Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) - это метод, используемый для нанесения тонких пленок материалов на подложку путем физического испарения исходного материала в условиях вакуума. Процесс включает три основных этапа: газификацию материала покрытия, транспортировку паров через область низкого давления и конденсацию паров на подложке для формирования тонкой пленки. Методы PVD включают вакуумное испарение, напыление, дуговое плазменное покрытие и ионное покрытие, а также другие. Эти методы известны своей высокой скоростью осаждения, сильной адгезией, хорошей дифракцией и широким спектром применения. PVD-покрытия особенно полезны в областях применения, требующих твердости и износостойкости, и экологически безопасны, что делает их пригодными для использования в медицинских имплантатах и других критически важных областях.
Газификация материала покрытия:
Первый шаг в PVD включает в себя перевод материала для осаждения в парообразное состояние. Этого можно достичь с помощью различных методов, таких как испарение, сублимация или напыление. При испарении материал нагревается до температуры кипения в вакууме, в результате чего он превращается в пар. Сублимация предполагает прямое превращение твердого вещества в газ без прохождения через жидкую фазу. Более распространенный метод - напыление - выбрасывает атомы из материала за счет обмена импульсами при бомбардировке его высокоэнергетическими частицами.Транспортировка паров:
Когда материал находится в парообразном состоянии, его необходимо перенести на подложку. Это происходит в среде с низким давлением, обычно в вакуумной камере, которая минимизирует столкновения с молекулами других газов и обеспечивает прямой путь паров к подложке. Низкое давление также помогает поддерживать чистоту паров и контролировать процесс осаждения.
Конденсация паров:
