как правило, это металлические или керамические объекты, которые имеют форму и размер в соответствии с конкретными требованиями оборудования для напыления. Материал мишени выбирается в зависимости от желаемых свойств тонкой пленки, таких как проводимость или твердость.Процесс напыления:
-
Процесс начинается с удаления воздуха из камеры, чтобы создать вакуумную среду. Затем вводятся инертные газы, например аргон, для поддержания низкого давления газа. Внутри камеры может использоваться массив магнитов для усиления процесса напыления путем создания магнитного поля. Такая установка помогает эффективно сбивать атомы с мишени при столкновении с ней положительных ионов.
-
Осаждение тонких пленок:
Распыленные атомы проходят через камеру и оседают на подложке. Низкое давление и природа напыляемого материала обеспечивают равномерное осаждение, что приводит к образованию тонкой пленки постоянной толщины. Эта равномерность очень важна для таких применений, как полупроводники и оптические покрытия.
Применение и история:
