Напыление - это процесс осаждения тонких пленок, при котором атомы выбрасываются из материала мишени в результате бомбардировки высокоэнергетическими частицами, а затем осаждаются на подложку. Этот процесс широко используется в таких отраслях, как производство полупроводников, дисководов, компакт-дисков и оптических устройств.
Подробное объяснение:
-
Механизм напыления:
-
Напыление предполагает использование плазмы высокоэнергетических частиц или ионов, которые ударяются о поверхность твердой мишени. В результате такой бомбардировки атомы выбрасываются из мишени. Выброшенные атомы проходят через вакуум и оседают на подложке, образуя тонкую пленку. Этот процесс является разновидностью физического осаждения из паровой фазы (PVD), что означает, что осаждение происходит физическим, а не химическим путем.Историческое развитие:
-
Впервые явление напыления было замечено в XIX веке такими учеными, как Гроув и Фарадей. Однако только в середине 20-го века напыление стало важным промышленным процессом, особенно с развитием таких технологий, как бритвенные пластины с хромовым напылением в 1960-х годах. Теоретическое понимание и практическое применение напыления претерпели значительные изменения с момента его открытия благодаря достижениям в области вакуумных технологий и физики плазмы.
-
Виды напыления:
-
Существует несколько разновидностей процесса напыления, включая катодное напыление, диодное напыление, радиочастотное или постоянное напыление, ионно-лучевое напыление и реактивное напыление. Несмотря на различные названия и конкретные методики, все эти методы в основе своей предполагают выброс атомов из материала мишени за счет ионной бомбардировки.Области применения:
Напыление играет важную роль в производстве тонких пленок с точными свойствами, например, таких, которые необходимы для полупроводников, оптических устройств и прецизионных покрытий. Пленки, полученные методом напыления, известны своей превосходной однородностью, плотностью и адгезией, что делает их пригодными для широкого спектра применений, где эти характеристики очень важны.
