Напыление - это разновидность физического осаждения из паровой фазы (PVD). Этот процесс включает в себя использование высокоэнергетических частиц для выбивания атомов из исходного материала, которые затем осаждаются на подложку, образуя тонкую пленку.
Объяснение PVD-напыления:
Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) - это метод, используемый для нанесения тонких пленок материала на подложку. В этом процессе целевой материал, который обычно представляет собой твердый металл или сложный материал, помещается в вакуумную камеру. Затем из камеры откачивают воздух, чтобы создать вакуумную среду. В камере создается аргоновая плазма, которая используется для бомбардировки материала мишени высокоэнергетическими ионами. В результате бомбардировки атомы из материала мишени выбрасываются или "распыляются", а затем эти атомы оседают на подложке, образуя тонкую пленку.Сравнение с химическим осаждением из паровой фазы (CVD):
Хотя и PVD, и CVD являются методами, используемыми для осаждения тонких пленок, они различаются по подходу. В CVD используется летучий прекурсор для нанесения газообразного исходного материала на поверхность подложки в результате химической реакции, инициируемой теплом или давлением. В отличие от PVD, для осаждения тонких пленок на подложку используются физические методы, такие как нагрев материала выше точки плавления для образования паров или методы напыления для выброса атомов из исходного материала.
Области применения напыления:
